ГлавнаяКаталогИзмерение параметров лазеров, оптики и оптоэлектроникиИзмерительное оборудование для оптики и полупроводниковых пластинЛазерные интерферометрыMWP-100/300V - лазерный интерферометр с фазовым сдвигом
MWP-100/300V - лазерный интерферометр с фазовым сдвигом
Лазерный интерферометр MWP-100/300V с фазовым сдвигом для прецизионного технологического контроля плоских, сферических и асферических оптических поверхностей.
- Два варианта апертуры.
- Апертура 1 ≥ Ø100 мм - измерение плоских, сферических и асферических поверхностей.
- Апертура 2 ≥ Ø 300 мм - измерение только плоских поверхностей.
- Точное измерение проходящих и отражённых волновых фронтов оптических компонентов диаметром до 32 дюймов.
- Метод измерения: Физо.
- Рабочая длина волны: 632,8 нм.
- Разрешение основной камеры: 2048 × 2048.
- Точность PV: ≤ λ/20 (Ø100 мм), ≤ λ/12 (Ø300 мм) .
- RMS повторяемость: ≤ λ/1000 (2σ).
- Программное обеспечение.
Лазерный интерферометр MWP-100/300V, основанный на технологии фазового сдвига, широко применяется для прецизионного технологического контроля плоских, сферических и асферических оптических поверхностей. Он позволяет характеризовать трёхмерный рельеф измеряемой поверхности с точностью до 0,06 мкм (PV) и выше.
Основной блок интерферометра с апертурой 100 мм излучает коллимированный пучок диаметром 100 мм, который используется для измерения плоских поверхностей диаметром 100 мм. При оснащении сферическими линзами с различными F-числами пучок становится расходящимся, что позволяет измерять как сферические, так и асферические поверхности.
Конфигурация с апертурой 300 мм состоит из основного блока и системы расширителя пучка. На выходе формируется коллимированный пучок диаметром 300 мм, который может использоваться только для измерения плоских поверхностей.
Преимущества:
- Большая апертура 300 мм.
- Точное измерение проходящих и отражённых волновых фронтов оптических компонентов диаметром до 32 дюймов.
- Высокая точность и повторяемость измерений, сопоставимые с ведущими мировыми аналогами.
Комплектация:
- Основной блок интерферометра - 1 шт.
- 4-дюймовая TF - 1 шт.
- 4-дюймовая RF - 1 шт.
- Система расширения пучка - 1 шт.
- 300-мм TF - 1 шт.
- 300-мм RF - 1 шт.
- Стойка и корпус системы расширения пучка - 1 шт.
- Платформа загрузки - 1 шт.
- Программное обеспечение для анализа - 1 шт.
- Настольный компьютер - 1 шт.
| Параметр | Значение | Ед. изм. | ||
|---|---|---|---|---|
| Рабочая длина волны | 632,8 ± 1 | нм | ||
| Измерительная апертура |
Две апертуры: апертура 1 ≥ Ø100; апертура 2 ≥ Ø300 |
мм | ||
| Основной блок интерферометра | ||||
| Лазер |
Возможность настройки длины волны и фазового сдвига; краткосрочная (10 мин) стабильность длины волны ≤ 0,001 нм, долгосрочная (12 ч) стабильность длины волны ≤ 0,01 нм |
|||
| Эффективная измерительная апертура |
≥Ø100 |
мм | ||
| Увеличение | 1× фиксированное увеличение | |||
| Диапазон фокусировки | ≥ 1,5 | м | ||
| RMS повторяемость | ≤ λ/1000 (2σ) @ λ=632,8 нм | |||
| RMS повторяемость волнового фронта | ≤ λ/1000 (Среднее + 2σ) @ λ=632,8 нм | |||
| RMS стабильность волнового фронта | ≤ λ/250 @ 24 ч (Среднее + 2σ) @ λ=632,8 нм | |||
| Разрешение основной камеры | 2048 × 2048 | |||
| Частота кадров основной камеры | ≥ 60 | кадров/сек | ||
| Метод юстировки | Быстрая юстировка с перекрестием точечной камеры | |||
| Разрешение точечной камеры | 1280 × 1024 | |||
| Частота кадров точечной камеры | ≥ 20 | кадров/сек | ||
| Поле зрения при наведении | ±3 | ° | ||
| Стандартная плоскость пропускания (TF), стандартная плоскость отражения (RF) |
Точность TF (в пределах Ø100 мм) PV ≤ λ/20, точность RF (в пределах Ø100 мм) PV ≤ λ/20 @ λ=632,8 нм |
|||
| Функция передачи прибора | > 0,8 при 3,2 циклах/мм | |||
| Система расширения пучка | ||||
| Эффективная измерительная апертура |
≥ Ø300 |
мм | ||
| Пространственное разрешение | ≤ 0,16 | мм/px | ||
| Система коллимации |
Погрешность волнового фронта коллимированной системы < 1 λ |
|||
| Стандартная плоскость пропускания (TF), стандартная плоскость отражения (RF) |
Точность TF (в пределах Ø300 мм) PV ≤ λ/12, точность RF (в пределах Ø300 мм) PV ≤ λ/12 @ λ = 632,8 нм |
|||
| RMS повторяемость | ≤ λ/1000 (2σ) @ λ = 632,8 нм | |||
| RMS повторяемость волнового фронта | ≤ λ/1000 (Среднее + 2σ) @ λ = 632,8 нм | |||
| RMS стабильность волнового фронта | ≤ λ/250 @ 24 ч (Среднее + 2σ) @ λ = 632,8 нм | |||
| Держатель образца | С функциями регулировки углов наклона и поворота | |||
| Реализованные функции | ||||
|
Программное обеспечение анализа может выполнять прямоугольный, круговой и многоугольный анализ данных и поддерживает исключение данных в произвольных многоугольных областях. Другие функции: отношение пик-впадина (PV), среднеквадратическое отклонение (RMS), контурные карты, 3D-стереограммы, интерференционные картины, анализ по многочленам Цернике, удаление аберраций низкого порядка, усреднение нескольких измерений, измерения по времени и по фиксированному количеству, таблицы статистики PV и RMS, ручная/автоматическая регулировка интенсивности экспозиции, функции измерения передаточной функции прибора (ITF). Реализуется автоматическая настройка нуля интерференционных полос (требуется электрическая TF зеркальная 2D регулировочная рамка, не входит в стандартную комплектацию) и поддерживается измерение однородности материала. -С функцией измерения нескольких поверхностей. -С функцией контроля параллельности. -С функцией анализа спектральной плотности мощности (PSD). -С универсальными интерфейсами данных, такими как открытие и сохранение в формате DAT и XYZ. |
||||
Мой заказ