Зондовые станции: от ручных для лабораторий до автоматических для производственных задач
25.11.2025
Мы рады сообщить о новом разделе в нашем онлайн-каталоге – «Системы тестирования электрических параметров полупроводников». В этом разделе вы найдете профессиональное оборудование для контроля и анализа полупроводниковых пластин и микроэлектронных компонентов. Раздел включает в себя зондовые станции, предназначенные для проведения измерений в широком диапазоне условий – от научных исследований до серийного производства.
Принцип работы станций основан на трехэтапном цикле. На этапе позиционирования образец фиксируется на платформе, а с помощью микроскопа и манипуляторов зонды с субмикронной точностью подводятся к контактным площадкам кристалла, формируя надежное электрическое соединение. На этапе измерения через зонды на тестируемое устройство подаются управляющие сигналы (напряжение, ток, СВЧ-излучение), а его отклик регистрируется внешними измерительными приборами; станция при этом обеспечивает стабильность контакта и минимальный уровень шумов. Завершающий этап включает анализ полученных данных, отвод зондов и перемещение столика к следующей точке измерений, причем весь цикл может выполняться как в ручном, так и в автоматическом режиме с программным управлением.
Ключевым преимуществом зондовых станций является возможность неразрушающего контроля отдельных кристаллов на пластине. Оборудование обеспечивает высокую точность и повторяемость измерений за счет микронного позиционирования, а универсальность систем позволяет адаптировать их для тестирования различных материалов – от кремния до широкозонных полупроводников (GaN, SiC) – и проведения разнообразных измерений (I-V, C-V, RF-характеризации) путем смены зондовых наконечников и измерительных модулей. Кроме того, станции могут быть дополнены высокоточными позиционерами для работы с фотонными интегральными схемами.
В разделе представлены следующие модели зондовых станций:
|
|
Зондовая станция серии E – эргономичная станция с компактной конструкцией и адаптивной системой виброзащиты. Подходит для работы с пластинами до 12 дюймов и установки до 12 манипуляторов, применяется в тестировании интегральных схем и солнечных элементов.
|
|
Зондовая станция серии H – модульная ручная станция с пневматическим перемещением рабочей платформы и механизмами точной подстройки без обратного люфта. Конструкция позволяет модернизировать систему, добавляя лазерный модуль или термостолик, для сложных НИОКР-задач.
|
|
|
|
Зондовая станция серии C оснащена отличной механической системой и эргономичным управлением. Конструкция станции включает герметичную измерительную камеру с системой термостатирования, обеспечивающую рабочий диапазон температур от -100°C до +300°C.
|
|
Зондовая станция серии CG – модель с полностью вакуумным исполнением и системой охлаждения. Обеспечивает стабильные измерения слабых сигналов в условиях глубокого вакуума и криотемператур.
|
|
Зондовая станция серии CGX – полуавтоматическая станция для работы с температурами от 10K. Использует жидкий гелий для охлаждения и поддерживает высокоточные измерения для исследований и производства в области микроэлектроники и оптоэлектроники.
|
|
Зондовая станция серии V работает как в полностью автоматическом (с системой загрузки пластин), так и в полуавтоматическом режиме. При вдвое меньших габаритах, чем у серии X, она обеспечивает высокоскоростное групповое тестирование пластин до 12 дюймов.
|
|
|
|
|
|
Подробнее о Системах тестирования электрических параметров полупроводников >>>
Сопутствующее Оборудование:
Радиоизмерительное оборудование
Тестирование и измерение параметров волоконных компонентов и ФИС
Измерение параметров лазеров, оптики и оптоэлектроники
Компания «Специальные Системы. Фотоника» является официальным дистрибьютором представленных решений и оказывает техническую поддержку на территории России и ЕАЭС.
Для получения дополнительной информацией и оформления заказа вы можете связаться с нашими специалистами, которые помогут подобрать оптимальное решение под ваши задачи.
