SmartP3020 - 3D оптический профилометр
- Принцип сканирования: интерференция белого света.
- Источник излучения: белый свет.
- Диапазон измерения по оси Z 70 мм.
- Точность измерения до 0,7 мкм.
- Максимальная нагрузка 5 кг.
Принцип работы прибора основан на интерференции света двух когерентных источников излучения с одинаковой частотой, одинаковым направлением колебаний и постоянной разностью фаз.
Интерферометр с фазовым сдвигом использует источник излучения в определенном диапазоне длин волн для подтверждения интерференции света между отраженным от целевой и отраженным от эталонной поверхности светом. Разница между пиками яркости интерференционных полос представляет собой разницу высот. Максимальная площадь измеряемого образца 500*400 мм. Диапазон измерения по оси Z 70 мм. Двойной телецентрический объектив. Возможность настройки отчетов по измерениям и установки программных модулей для конкретного вида применения.
Параметр |
Значение | Единица измерения | ||
---|---|---|---|---|
Диапазон измерений |
Большое поле | 194 × 135 | мм | |
Малое поле | 162 × 108 | мм | ||
Точность измерения |
С сшивкой |
Большое поле | ± 2 | мкм |
Малое поле | ± 0,7 | мкм | ||
Без сшивки |
Большое поле | ±(4+0,02L)* | мкм | |
Малое поле |
±(2,7+0,02L)* | мкм | ||
Точность повторений |
Без перемещения | Большое поле | ± 1 | мкм |
Малое поле | ± 0,25 | мкм | ||
С перемещением |
Большое поле | ± 2 | мкм | |
Малое поле | ± 1.25 | мкм | ||
Диапазон измерения по оси Z | 70 | мм | ||
Габаритные размеры | 670*500*855 | мм | ||
Линзы | Двухпольные бителецентрические линзы с низким уровнем искажений. | |||
Вес платформы | ~ 75 | кг | ||
Максимальная нагрузка | 5 | кг | ||
Подсветка |
Трансмиссионный свет: телецентрическое параллельное освещение (зеленый свет) Поверхностный свет:4-зональное среднее и малоугловое освещение (белый свет) Поверхностный свет: кольцевое(малоугловое)освещение(зеленый свет) Коаксиальный свет (опционально): эпи-иллюминация (белый свет) |
|||
Данные измерений | 2D измерение | |||
Выходные данные | Функция составления отчетов и статистики | |||
Потребляемая мощность | 600 | Вт | ||
Питание | 220 | В | ||
Частота блока питания | 50 | Гц | ||
Температура окружающей среды | 20±2 | °C | ||
Относительная влажность | 30 - 80 | % |
- Материаловедение.
- Прецизионная оптика.
- Прецизионная обработка.
- Микроэлектроника.
- Аэрокосмическое приборостроение.
- Изучение свойств полимерных материалов.
- Искусство и реставрация.
- Измерительные инструменты 3D-данных.