Smart6050 - 3D оптический профилометр
- Принцип сканирования: интерференция белого света.
- Источник излучения: белый свет.
- Диапазон измерения по оси Z 70 мм.
- Точность измерения до 3 мкм.
- Максимальная нагрузка 25 кг.
Принцип работы прибора основан на интерференции света двух когерентных источников излучения с одинаковой частотой, одинаковым направлением колебаний и постоянной разностью фаз.
Интерферометр с фазовым сдвигом использует источник излучения в определенном диапазоне длин волн для подтверждения интерференции света между отраженным от целевой и отраженным от эталонной поверхности светом. Разница между пиками яркости интерференционных полос представляет собой разницу высот. Максимальная площадь измеряемого образца 500*400 мм. Диапазон измерения по оси Z 70 мм. Двойной телецентрический объектив. Возможность настройки отчетов по измерениям и установки программных модулей для конкретного вида применения.
|
Параметр |
Значение | Единица измерения | ||
|---|---|---|---|---|
|
Диапазон измерений |
Большое поле | 500 × 400 | мм | |
| Малое поле | 430 × 350 | мм | ||
|
Точность измерения |
С сшивкой |
Большое поле | ± 3 | мкм |
| Малое поле | ± 1 | мкм | ||
|
Без сшивки |
Большое поле | ±(5+0,02L)* | мкм | |
|
Малое поле |
±(3+0,02L)* | мкм | ||
|
Точность повторений |
Без перемещения | Большое поле | ± 1 | мкм |
| Малое поле | ± 0,5 | мкм | ||
|
С перемещением |
Большое поле | ± 2 | мкм | |
| Малое поле | ± 1,5 | мкм | ||
| Диапазон измерения по оси Z | 70 | мм | ||
| Габаритные размеры | 1060*860*1890 | мм | ||
| Линзы |
Двойной телецентрический объектив с фиксированной кратностью |
|||
| Вес платформы | ~ 650 | кг | ||
| Максимальная нагрузка | 25 | кг | ||
| Подсветка |
Трансмиссионный свет: телецентрическое параллельное освещение (зеленый свет) Поверхностный свет:4-зональное среднее и малоугловое освещение; освещение под выскоим углом (белый свет) Поверхностный свет: кольцевое(малоугловое) освещение(зеленый свет) Коаксиальный свет (опционально): эпи-иллюминация (белый свет) |
|||
| Данные измерений | 2D измерение | |||
| Выходные данные | Функция составления отчетов и статистики | |||
| Потребляемая мощность | 140 | Вт | ||
| Питание | 220 | В | ||
| Частота блока питания | 50 | Гц | ||
| Температура окружающей среды | 20±2 | °C | ||
| Относительная влажность | 30 - 80 | % | ||
- Материаловедение.
- Прецизионная оптика.
- Прецизионная обработка.
- Микроэлектроника.
- Аэрокосмическое приборостроение.
- Изучение свойств полимерных материалов.
- Искусство и реставрация.
- Измерительные инструменты 3D-данных.
