I3005 XYZ - трехосевой транслятор для микропозиционирования
- Диапазон перемещения по оси Z 12,7 мм.
- Диапазон перемещения по осям X и Y 2,5 мм.
- Разрешение по оси Z 100 нм.
- Разрешение по осям X и Y 20 нм.
В позиционерах сверхвысокого разрешения серии I3005 XYZ используется сверхточный привод с линейным шаговым двигателем, разработанный Luminos, обеспечивающий лучший в отрасли двунаправленный люфт 0,1 мкм с возможностью инкрементного перемещения с разрешением менее 20 нм по осям X и Y.
Позиционеры обеспечивают высокую производительность и стабильность, которая соответствует требованиям выравнивания одномодового волокна. Трансляторы имеют встроенную платформу позиционирования без трения, что позволяет приводам работать с равномерной нагрузкой. При юстировке волноводов по осям X И Y обычно требуется более чем в 5 раз более высокое разрешение, чем по оси Z. Позиционеры Luminos используют запатентованную технологию Ratio Drive по осям выравнивания X и Y. Все актюаторы XYZ перемещаются на 2,5 мм под управлением двигателя. Это приводит к 5-кратному увеличению точности по наиболее важным осям X и Y, обеспечивая невероятно низкий двунаправленный люфт 0,1 мкм с разрешением 20 нм без использования пьезодвигателей.
Особенности:- Запатентованная система 5x Ratio Drive обеспечивает превосходное разрешение 20 нм по оси XY.
- Совмещенный центр вращения.
- Компактная конструкция.
- Внешние контроллеры шаговых двигателей для максимальной производительности.
- Демпфированная внешняя конструкция корпуса обеспечивает превосходную нечувствительность к вибрациям.
- Легкая алюминиевая конструкция позволяет легко перемещать систему с помощью другого оборудования.
- Высокая механическая жесткость обеспечивает прочную и стабильную систему основания.
- Запатентованный двойной линейный изгиб оси Z обеспечивает прямой ход без трения.
- Вращение без угловых погрешностей.
| Параметр | Значение | Ед.измерения | ||
|---|---|---|---|---|
| Перемещение | ||||
| Перемещение актюатора | Перемещение платформы | |||
|
Z
|
12,7 | 12,7 | мм | |
|
Y
|
2,5 | 2,5 | мм | |
|
X
|
2,5 | 2,5 | мм | |
|
Разрешение
|
||||
| Разрешение | Всего шагов |
|
||
|
Z
|
100 нм | 64000 |
|
|
|
Y
|
20 нм | 64000 | ||
|
X
|
20 нм | 64000 |
|
|
|
Конфигурация и погрешность
|
||||
| Тип изгиба | Тип движения | Погрешность | ||
|
Z
|
двойной | прямое | - | |
|
Y
|
одинарный | 5x Ratio Drive | 30 (макс.) | мкм |
|
X
|
одинарный | 5x Ratio Drive | 30 (макс.) | мкм |
|
Линейная жесткость
|
||||
|
Z
|
1600 | кН/м | ||
|
Y
|
1000 | кН/м | ||
|
X
|
260 | кН/м | ||
|
Жесткость при кручении
|
||||
|
Z-roll
|
900 | Нм/рад | ||
|
Y-yaw
|
1300 | Нм/рад | ||
|
X-pitch
|
1500 | Нм/рад | ||
|
Максимальная нагрузка
|
||||
|
Статичная
|
1 | кг | ||
|
Мгновенная
|
4,5 | кг | ||
|
Физические параметры
|
||||
|
Материал
|
алюминий | |||
|
Вес
|
1 | кг | ||
|
Размер
|
114,3х44,5х96,5 | мм | ||
- Стыковка оптических волокон.
- Стыковка волокон с микрочипами и другими электро-оптическими элементами.
- Позиционирование микроструктур в биологических задачах.
- Создание фотонных интегральных микросхем.
