Лазерный интерферометр MWP-100/300V – высокоточное измерение оптических поверхностей

09.09.2025

Интерферометр – это измерительный прибор, принцип работы которого основан на явлении интерференции световых волн. Он позволяет бесконтактно анализировать оптические поверхности и является незаменимым инструментом при изготовлении и контроле качества современных оптических систем.

Представляем новое оборудование в нашем онлайн-каталоге – лазерный интерферометр с фазовым сдвигом MWP-100/300V!

Рисунок 1 - Лазерный интерферометр MWP-100/300V

Принцип работы

Лазерный интерферометр MWP-100/300V основан на технологии фазового сдвига. Основной блок интерферометра с апертурой 100 мм подходит для измерения плоских, сферических и асферических оптических поверхностей, а конфигурация с расширителем пучка 300 мм рассчитана только на плоские поверхности. Устройство позволяет детально охарактеризовать трёхмерный рельеф исследуемой поверхности с точностью до 0,06 мкм (PV) и выше, с воспроизводимостью λ/1000 (RMS), а также точно измерять проходящие и отражённые волновые фронты.

Интерферометр имеет конфигурацию типа Физо. Источник излучения – лазер с рабочей длиной волны 632,8 нм. Упрощенная схема интерферометра Физо приведена на рисунке 2. Излучение от лазера расширяется и коллимируется, затем разделяется с помощью светоделителя на измерительный и опорный пучки света. Отражённый от исследуемой поверхности измерительный пучок возвращается в прибор, где интерферирует с опорным пучком. Полученная интерференционная картина регистрируется камерой прибора и обрабатывается с помощью программного обеспечения (ПО). 

Рисунок 2 - Упрощенная схема интерферометра Физо, элементы и ход лучей

Основные характеристики лазерного интерферометра MWP-100/300V: Конфигурация типа Физо. Метод фазового сдвига. Два варианта апертуры:       Апертура 1 ≥ Ø100 мм - измерение плоских, сферических и асферических поверхностей.       Апертура 2 ≥ Ø 300 мм - измерение плоских поверхностей. Лазер с длиной волны 632,8 нм. Высокая точность PV: ≤ λ/20 (Ø100 мм), ≤ λ/12 (Ø300 мм). RMS повторяемость ≤ λ/1000 (2σ). Основная камера: разрешение 2048 × 2048, частота кадров ≥ 60 кадров/сек. Дополнительная точечная камера. Измерение прошедшего и отражённого волновых фронтов оптических компонентов диаметром до 32 дюймов.

Программное обеспечение и расширенные функции анализа

Для обработки интерферограмм используется программное обеспечение.

Рисунок 3 – Внешний вид ПО

Программное обеспечение может выполнять прямоугольный, круговой и многоугольный анализ данных и поддерживает исключение данных в произвольных многоугольных областях.

Функциональные возможности:

• PV и RMS, таблицы статистики.
• Контурные карты, 3D-стереограммы и интерференционные картины.
• Анализ по многочленам Цернике, удаление аберраций низкого порядка.
• Временные и счётные измерения, усреднение серий измерений.
• Ручная и автоматическая настройка экспозиции.
• Измерения нескольких поверхностей, однородности материала и контроль параллельности.
• Анализ спектральной плотности мощности (PSD).

Базовая комплектация

В комплект входят основной блок интерферометра, 100- и 300-мм оптические элементы TF и RF, система расширения пучка со стойкой и корпусом, платформа загрузки образцов, программное обеспечение для анализа и настольный компьютер.

Примечание: конфигурации с диаметром пучка 100 и 300 мм могут быть реализованы как в одном устройстве, так и в формате двух отдельных приборов.

Компания «Специальные Системы. Фотоника» является официальным дистрибьютором представленного решения и оказывает техническую поддержку на территории России и ЕАЭС. Для получения дополнительной информации и оформления заказа вы можете связаться с нашими специалистами.

Возврат к списку