SSP-ELL-G1 - эллипсометр для анализа решеток
Эллипсометр для анализа решеток SSP-ELL-G1. Прибор используется для анализа морфологии поверхности оптических решеток.
- Диапазон длин волн 245-1000 нм.
- Диапазон измерения толщины 0,5 мкм – 20 мкм.
- Воспроизводимость измерения толщины образца 0,01 мкм.
- Размер пятна 150 мкм.
- Воспроизводимость показателя преломления 0,0005.
Принцип работы SSP-ELL-G1 заключается в регистрации и исследовании излучения, отраженного от исследуемой поверхности. Полученное после отражения излучение анализируется, и из библиотеки, содержащей большое количество моделей решеток, подбирается модель, которая наиболее схожа с исходной. На основании полученной модели можно оценить высоту рельефа, его толщину и угол наклона.
| Параметр | Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
| Воспроизводимость измерений параметров | ˂ 0,5 | нм |
| Точность измерений параметров | ˂ 2 | % |
| Воспроизводимость измерений толщины образца | 0,01 | нм |
| Диапазон измерения толщины | 0,5-20 | мкм |
| Воспроизводимость показателя преломления | 0,0005 | |
| Размер пятна | 150 | мкм |
| Диапазон длин волн | 245-1000 | нм |
| Предельная толщина | ≥ 20 | нм |
| Перемещение по XYZ | c приводом | |
| Способ фокусировки | автоматизированный | |
Сравнение измерений на SSP-ELL-G1 и СЭМ:
| Параметр | Фактический размер | Размер СЭМ | Размер SSP-ELL-G1 | Ед. измерения |
|---|---|---|---|---|
| Глубина | 201,9 | 195,4 | 194,2 | мм |
| Ширина в верхней части | 373,1 | 369,2 | 368,7 | мм |
| Ширина в нижней части | 429,8 | 425,2 | 421,4 | мм |
- Полупроводники.
- Полимеры.
- Медицина.
SSP-ELL-G1 - Эллипсометр для анализа решеток 1536.2(Kб)
Мой заказ