FTMD-X010 - измерители толщин тонких пленок
- Диапазон длин волн 250-1700 нм.
- Толщина измерения 10 нм – 250 мкм.
- Разрешение 0,01 нм.
- Количество слоев до 10.
Принцип работы приборов серии FTMD основан на бесконтактном способе измерения толщины тонких пленок и картирования топографии их поверхностей с помощью интерферометра белого света. В процессе реализации этого способа подложка с нанесенной пленкой подвергается воздействию белого света, а затем измеряется набор коррелограмм.
Данные системы способны измерять в режимах онлайн и офлайн, а также в режиме картирования. В режиме картирования системы сами могут выбирать точки измерений.
|
Параметр
|
Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
|
Диапазон длин волн
|
250 - 1700 | нм |
|
Толщина измерения
|
10 нм – 250 мкм | |
|
Разрешение
|
0,01 | нм |
|
Точность
|
0,5% &1нм |
|
|
Повторяемость
|
0,2 | нм |
|
Стабильность
|
0,08 | нм |
|
Угол падения
|
90° |
|
|
Количество слоев
|
10 |
|
|
Определение коэффициента преломления
|
доступно |
|
| Режим измерения* | онлайн/офлайн | |
|
Измеряемые материалы
|
прозрачный или полупрозрачный материалы |
|
|
Способ измерения
|
принцип отражения |
|
|
Обнаружение грубых материалов
|
доступно |
|
| Рабочее расстояние | стандартно 1,5-3, макс:50 (опционально) | мм |
| Размер пятна | 100, 200, 400 | м |
- Полупроводники.
- Презиционная оптика.
- ЖК-дисплеи.
- Новая энергия / Фотоэлектричество.
- Медицина.
- Фрезы.
- Технологические пленки.
- Полимеры.
- ITO.
- Перовскит.
- Квантовые точки.
- Диоксид кремния.
- Склеивание стекла.
- Микрофлюидика.
- Фоторезист.
- PI пленки.
FTMD-X010 - измеритель толщины тонких пленок 1190.82(Kб)
Мой заказ