Системы тестирования электрических параметров полупроводников
Зондовые станции представляют собой специализированное оборудование, предназначенное для неразрушающего контактного тестирования полупроводниковых устройств и микроэлектронных компонентов. Данное оборудование обеспечивает точное позиционирование зондов на тестовых структурах с субмикронной точностью, что позволяет проводить электрические, оптические и термомеханические измерения на различных этапах производства и исследований. Современные зондовые станции интегрируют механические прецизионные системы, средства автоматизации и другое оборудование, обеспечивая воспроизводимость результатов в широком диапазоне условий окружающей среды.
Ключевые особенности:
- Рабочая среда: стандартные условия, высокие и низкие температуры, вакуум.
- Размер пластин: 2, 4, 6, 8, 12 дюймов.
- Тип автоматизации: ручной, автоматический, полуавтоматический.
Области применения:
- Электрофизические измерения.
- Высокочастотные испытания.
- Температурные испытания.
- Оптоэлектронная характеризация.
- Надежность и отказоустойчивость.
- Контроль качества производства.
- Научные исследования.
- Интегральная фотоника.
- Микроэлектроника.
Конструктивные особенности зондовых станций варьируются в зависимости от решаемых задач: от ручных конфигураций для лабораторных исследований до полностью автоматизированных систем для промышленного контроля. Критически важными параметрами являются виброустойчивость, температурная стабильность, точность позиционирования и совместимость с различными типами измерительного оборудования. Особое значение имеют станции, работающие в экстремальных условиях – при криогенных температурах, в вакууме или при повышенных температурах, что требует применения специализированных инженерных решений и материалов.
В разделе представлены следующие зондовые станции:
- M – ручная станция для исследования сложных высокоскоростных устройств, контроль чипов и LD/LED/PD компонентов.
- E – оборудование для испытаний в полупроводниковой и оптоэлектронной отраслях с поддержкой ВЧ-тестирования до 300 ГГц.
- H – решение для анализа наноразмерных структур с системой пневматического перемещения на воздушных подшипниках.
- FA – станция для лабораторий анализа отказов с возможностью лазерной модификации структур.
- C – система для измерений в температурном диапазоне от -100°C до +300°C с герметичной измерительной камерой.
- CG – станция для высокотемпературных и низкотемпературных измерений в условиях вакуума.
- CGX – полуавтоматическая вакуумная станция для испытаний в условиях глубокого вакуума и экстремальных температур.
- V – высокопроизводительное оборудование для полностью автоматизированного тестирования полупроводниковых пластин.
- X – полуавтоматическая станция для комплексного контроля с поддержкой материалов SiC/GaN.
- A – полностью автоматическая зондовая станция для тестирования полупроводниковых пластин и компонентов.
Специалисты компании «Специальные Системы. Фотоника» будут рады предоставить Вам любую дополнительную информацию и подобрать оптимальное решение под Ваш запрос. Для составления заказа или получения консультации обратитесь к менеджерам нашей компании.
