WLI-AT-R - оптический профилометр поверхности

Принцип работы профилометра WLI-AT-R основан на интерференции света двух когерентных источников излучения с одинаковой частотой, одинаковым направлением колебаний и постоянной разностью фаз.

Интерферометр с фазовым сдвигом использует источник излучения в определенном диапазоне длин волн для подтверждения интерференции света между отраженным от целевой и отраженным от эталонной поверхности светом. Разница между пиками яркости интерференционных полос представляет собой разницу высот.

Измерения с помощью PSI – Phase Shifting Interferometry, фазосдвигающей интерферометрии – основаны на регистрации интерферограмм, формируемых в интерферометре пучками света, отражёнными эталонной и измеряемой поверхностями. Для определения высоты рельефа поверхности используются несколько интерферограмм с известным фазовым сдвигом и значение длины волны источника излучения.

Метод VSI – Vertical Scanning Interferometry – основан на фиксации интерференционных картин в белом свете в процессе движения образца по вертикали. Когда длина оптического пути становится равной длине оптического пути до эталонной поверхности, яркость интерференционных полос достигает максимума. Расстояние по оси Z, на котором была достигнута максимальная яркость, фиксируется при помощи сенсора CCD, далее строится 3D-профиль поверхности или устанавливается разность высот.

1. Получение микроскопической трехмерной морфологии со сверхвысокой точностью. Профилометр серии WLI-AT-R может использоваться для получения трехмерной морфологии поверхности с субнанометровой точностью. При использовании специализированного ПО, оснащенного алгоритмом извлечения слабоинтенсивного света, для обработки и анализа структуры, максимальная среднеквадратичная повторяемость может достигать 0,005 нм.

• Уникальный источник белого света на светодиодах со специальной модуляцией. Центральная длина волны серии в зеленой полосе 520 нм.

• Высокочувствительный высокоскоростной датчик с алгоритмом обнаружения слабого света.

• Максимальный угол на гладкой поверхности составляет 53°, а локальный угол наклона профиля может достигать 90°.

• Многолинзовая система проходит строгий контроль и калибровку перед поставкой.

2. Сверхвысокая скорость, значительно повышающая эффективность измерений. Серия WLI-AT-R оснащена широким спектром высокоскоростных нанопьезоэлектрических керамических сканеров с максимальной скоростью сканирования 400 мкм/с и частотой 3200 Гц. Это позволяет использовать прибор на автоматизированных производственных линиях.

• Быстрый сбор данных. CMOS-камера 2,3 Мп (5 Мп по запросу) с высоким уровнем светочувствительности. Частота сканирования 169-3200 Гц. Наноразмерная пьезокерамика.

3. Алгоритм SST+GAT. Благодаря разработанному в рамках отраслевой инициативы алгоритму SST+GAT, серия профилометров WLI-AT-R может мгновенно завершить сбор данных по 2,3 миллионам точек.

Схема процесса обработки данных WLI-AT-R

Схема процесса обработки данных других аналогичных устройств

4. Большой угол обзора и высокая точность. Интерференция белого света обеспечивает измерение через фазу оптической интерференции. Точность обнаружения может составлять <1 нм при любом увеличении.

5. Широкий выбор измерительных инструментов, доступных для различных промышленных применений. Оснащение прибора включает в себя измерительные инструменты международного стандарта для эффективного и простого анализа 3D-данных.

• Измерение размеров поперечного сечения и плоскостности в любом положении. Профилометр модели WLI-AT-R способен измерять высоту, плоскостность, ширину, угол, радиус и др. параметры. Для их измерения устройству достаточно одного сканирования.

• Измерение объёма и площади в любой пространственной конфигурации.

• Измерение контрастности контура.

	Модель конкурентов		WLI-AT-R
Число пикселей	1,9 Мп		2,3 Мп
Максимальная скорость сканирования	171 мкм/с		400 мкм/с
Диапазон коэффициента отражения	0,05% - 100%		0,02% - 100%
RMS повторяемость	0,008 нм		0,005 нм
1-σ повторяемость	0,1%		0,09%
1-σ точность	0,3%		0,5%
Сроки поставки	7-8 месяцев		1-1,5 месяца
Сервис		❌Экспортный контроль ❌Отсутствие техподдержки ❌Отсутствие кастомизации		✅Отсутствие экспортных рисков ✅Возможности кастомизации программного обеспечения ✅Качественная техподдержка (в том числе от производителя)