EX230 - оптический профилометр поверхности
- Принцип сканирования: интерференция белого света.
- Источник излучения: белый свет.
- Диапазон сканирования по Z: 400 мкм.
- Центральная длина волны: 520 нм.
- Частота сканирования: 169 - 3200 Гц.
- Отражательная способность исследуемого объекта: 0,02 - 100%.
Принцип работы прибора основан на интерференции света двух когерентных источников излучения с одинаковой частотой, одинаковым направлением колебаний и постоянной разностью фаз.
Интерферометр с фазовым сдвигом использует источник излучения в определенном диапазоне длин волн для подтверждения интерференции света между отраженным от целевой и отраженным от эталонной поверхности светом. Разница между пиками яркости интерференционных полос представляет собой разницу высот.
Преимущества:
1. Получение микроскопической трехмерной морфологии со сверхвысокой точностью.
Профилометр серии EX230 может использоваться для получения трехмерной морфологии поверхности с субнанометровой точностью. При использовании специализированного ПО, оснащенного алгоритмом извлечения слабоинтенсивного света, для обработки и анализа структуры, максимальная среднеквадратичная повторяемость может достигать 0,002 нм.
2. Сверхвысокая скорость, значительно повышающая эффективность измерений. Серия EX230 оснащена широким спектром высокоскоростных нанопьезоэлектрических керамических сканеров с максимальной скоростью сканирования 400 мкм/с и частотой 3200 Гц. Это позволяет использовать прибор на автоматизированных производственных линиях.
3. Алгоритм SST+GAT. Благодаря разработанному в рамках отраслевой инициативы алгоритму SST+GAT, серия профилометров EX230 может мгновенно завершить сбор данных по 2,3 миллионам точек.
4. Большой угол обзора и высокая точность. Интерференция белого света обеспечивает измерение через фазу оптической интерференции. Точность обнаружения может составлять <1 нм при любом увеличении.
5. Широкий выбор измерительных инструментов, доступных для различных промышленных применений. Оснащение прибора включает в себя измерительные инструменты международного стандарта для эффективного и простого анализа 3D-данных.
Общие технические параметры
|
Параметр
|
Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
|
Количество пикселей
|
2,3 млн. | |
|
Принцип сканирования
|
интерференция белого света | |
|
Сканирующий привод
|
пьезоэлектрическая керамика | |
|
Диапазон сканирования по Z
|
400 | мкм |
|
Максимальная скорость сканирования
|
400 | мкм/с |
|
Отражательная способность исследуемого объекта
|
0,02 - 100 | % |
|
Центральная длина волны
|
520 | нм |
|
Масса
|
2 | кг |
|
Разрешение КМОП-матрицы
|
0,001 | нм |
|
Среднеквадратичная воспроизводимость
|
0,003 | нм |
|
Воспроизводимость шага
|
0,09 | % |
|
Точность
|
0,3 | % |
Требования к среде эксплуатации
|
Параметр
|
Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
|
Оптимальная рабочая температура
|
18 - 22 | °C |
|
Допустимая рабочая температура
|
10 - 35 | °C |
|
Температура хранения
|
0 - 45 | °C |
|
Относительная влажность
|
20 - 85 | % |
|
Источник питания
|
AC 100-240V, 50~60 Гц, ~1A |
Параметры объектива
| Параметр | Значение | Ед. измерения | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Увеличение объектива | 2,5Х | 5Х | 10Х | 20Х | 50Х | 100Х | 115Х | |
| Рабочее расстояние | 10,3 | 9,3 | 7,4 | 4,7 | 3,4 | 2 | 0,7 | мм |
| Угол обзора | 7,3 x 4,6 | 3,7 x 2,3 | 1,8 x 1,2 | 0,91 x 0,58 | 0,37 x 0,23 | 0,18 x 0,12 | 0,16 x 0,1 | мм2 |
| Угол обзора | 4,3 | 7,4 | 17,5 | 23,6 | 33,4 | 44,4 | 53,1 | ° |
| Размер пикселя | 3,8 | 1,9 | 0,96 | 0,48 | 0,19 | 0,1 | 0,08 | мкм |
| Точность сканирования XY | 2 | 1 | 0,5 | 0,25 | 0,13 | 0,06 | 0,04 | мкм |
| Количество точек сканирования | 1920 x 1200 | |||||||
| Скорость сканирования | 169 - 3200 | Гц | ||||||
Параметры предметного столика
| Параметр | Значение | Ед. измерения | |
|---|---|---|---|
| Максимальный диапазон перемещения | 100 x 70 | 100 x 100 | мм |
| Режим перемещения | Ручной | Электрический | |
| Разрешение перемещения | 1000 | 0,01 | мкм |
| Точность перемещения | - | <0,2 | мкм |
| Точность позиционирования | - | 3 | мкм |
| Максимальная нагрузка | 3 | 2 | кг |
| Максимальная нагрузка | 3 | 2 | кг |
| Максимальная скорость перемещения | - | 60 | мм/с |
| Регулировка угла наклона | ±5 | ±5 | ° |
- Новые источники энергии.
- Прецизионная оптика.
- Прецизионная обработка.
- Контроль качества ЖК-дисплеев.
- Аэрокосмическое приборостроение.
- Изучение свойств полимерных материалов.
- Измерительные инструменты 3D-данных.
Состав системы:
- Основной модуль системы - профилометр.
- Платформа (ручное перемещение, электрическое, кастом).
- Контроллер (в т.ч. мышь, монитор и клавиатура).
- ПО (в т.ч. анализатор).
- Объектив.
- Блок горизонтальной регулировки в защитном кейсе.
- Руководство пользователя.
- Сертификат качества продукции.
