CMOS-IST - cистема измерения квантовой эффективности CMOS сенсоров

Система измерения квантовой эффективности CMOS сенсоров представляет собой высокотехнологичное устройство, предназначенное для проверки качества оптических систем на уровне пластин. Он обладает уникальными характеристиками, позволяющими ему эффективно справляться с задачами, которые не под силу традиционным оптическим системам. Методики проверки соответствуют стандарту EMVA 1288. 

Измеряемые параметры:

• Квантовая эффективность.
• Коэффициент усиления.
• Динамический диапазон.
• Мощность насыщения.
• Шум считывания.
• Сигнал/шум.
• Темновой ток.
• Абсолютная чувствительность.
• Линейность.
• DSNU/PRNU.
• CRA.

Одной из ключевых особенностей системы измерения является его способность генерировать сильно коллимированный луч (< 1°), который обеспечивает высокую точность измерений и позволяет обнаруживать даже самые незначительные дефекты в оптических системах. Это особенно важно при работе с новыми производственными процессами, требующими высокой точности и качества.

К таким процессам относятся:

• Использование небольших пикселей (< 1 мкм), что требует от оптических систем повышенной разрешающей способности и точности фокусировки.
• Технология BSI (Back Side Illumination), которая позволяет улучшить светочувствительность матриц за счёт размещения светочувствительных элементов на обратной стороне подложки.
• 3D-укладка, представляющая собой метод компоновки микросхем, позволяющий увеличить плотность упаковки и уменьшить размеры устройств.
• Применение микролинз, которые улучшают фокусировку света на пикселях и повышают эффективность сбора света.
• Новая конструкция матрицы Bayer, обеспечивающая более точное цветовоспроизведение и улучшенную чувствительность к свету.

Особенности:

• Неразрушающий оптический контроль.
• Малый угол расхождения, выходящего луча <0.05°, <0.1°, <0.5°, <1°, <3°(различные модели).
• Интенсивность света в луче остается практически одинаковой по всей его длине ≥ 99%.
• Возможность тестирования с высоким динамическим диапазоном от 80 дБ до 140 дБ (различные модели).
• Диапазон длин волн: 300-1100 нм или 350-1000 нм (PTC), может быть увеличена до 1700 нм.
  
• Индивидуально разработанное тестовое устройство и этапы (ручные или автоматические, максимум 6 осей).
• Мощное программное обеспечение для анализа результатов ARGUS ® .

Комплектация:

• Модуль CIS (Contact Image Sensor) представляет собой систему сканирования, в которой светочувствительные элементы расположены в виде линейки датчиков, непосредственно воспринимающих световой поток от образца.
• Плата PCB (Printed Circuit Board) служит основой для монтажа электронных компонентов и подключения различных модулей устройства.
• Камера CIS может использоваться для сканирования, обеспечивая высокое разрешение и точность. Наличие или отсутствие микрообъектива зависит от конкретной модели и назначения устройства.
• Микрообъектив может быть добавлен для улучшения фокусировки и увеличения четкости изображения.