TM5300 - прибор для измерения плоскостности и толщины пластин

Приборы серии TM5300 используются для бесконтактного измерения толщины, TTV, LTV, прогиба и коробления пластин из кремния (Si), сапфира, оптического стекла и др. светоотражающих материалов. Использует для измерения интерферометр с источником белого света.
  • Точность измерения толщины 0,2 мкм.
  • Диапазон измерения толщины 50 - 2000 мкм.
  • Точность измерения прогиба / коробления 0,5 мкм.
  • Диапазон измерения прогиба / коробления 200 мкм.

Производитель:  FIBERPRO

Приборы серии TM5300 используются для бесконтактного измерения толщины, TTV, LTV, прогиба и коробления пластин из кремния (Si), сапфира, оптического стекла и др. светоотражающих материалов. Использует для измерения интерферометр с источником белого света.

Приборы могут быть выполнены для In-line / Off-line условий измерений с контроллером транслятора перемещений. особенностью прибора является полное отсутствие физических повреждений пластины, которая может быть дополнительно защищена от пыли и загрязнений с помощью покрытий. Прибор имеет компактные размеры и может быть легко перемещен для проведения измерений.

Основные особенности:
  • Компактный корпус с возможностью заказного дизайна
  • Возможность измерения пластин диаметром до 6 дюймов.
  • Высокая точность и повторяемость.
  • Отсутствие необходимости калибровки.
  • Дружественный интерфейс пользователя (LTV, 3D).
  • Высокая скорость измерений (500 Гц для прогиба, 1 кГц для толщины).
  • Измерение толщины, TTV, LTV, прогиба и коробления.

Параметр Значение Ед. измерения
Измерение толщины    
Точность* 0,2 мкм
Повторяемость 0,1 мкм
Диапазон 50 - 2000 мкм
Прогиб / Коробление / Плоскостность    
Точность* 0,5 мкм
Повторяемость 0,2 мкм
Диапазон 200 мкм
Общие характеристики системы    
Максимальный размер пластины ≤ 150 мм
Время измерения** < 100 с
Удаленный интерфейс LAN -
Потребляемая мощность 220 В (60 Гц), 260 Вт -
Размеры 380 x 380 x 370 мм
Вес 26 кг

(*) Точный показатель преломления образца должен быть известен.

(**) На основе измерения 10 000 точек для 100-миллиметровой пластины. Количество точек измерения и диапазон возможно настроить.

  • Измерение толщины пластин из оптических материалов.
  • Измерение плоскостности пластин из оптических материалов.

Модель Описание
TM5300 Прибор для измерения плоскостности и толщины пластин

Мой заказ