I5005 XYZ/YP - пятиосевой транслятор для микропозиционирования

I5005 XYZ/YP - серия высокоточных позиционеров сверхвысокого разрешения, в которых используется сверхточный привод с линейным шаговым двигателем, обеспечивающий лучший в отрасли двунаправленный люфт 0,1 мкм с возможностью инкрементного перемещения с разрешением менее 20 нм по осям X и Y.

  • Диапазон перемещения по оси Z 12,7 мм.
  • Диапазон перемещения по осям X и Y 2,5 мм. 
  • Диапазон поворота относительно двух осей (yaw, pitch) ±1,5 град. 
  • Разрешение по оси Z 100 нм.
  • Разрешение по осям X и Y 20 нм.
Производитель:  LUMINOS

В позиционерах сверхвысокого разрешения серии I5005 XYZ/YP используется сверхточный привод с линейным шаговым двигателем, разработанный Luminos, обеспечивающий лучший в отрасли двунаправленный люфт 0,1 мкм с возможностью инкрементного перемещения с разрешением менее 20 нм по осям X и Y.

Позиционеры обеспечивают высокую производительность и стабильность, которая соответствует требованиям выравнивания одномодового волокна. Трансляторы имеют встроенную платформу позиционирования без трения, что позволяет приводам работать с равномерной нагрузкой. При юстировке волноводов по осям X И Y обычно требуется более чем в 5 раз более высокое разрешение, чем по оси Z. Позиционеры Luminos используют запатентованную технологию Ratio Drive по осям выравнивания X и Y. На автоматических позиционерах Luminos серии I5005 XYZ/YP X и Y перемещаются на 2,5 мм под управлением двигателя. Это приводит к 5-кратному увеличению точности по наиболее важным осям X и Y, обеспечивая невероятно низкий двунаправленный люфт 0,1 мкм с разрешением 20 нм без использования пьезодвигателей.

Особенности:
  • Запатентованная система 5x Ratio Drive обеспечивает превосходное разрешение 20 нм по оси XY.
  • Совмещенный центр вращения.
  • Компактная конструкция.
  • Встроенный контроллер.
  • Демпфированная внешняя конструкция корпуса обеспечивает превосходную нечувствительность к вибрациям.
  • Легкая алюминиевая конструкция позволяет легко перемещать систему с помощью другого оборудования.
  • Высокая механическая жесткость обеспечивает прочную и стабильную систему основания.
  • Запатентованный двойной линейный изгиб оси Z обеспечивает прямой ход без трения.
  • Вращение без угловых погрешностей.
  • Возможны комбинированные версии полумоторизированных позиционеров.

Параметр  Значение Ед.измерения
Перемещение
Перемещение актюатора Перемещение платформы
Z
12,7 12,7 мм
Y
2,5 2,5 мм
X
2,5 2,5 мм
Вертикальная ось (yaw)
±1,5 град
±1,5 град
Горизонтальная ось (pitch)
±1,5 град
±1,5 град
Разрешение
Разрешение Всего шагов
Z
100 нм 64000
Y
20 нм 64000

X 20 нм 64000

Вертикальная ось (yaw)
0,2 арксек 30208
Горизонтальная ось (pitch)
0,2 арксек 30208
Конфигурация и погрешность
Тип изгиба Тип движения Погрешность
Z
двойной прямое -
Y
одинарный 5x Ratio Drive 30 (макс.) мкм
X
одинарный 5x Ratio Drive 30 (макс.) мкм
Вертикальная ось (yaw)
двойной вращательное -
Горизонтальная ось (pitch)
двойной вращательное -
Линейная жесткость
Z
140 кН/м
Y
110 кН/м
X
40 кН/м
Жесткость при кручении
Z-roll
150 Нм/рад
Y-yaw
100 Нм/рад
X-pitch
130 Нм/рад
Максимальная нагрузка
Статичная
1 кг
Мгновенная
4,5 кг
Физические параметры
Материал
алюминий
Вес
1,5 кг
Размер
147х44,5х131,8 мм

  • Стыковка оптических волокон.
  • Стыковка волокон с микрочипами и другими электро-оптическими элементами.
  • Позиционирование микроструктур в биологических задачах.
  • Создание фотонных интегральных микросхем.

Модель Описание
P5A-BBBBB-HN-SI Моторизированный пятиосевой транслятор для микропозиционирования. Метрическая система.
P5A-BBBBB-HN-I Моторизированный пятиосевой транслятор для микропозиционирования. Британская система.
P5A-BBBMM-HN-SI Полумоторизированный пятиосевой транслятор для микропозиционирования. Метрическая система.
P5A-BBBMM-HN-I Полумоторизированный пятиосевой транслятор для микропозиционирования. Британская система.

Мой заказ