EMPro - лазерный эллипсометр

Эллипсометр — это бесконтактное, неразрушающее и высокочувствительное оптическое устройство, предназначенное для исследования структурных и физических свойств тонких пленок на наноуровне. Его работа основана на регистрации изменений поляризации излучения, которые происходят до и после его отражения от поверхности образца и границы раздела сред.

EMPro — это лазерный эллипсометр, предназначенный для высокоточных измерений параметров пленок на гладкой подложке под различными углами. Он способен с невероятной точностью определять толщину пленки и ее оптические постоянные, используя He-Ne лазер с длиной волны 632,8 нм. С помощью EMPro можно исследовать как однослойные, так и многослойные пленки (1-3 слоя), а также изучать свойства основного материала подложки. 

Благодаря современному, интуитивно понятному и надежному программному обеспечению, EMPro находит широкое применение как в научных исследованиях и разработках, так и для контроля качества в производственных процессах. Его применение охватывает множество областей, включая микроэлектронику, полупроводники, биологию, естественные науки, технологии отображения и многие другие. Высокая чувствительность и сверхнизкий уровень шума позволяют проводить измерения даже на поверхностях, которые не являются идеально гладкими и могут вызывать рассеянный свет, например, на солнечных батареях.

EMPro был разработан с целью максимально использовать потенциал метода эллипсометрии и расширить его границы. Его основная конструкция включает в себя компенсатор с высокой фазовой стабилизацией, вращающийся компенсатор с частотной стабилизацией, управляемый компьютером, а также метод двухзонного усреднения. Это позволяет проводить измерения ультратонких пленок и шероховатости поверхности на самых разнообразных подложках — как поглощающих, так и прозрачных, с плоской зеркальной поверхностью. В комплект EMPro входит ручной гониометр, который отличается высокой производительностью и точностью измерения угла наклона. Благодаря этому даже самые сложные образцы можно исследовать быстро и эффективно.

EMPro отличается компактностью, простотой в настройке и запуске, а управление осуществляется с помощью современного персонального компьютера.

Особенности: 

• Идеальные инструменты для исследования пленки или покрытий на подложке. 
• Бесконтактное оптическое измерение толщины тонкой пленки, показателя преломления, поглощения и степени поляризации в качестве индикатора неидеальности образца.
• Необычайно высокая стабильность и точность благодаря стабильному лазерному источнику света, усовершенствованному методу отбора проб RCE, двухзонному усреднению и детектору со сверхнизким уровнем шума.
• Высокоточное выравнивание образцов с помощью оптического телескопа и микроскопа с автоматической коллимацией.
• Современный, удобный, оптимизированный и надежный пользовательский интерфейс включает в себя полный пакет предопределенных сценариев применений в области микроэлектроники, магнитных носителей, естественной науки и др.
• Быстрое и удобное измерение с помощью одного угла падения, выбираемого в зависимости от конкретного применения.
• Новая технология настройки образца для эффективного повышения точности позиционирования образца.
• Уникальные методы шумоподавления, позволяющие значительно повысить соотношение сигнал/шум (SNR).
• Усовершенствованная технология оптико-электронного детектирования, позволяющая значительно снизить уровень шума, создаваемого производственной линией.