ГлавнаяКаталогОптическое измерительное оборудованиеСистемы для анализа поверхностейSuperView-100 - оптический 3D профилометр
SuperView-100 - оптический 3D профилометр
SuperView-100 - оптический 3D профилометр, разработанный для высокоточного бесконтактного мониторинга различных поверхностей.
- Источник излучения: белый/зеленый светодиод.
- Поле зрения: до 6 мм x 6 мм.
- Диапазон сканирования по оси Z: 100 мм.
- Разрешение по оси Z: 0,1 нм.
- Разрешение в боковом направлении: 0,1 мкм.
Прибор SuperView-100 разработан для неинвазивного исследования поверхностей различного типа и измерения их формы и шероховатости. Система объединяет методы конфокальной микроскопии и интерферометрии, предлагая простые высокоточные измерения для промышленных и научных задач.
Особенности:
- Эффективное подавление звуковых вибраций.
- Доступен вакуумный столик для инспекции полупроводниковых пластин.
- Система пневматической изоляции для подавления механических вибраций.
- Простая и удобная регулировка рабочего расстояния и наклона.
- Удобный джойстик для трехмерного управления перемещением, регулировки скорости и регулировки яркости источника. Наличие кнопки экстренного отключения.
- Широкий ассортимент парфокальных объективов с различным увеличением.
- Уникальный алгоритм трехмерного восстановления с фильтрацией шумов тестируемого объекта.
Программное обеспечение
Прибор поставляется с интегрированным программным обеспечением, обеспечивающим как сами измерения, так и их анализ. С предустановленными параметрами система автоматически генерирует данные измерений и обеспечивает высокую скоростью CNC анализа. Программное обеспечение позволяет анализировать до 10 файлов одним нажатием, при этом статистические графики формируются автоматически.В программном обеспечении отображается 2D и 3D изображение, видео в реальном режиме времени и аналитические кривые с количественными данными.
Параметр
|
Значение | Ед. измерения |
---|---|---|
Тип источника
|
белый / зелёный |
|
Количество точек сканирования
|
1024 x 1024 |
|
Стандартное поле зрения
|
0,98 x 0,98 | мм |
Расширенное поле зрения
|
6,0 x 6,0 |
мм |
Размер предметного столика
|
320 x 200 | мм |
Диапазон сканирования
|
140 x 100 |
мм |
Полезная нагрузка
|
10 | кг |
Метод управления
|
моторизированный |
|
Регулировка угла
|
±5 | ° |
Диапазон сканирования по оси Z
|
100 | мм |
Длина одного прохода сканирования
|
10 | мм |
Скорость сканирования по оси Z
|
45 | мкм/с |
Разрешение в боковом направлении
|
0,1 | нм |
Разрешение сканирования по оси Z
|
0,1 | мкм |
Диапазон коэффициента отражения
|
0,05 – 100 | % |
Тип тестируемого объекта
|
отполированные поверхности, шероховатые поверхности |
|
Точность измерений
|
0,3 | % |
Воспроизводимость измерений | 0,08 | % |
Увеличение объективов | 2,5X, 5X, 10X, 50X, 100X |
|
Тип объективов | парфокальные |
|
Диаметр вакуумного столика | 4 / 6 / 8 | дюймов |
Количество слотов в турели микроскопа | 5 |
|
Питание | 100-240 В пер. тока, 50/60 Гц, 4 А, 300 Вт | |
Рабочая температура | от 15 до 30 | °C |
Давление | 0,6 | МПа |
Размеры
|
900 x 700 x 604 |
мм |
Масса
|
< 150 | кг |
- Изучение полупроводников.
- 3C-электроника.
- Сверхточное матриелаоведение.
- Микро- и нано-анализ.
- Инспекция MEMS компонентов.
Пример измерений
Измерение и анализ формы и профиля поверхности различных компонентов и материалов, измерение характеристик: плоскостность, шероховатость, волнистость, внешний вид, поверхностные дефекты, истирание, коррозия, наличие зазоров и отверстий, кривизна, деформация и т. д.
Состав системы:
- Основной модуль системы на базе штатива.
- Высокоскоростная камера.
- Оптический зум 0,5x.
- Парфокальный объектив 10x.
- Моторизированный XY столик.
- Ручная турель на 3 слота.
- Эталонный измерительный столик 4,7 мкм.
- Джойстик.
- Программное обеспечение XtremeVision с функцией сшивки.
- Электронный блок управления.
- Портативный насос.
- Защитный кейс.
- Руководство пользователя.
- Сертификат качества продукции.