I6005 XYZ/RYP - шестиосевой транслятор для микропозиционирования
- Диапазон перемещения по оси Z 12,7 мм.
- Диапазон перемещения по осям X и Y 2,5 мм.
- Диапазон поворота относительно трех осей (yaw, pitch, roll) ±1,5 град.
- Разрешение по оси Z 100 нм.
- Разрешение по осям X и Y 20 нм.
В позиционерах сверхвысокого разрешения серии I6005 XYZ/RYP используется сверхточный привод с линейным шаговым двигателем, разработанный Luminos, обеспечивающий лучший в отрасли двунаправленный люфт 0,1 мкм с возможностью инкрементного перемещения с разрешением менее 20 нм по осям X и Y.
Позиционеры обеспечивают высокую производительность и стабильность, которая соответствует требованиям выравнивания одномодового волокна. Трансляторы имеют встроенную платформу позиционирования без трения, что позволяет приводам работать с равномерной нагрузкой. При юстировке волноводов по осям X И Y обычно требуется более чем в 5 раз более высокое разрешение, чем по оси Z. Позиционеры Luminos используют запатентованную технологию Ratio Drive по осям выравнивания X и Y. На автоматических позиционерах Luminos серии I6005 XYZ/RYP X и Y перемещаются на 2,5 мм под управлением двигателя. Это приводит к 5-кратному увеличению точности по наиболее важным осям X и Y, обеспечивая невероятно низкий двунаправленный люфт 0,1 мкм с разрешением 20 нм без использования пьезодвигателей.
Особенности:- Запатентованная система 5x Ratio Drive обеспечивает превосходное разрешение 20 нм по оси XY.
- Совмещенный центр вращения.
- Компактная конструкция.
- Встроенный контроллер.
- Демпфированная внешняя конструкция корпуса обеспечивает превосходную нечувствительность к вибрациям.
- Легкая алюминиевая конструкция позволяет легко перемещать систему с помощью другого оборудования.
- Высокая механическая жесткость обеспечивает прочную и стабильную систему основания.
- Запатентованный двойной линейный изгиб оси Z обеспечивает прямой ход без трения.
- Вращение без угловых погрешностей.
- Возможны комбинированные версии полумоторизированных позиционеров.
Параметр | Значение | Ед.измерения | ||
---|---|---|---|---|
Перемещение | ||||
Перемещение актюатора | Перемещение платформы | |||
Z
|
12,7 | 12,7 | мм | |
Y
|
2,5 | 2,5 | мм | |
X
|
2,5 | 2,5 | мм | |
Ось вращения (roll)
|
±1,5 град |
±1,5 град | ||
Вертикальная ось (yaw)
|
±1,5 град |
±1,5 град | ||
Горизонтальная ось (pitch)
|
±1,5 град |
±1,5 град | ||
Разрешение
|
||||
Разрешение | Всего шагов |
|
||
Z
|
100 нм | 64000 |
|
|
Y
|
20 нм |
64000 |
|
|
X | 20 нм |
64000 |
|
|
Ось вращения (roll)
|
0,1 аксек | 50603 |
|
|
Вертикальная ось (yaw)
|
0,2 арксек | 30208 |
|
|
Горизонтальная ось (pitch)
|
0,2 арксек | 30208 |
|
|
Конфигурация и погрешность
|
||||
Тип изгиба | Тип движения | Погрешность | ||
Z
|
двойной | прямое | - | |
Y
|
одинарный | 5x Ratio Drive | 30 (макс.) | мкм |
X
|
одинарный | 5x Ratio Drive | 30 (макс.) | мкм |
Ось вращения (roll)
|
одинарный | вращательное | 35 (макс.) | мкм |
Вертикальная ось (yaw)
|
двойной | вращательное | - | |
Горизонтальная ось (pitch)
|
двойной | вращательное | - | |
Линейная жесткость
|
||||
Z
|
130 | кН/м | ||
Y
|
95 | кН/м | ||
X
|
40 | кН/м | ||
Жесткость при кручении
|
||||
Z-roll
|
75 | Нм/рад | ||
Y-yaw
|
100 | Нм/рад | ||
X-pitch
|
130 | Нм/рад | ||
Максимальная нагрузка
|
||||
Статичная
|
1 | кг | ||
Мгновенная
|
4,5 | кг | ||
Физические параметры
|
||||
Материал
|
алюминий | |||
Вес
|
1,5 | кг | ||
Размер
|
147х44,5х131,8 | мм |
- Стыковка оптических волокон.
- Стыковка волокон с микрочипами и другими электро-оптическими элементами.
- Позиционирование микроструктур в биологических задачах.
- Создание фотонных интегральных микросхем.