3D-OP-8000 - 3D оптические профилометры для анализа больших образцов

Принцип работы прибора основан на интерференции света двух когерентных источников излучения с одинаковой частотой, одинаковым направлением колебаний и постоянной разностью фаз.

Интерферометр с фазовым сдвигом использует источник излучения в определенном диапазоне длин волн для подтверждения интерференции света между отраженным от целевой и отраженным от эталонной поверхности светом. Разница между пиками яркости интерференционных полос представляет собой разницу высот.

Преимущества модели

1. Получение микроскопической трехмерной морфологии со сверхвысокой точностью. Профилометр серии ER230 может использоваться для получения трехмерной морфологии поверхности с субнанометровой точностью. При использовании специализированного ПО, оснащенного алгоритмом извлечения слабоинтенсивного света, для обработки и анализа структуры, максимальная среднеквадратичная повторяемость может достигать 0,005 нм.

2. Сверхвысокая скорость, значительно повышающая эффективность измерений. Серия ER230 оснащена широким спектром высокоскоростных нанопьезоэлектрических керамических сканеров с максимальной скоростью сканирования 400 мкм/с и частотой 3200 Гц. Это позволяет использовать прибор на автоматизированных производственных линиях.

3. Алгоритм SST+GAT. Благодаря разработанному в рамках отраслевой инициативы алгоритму SST+GAT, серия профилометров ER230 может мгновенно завершить сбор данных по 2,3 миллионам точек.

4. Большой угол обзора и высокая точность. Интерференция белого света обеспечивает измерение через фазу оптической интерференции. Точность обнаружения может составлять <1 нм при любом увеличении.

5. Широкий выбор измерительных инструментов, доступных для различных промышленных применений. Оснащение прибора включает в себя измерительные инструменты международного стандарта для эффективного и простого анализа 3D-данных.

6. Встроенный механизм воздушного буфера - можно не опасаться случайных касаний.

7. Инновационная технология с заниженным центром тяжести существенно снижают вибрационные воздействия.

8. Устойчивость к вибрациям увеличена в 2,7 раза по сравнению с моделью EX230. На частотах более 5 Гц горизонтальная и вертикальная изоляция более 90%:

9. Многофункциональный пульт управления позволяет вполовину сократить время выполнения операций.

Принципы интерферометрии

1. Интерференция происходит при наложении двух когерентных однонаправленных волн с равной частотой и разностью фаз.

2. Разница между максимальной и минимальной яркостью точек А и В интерференционной картины соответствует разности высоты точек поверхности.

3. Измерения с помощью PSI – Phase Shifting Interferometry, фазосдвигающей интерферометрии – основаны на регистрации интерферограмм, формируемых в интерферометре пучками света, отражёнными эталонной и измеряемой поверхностями. Для определения высоты рельефа поверхности используются несколько интерферограмм с известным фазовым сдвигом и значение длины волны источника излучения.

4. Метод VSI – Vertical Scanning Interferometry – основан на фиксации интерференционных картин в белом свете в процессе движения образца по вертикали. Когда длина оптического пути становится равной длине оптического пути до эталонной поверхности, яркость интерференционных полос достигает максимума. Расстояние по оси Z, на котором была достигнута максимальная яркость, фиксируется при помощи сенсора CCD, далее строится 3D-профиль поверхности или устанавливается разность высот.

Отличие 3D-OP-8000 от других моделей

1. Малое среднее время сканирования.

Увеличена эффективность сканирования (число сканирований в секунду).

Анализ шероховатости поверхности

1. Стандарт шероховатости линии R_a/R_z по ISO-4287.

R_a – это среднее арифметическое абсолютного смещения линии.

R_z – это параметр, равный сумме самой высокой вершины контура R_p и самой низкой точки контура R_v.

Возможности модели 3D-OP-8000 позволяют избежать перечисленных недостатков:

Измерение поперечного сечения и линейных размеров в любом положении

Профилометр модели 3D-OP-8000 способен измерять высоту, плоскостность, ширину, угол, радиус и др. параметры. Для их измерения устройству достаточно одного сканирования.

Измерение поперечного сечения и линейных размеров в любом положении

Измерение контрастности контура

Любое измерение – в один клик!

Поддержка различных мод сшивки

Поддерживает различные настройки мод сшивки и позволяет напрямую вводить значения диапазона сшивки, что делает процесс измерения более удобным и эффективным.

• Форма квадрата.

             

• Форма квадратной рамки.

   

• Форма круглой рамки.