A - зондовые станции
- Высокоскоростное позиционирование до 500 мм/с.
- Полностью автоматический цикл тестирования.
- Широкий температурный диапазон от -45°C до +250°C.
- Совместимость с пластинами 6, 8 и 12 дюймов.
- Высокоточная 4-осевая платформа WXR.
A-серия представляет собой полностью автоматические зондовые станции производственного класса для измерений в широком температурном диапазоне. Система обеспечивает высокие точность тестирования и скорость проведения измерений. Ключевыми особенностями являются полная автоматизация процессов, включая загрузку и выгрузку пластин, их центрирование, выравнивание и определение размера тестируемых образцов. Станция также оснащена функцией распознавания идентификатора пластины и поддерживает как режим единичного измерения, так и непрерывное тестирование, что позволяет значительно увеличить пропускную способность и операционную эффективность на производстве.
Конструкция станции включает в себя передовые технические решения. Высокопрецизионная четырехосевая платформа обеспечивает точность позиционирования до ±1 мкм по осям XYZ и 0,0001° по оси вращения. Использование высокоточных импортных шарико-винтовых передач и направляющих, а также специальное демпфирующее покрытие основания гарантируют стабильность и долговечность системы. Для удобства оператора станция оснащена 14-дюймовым сенсорным экраном высокого разрешения.
Станции A-серии демонстрируют высокую производительность: максимальная скорость перемещения по осям XY достигает 500 мм/с при использовании линейного двигателя, а время смены тестового участка составляет всего 200 мс. Система совместима с пластинами стандартных размеров, включая 8 и 12 дюймов, и поддерживает работу с различными типами кассет. Опционально доступна возможность оснащения позолоченным держателем пластины для снижения переходного сопротивления.
Комплексное программное обеспечение, разработанное специально для этой серии, предлагает расширенные возможности для автоматизации тестирования. Оно обеспечивает мощный функционал для редактирования карты пластины, совместимо с основными коммуникационными протоколами и полностью отвечает требованиям современного производства.
- Редактор карт пластин с поддержкой офлайн-работы и импорта/экспорта файлов.
- Функция выравнивания пластины.
- Высокоточное регулирование температуры.
- Различные алгоритмы компенсации точности.
- Поддержка протоколов связи с измерительными приборами (GPIB, TCP/IP и др.).
- Поддержка протокола SECS/GEM для интеграции с заводской системой MES.
- Распознавание идентификатора пластины, включая специальные символы.
- Функция автофокусировки изображения.
- Поддержка многоточечного позиционирования.
| Параметр | Значение | Ед. измерения | ||
|---|---|---|---|---|
|
Модель
|
A8 | A12 | A12S |
|
|
Перемещение по XY
|
260 x 450 |
X: ± 165, Y: -180...+500 |
X: ± 165, Y: -175...+605 |
мм |
|
Макс. скорость по XY
|
250 (шаг. двигатель) 500 (лин. двигатель) |
250 (шаг. двигатель) | 500 (лин. двигатель) | мм/с |
|
Повторяемость по XY
|
± 1 | ± 1 | ± 0,5 | мкм |
|
Разрешение по XY
|
0,1 | 0,1 | 0,05 | мкм |
|
Повторяемость по Z
|
± 1 | ± 1 | ± 1 | мкм |
|
Разрешение по Z
|
0,1 | 0,1 | 0,1 | мкм |
|
Перемещение по Z
|
0 - 80 | 0 - 80 | 0 - 40 | мм |
|
Макс. скорость по Z
|
80 | 80 | 80 | мм/с |
|
Поворот (θ)
|
± 10 | ± 10 | ± 5 | ° |
|
Разрешение (θ)
|
0,0001 | 0,0004 | 0,0004 | ° |
|
Индексное время
|
280 (10 мм кристалл, 200 мкм) 200 (5 мм кристалл, 300 мкм) |
280 (10 мм кристалл, 300 мкм) | 200 (10 мм кристалл, 300 мкм) | мс |
|
Размер пластины
|
6, 8 | 8, 12 | 8, 12 | " |
|
Температура
|
-45 до 200 (опционально до -55/60...+300) | °C | ||
|
Дисплей
|
15-дюймовый ЖК-дисплей высокой четкости |
|
||
|
Требования к системе
|
|
|||
|
Электропитание
|
220, 50/60 Гц | В | ||
|
Вакуум
|
от -70 до -90 | кПа | ||
|
CDA
|
0,55 – 0,7 | МПа | ||
|
Габариты (Ш x Г x В)
|
1124 x 1158 x 955 | 1467 x 1768 x 1400 | 1467 x 1768 x 1400 | мм |
- Электрические измерения.
- ВЧ и СВЧ тестирования.
- Тестирование устройств, работающих с оптическими сигналами.
- Измерение и анализ низкочастотного шума.
