ГлавнаяНовостиЭллипсометры: высокоточные и высокоскоростные исследования ультратонких пленок

Эллипсометры: высокоточные и высокоскоростные исследования ультратонких пленок

22.01.2025

Пополнение онлайн-каталога: спектроскопический и лазерный эллипсометры, позволяющие исследовать физические и оптические параметры ультратонких однослойных и многослойных пленок. Узнайте в нашей статье о ключевых особенностях и применениях этих устройств!

Эллипсометрия — это метод поляризационно-оптического анализа, который используется для исследования поверхностей различных образцов. Принцип его работы заключается в том, что на поверхность исследуемого объекта направляется поляризованное излучение, которое, взаимодействуя с поверхностью, меняет своё состояние поляризации. Измеряя эти изменения, можно получить разнообразные оптические параметры образца. Устройство, использующее этот метод, называется эллипсометром.

Одним из таких приборов является спектроскопический эллипсометр ES01. Это устройство предназначено для измерения толщины однослойных и многослойных пленок, а также их характеристик, таких как показатель преломления, коэффициент поглощения и диэлектрические функции.

Эллипсометр ES01 отличается высокой скоростью измерений, точностью и широким спектральным диапазоном, который охватывает ультрафиолетовый, видимый и инфракрасный диапазоны длин волн. Ниже представлена таблица с ключевыми параметрами модели ES01.

ES01.png

Параметр Значение Ед. измерения
Длина волны
193 – 2500 нм
Воспроизводимость измерения толщины
0,01 нм
Воспроизводимость измерения показателя преломления 
0,0005 -
Время измерения
5 – 10 с

 

Работа эллипсометра основана на использовании высокочувствительного детектора и мощного программного обеспечения, которое имеет обширную базу данных различных материалов. Это позволяет проводить гибкие исследования под разными углами и осуществлять глубокий анализ сложных материалов.

Программное обеспечение поддерживает функции моделирования, симуляции и подгонки, а также может выводить полученные данные в различных форматах, что значительно расширяет возможности работы с эллипсометром.

Ознакомиться более подробное со спектроскопическим эллипсометром ES01>>>

 

Еще одна модель – лазерный эллипсометр EMPro. Его отличительной чертой является использование гелий-неонового лазера с длиной волны 632,8 нм в качестве источника излучения. Этот лазер обеспечивает высокую стабильность и точность измерений.

С помощью EMPro можно исследовать как однослойные, так и многослойные пленки (от 1 до 3 слоев), а также изучать свойства основного материала подложки. Благодаря своей стабильности, чувствительности и низкому уровню шумаEMPro позволяет исследовать даже не идеально гладкие, шероховатые поверхности.

EMPro.png

Параметр Значение Ед. измерения
Длина волны
632,8 нм
Точность определения толщины пленки
0,01 нм
Точность определения показателя преломления
0,0005 -
Время измерения
0,8 с

 

Эллипсометр EMPro управляется с помощью современного и оптимизированного программного обеспечения. Оно обеспечивает точные измерения с низким уровнем шума и высокоточным выравниванием образца. Кроме того, прибор оснащён множеством предустановленных сценариев, которые идеально подходят для различных задач.

Узнать больше о лазерном эллипсометре EMPro и сделать заказ>>>

 

Преимущества эллипсометров ES01 и EMPro:

  • Бесконтактный неразрушающий метод исследования.
  • Высокая чувствительность и скорость измерений.
  • Разнообразие получаемых данных и их форматов.
  • Усовершенствованные технологии позиционирования образцов.
  • Простое управление с помощью многофункционального программного обеспечения.

 

Области применения: 

  • Измерение толщины и оптических параметров тонких пленок.
  • Измерение шероховатости поверхности на практически на любых поглощающих или прозрачных подложках с плоской зеркальной поверхностью.
  • Измерение параметров солнечных батарей.
  • Микроэлектроника.
  • Полупроводниковая электроника.
  • Биотехнологии.
  • Естественные науки.
  • Нанотехнологии.

Компания «Специальные Системы. Фотоника» является официальным дистрибьютором представленных решений и оказывает техническую поддержку на территории России и ЕАЭС.

Для получения дополнительной информацией и оформления заказа вы можете связаться с нашими специалистами, которые помогут подобрать оптимальное решение под ваши задачи.

Возврат к списку


Мой заказ