3D-OP-8000 - 3D оптический профилометр для анализа больших образцов

3D-OP-8000 - оптический 3D профилометр для анализа больших образцов. Прибор обладает точностью до субнанометрового уровня, оперативным обнаружением за 1 секунду.
  • Диапазон сканирования по Z: 150 - 350 мм (по запросу).
  • Частота сканирования: 169 - 3200 Гц.
  • Отражательная способность исследуемого объекта: 0,02 - 100%.

Принцип работы прибора основан на интерференции света двух когерентных источников излучения с одинаковой частотой, одинаковым направлением колебаний и постоянной разностью фаз.

Интерферометр с фазовым сдвигом использует источник излучения в определенном диапазоне длин волн для подтверждения интерференции света между отраженным от целевой и отраженным от эталонной поверхности светом. Разница между пиками яркости интерференционных полос представляет собой разницу высот.

Преимущества:

1. Получение микроскопической трехмерной морфологии со сверхвысокой точностью. Профилометр серии ER230 может использоваться для получения трехмерной морфологии поверхности с субнанометровой точностью. При использовании специализированного ПО, оснащенного алгоритмом извлечения слабоинтенсивного света, для обработки и анализа структуры, максимальная среднеквадратичная повторяемость может достигать 0,005 нм.

2. Сверхвысокая скорость, значительно повышающая эффективность измерений. Серия ER230 оснащена широким спектром высокоскоростных нанопьезоэлектрических керамических сканеров с максимальной скоростью сканирования 400 мкм/с и частотой 3200 Гц. Это позволяет использовать прибор на автоматизированных производственных линиях.

3. Алгоритм SST+GAT. Благодаря разработанному в рамках отраслевой инициативы алгоритму SST+GAT, серия профилометров ER230 может мгновенно завершить сбор данных по 2,3 миллионам точек.

4. Большой угол обзора и высокая точность. Интерференция белого света обеспечивает измерение через фазу оптической интерференции. Точность обнаружения может составлять <1 нм при любом увеличении.

5. Широкий выбор измерительных инструментов, доступных для различных промышленных применений. Оснащение прибора включает в себя измерительные инструменты международного стандарта для эффективного и простого анализа 3D-данных.

6. Встроенный механизм воздушного буфера - можно не опасаться случайных касаний.
7. Инновационная технология с заниженным центром тяжести существенно снижают вибрационные воздействия.
8. Устойчивость к вибрациям увеличена в 2,7 раза. На частотах более 5 Гц горизонтальная и вертикальная изоляция более 90%:


Многофункциональный пульт управления позволяет вполовину сократить время выполнения операций.




Общие технические параметры

Параметр
Значение Ед. измерения
 Измерительный блок
Эффективное расширение камеры  2,3 мегапикселя
Количество точек 1920x1200 точек
Режимы сканирования  PSI,VSI  
Материал сканирующего модуля Пьезоэлектрическая керамика  
Платформа    
     
     
     
Количество пикселей
2,3 млн.
Принцип сканирования
интерференция белого света
Сканирующий привод
пьезоэлектрическая керамика
Диапазон сканирования по Z
5000 мкм
Максимальная скорость сканирования
400 мкм/с
Отражательная способность исследуемого объекта
0,02 - 100 %
Центральная длина волны
520 нм
Масса
2 кг
Разрешение КМОП-матрицы
0,001 нм
Среднеквадратичная воспроизводимость
0,005 нм
Воспроизводимость шага
0,09 %
Точность
0,5 %

Требования к среде эксплуатации

Параметр
Значение Ед. измерения
Оптимальная рабочая температура
18 - 22 °C
Допустимая рабочая температура
10 - 35 °C
Температура хранения
0 - 45 °C
Относительная влажность
20 - 85 %
Источник питания
AC 100-240V, 50~60 Гц, ~1A

Параметры объектива

Параметр Значение Ед. измерения
Увеличение объектива 2,5Х 10Х 20Х 50Х 100Х 115Х
Рабочее расстояние 10,3 9,3 7,4 4,7 3,4 2 0,7 мм
Угол обзора 7,3 x 4,6 3,7 x 2,3 1,8 x 1,2 0,91 x 0,58 0,37 x 0,23 0,18 x 0,12 0,16 x 0,1 мм2
Угол обзора 4,3 7,4 17,5 23,6 33,4 44,4 53,1 °
Размер пикселя 3,8 1,9 0,96 0,48 0,19 0,1 0,08 мкм
Точность сканирования XY 2 1 0,5 0,25 0,13 0,06 0,04 мкм
Количество точек сканирования 1920 x 1200
Скорость сканирования 169 - 3200 Гц

Параметры предметного столика

Параметр Значение Ед. измерения
Максимальный диапазон перемещения 100 x 70 100 x 100 мм
Режим перемещения Ручной Электрический
Разрешение перемещения 1000 0,01 мкм
Точность перемещения - <0,2 мкм
Точность позиционирования - 3 мкм
Максимальная нагрузка 3 2 кг
Максимальная нагрузка 3 2 кг
Максимальная скорость перемещения - 60 мм/с
Регулировка угла наклона ±5 ±5 °

  • Новые источники энергии.
  • Прецизионная оптика.
  • Прецизионная обработка. 
  • Контроль качества ЖК-дисплеев.
  • Аэрокосмическое приборостроение.
  • Изучение свойств полимерных материалов.
  • Измерительные инструменты 3D-данных. 

Состав системы:

  • Основной модуль системы - профилометр.
  • Платформа (ручное перемещение, электрическое, кастом).
  • Контроллер (в т.ч. мышь, монитор и клавиатура).
  • ПО (в т.ч. анализатор).
  • Объектив.
  • Блок горизонтальной регулировки в защитном кейсе.
  • Руководство пользователя.
  • Сертификат качества продукции.


Мой заказ