ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыСканирующие пьезоэлектрические столикиCarrier.HS100.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики
Carrier.HS100.Z.C - cканирующие пьезоэлектрические столики
- Совместим со сверхвысоким (2Е-11 мбар) вакуумом.
- Нагрузка до 5 кг.
- Диапазон рабочих температур от 15 до 40 °C.
- Замкнутый / разомкнутый контур опционально.
- Разрешение 1 нм для замкнутого контура управления.
- Разрешение 0,3 нм для разомкнутого контура управления.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед. Измерения | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Исполнение
|
Стандартное | .UHV* | .NM** | ||||
Оси перемещения
|
Z | ||||||
Размеры (Ш х Д х В)
|
150 х 150 х 30 | мм | |||||
Материал корпуса |
Алюминиевый сплав
|
||||||
Нержавеющая сталь
|
|||||||
Перемещение
|
100 |
мкм
|
|||||
Эффективный размер сквозного отверстия |
60 х 60
|
мм
|
|||||
Масса
|
1 | кг | |||||
Температурный диапазон
|
15 – 40 |
°C |
|||||
Разрешение
|
1 (замкнутый контур) 0,3 (разомкнутый контур) |
нм | |||||
Повторяемость |
10
|
нм | |||||
Ошибка линеаризации
|
0,035 | % | |||||
Жесткость
|
2,5 |
Н/мкм
|
|||||
Резонансная частота (без нагрузки)
|
500 |
Гц
|
|||||
Резонансная частота (2,5 кг нагрузки) | 200 | Гц | |||||
Максимальная нагрузка | 5 | кг | |||||
Тип встроенного датчика (замкнутый контур) |
Емкостной
|
||||||
Максимальное управляющее напряжение
|
150 |
В
|
|||||
*.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума (2E-11 мбар). **.NM - немагнитное исполнение. |