TM5000-2 - интерферометрический прибор для измерения толщины

Прибор TM5000-2 используется для бесконтактного измерения толщины пластин и элементов из различных материалов, принцип работы которого основан на интерферометре с источником белого света.
  • Точность измерения толщины 0,2 мкм.
  • Диапазон измерения толщины 50 - 2000 мкм.
  • Тип встроенного источника SLED.
  • Скорость измерения 1 кГц.
Производитель:  FIBERPRO

Прибор получает информацию о толщине, используя отражения от верхней и нижней поверхности пластины (элемента), данные значение передаются в контроллер для последующего расчета толщины.

Эта система разработана для применения на производстве и в научных лабораториях и обеспечивает легкость использования, надежность и высокую точность измерений.

Основные особенности:

  • Компактные размеры.
  • Высокая надежность.
  • Широкий диапазон измерения толщины 50 - 2000 мкм.
  • Бесконтактные измерения.
  • Высокая скорость измерений.
  • Отсутствие необходимости калибровки.
  • Удобное ПО пользователя.
  • Возможность OEM-интеграции в производственные процессы.

Параметр Значение  Единица измерения 
Метод измерения Интерферометрический  -
Точность 0,2 мкм
Повторяемость 0,1 мкм
Диапазон 50 - 2000 мкм
Источник излучения SLED  -
Кол-во каналов 1, 2, 4 или более  -
Рабочая дистанция 44±2 мм
Рабочий угол наклона ±1 °
Скорость измерений 1 кГц
Удаленный интерфейс LAN / RS-232  -
Рабочая температура +10 - 40
Потребляемая мощность 30 Вт
Размеры 212 x 320 x 86 мм


  • Измерение толщины элементов и пластин из различных материалов: Si-Wafer, Sa-Wafer, Glass Wafer, SiO2, GaAS.
  • Промышленность: измерение толщины LCD панелей, изделий из стекла, медицинских мембран, изделий для офтальмологии.

Модель Описание
TM5000-2 Прибор для измерения толщины в диапазоне от 50 до 2000 мкм.

Мой заказ