Зондовые станции для интегральной фотоники и оптоэлектроники

Зондовые станции nanosystec (Германия) и Maple Leaf Photonics (США) позволяют автоматические выполнять тест интегрально-оптических схем и устройств, произведённых на пластинах с диаметром до 12 дюймов. Автоматический анализ включает сканирование, выполнение вертикального (через дифракционную решётку) и торцевого ввода/вывода оптического излучения и, при необходимости, использование зонда для подвода электрического сигнала.