CG - зондовые станции

CG-серия – это вакуумная зондовая станция с криогенным охлаждением, предназначенная для электрических и оптических измерений в диапазоне температур от 4,2K до 473K.
  • Сверхвысокий вакуум: до 10⁻⁴ Па.
  • Высокая температурная стабильность: ±0,1K при 473K.
  • Система охлаждения: жидкий азот/гелий.
  • Виброзащитная платформа.
  • Оптическая система: увеличение 16X-1000X.

Зондовая станция CG-серии представляет собой уникальную разработку для проведения измерений в условиях глубокого вакуума и экстремальных температур. Конструкция станции включает двухуровневую вакуумную камеру с двойным экранированием, обеспечивающую достижение давления до 10⁻⁴ Па при использовании молекулярных насосов. Вакуумная среда не только предотвращает конденсацию паров влаги на образце при низких температурах, но и обеспечивает термическую изоляцию, значительно повышая эффективность охлаждения. Особое внимание уделено защите образцов от окисления при высокотемпературных измерениях.

Система термостатирования станции поддерживает температурный диапазон от 4,2K до 473K с использованием жидкого азота или гелия в качестве хладагента. Инновационная коаксиальная циркуляционная система хладагента обеспечивает максимальную эффективность теплообмена при минимальном расходе реагента. Точность поддержания температуры достигает ±0,1K в рабочем диапазоне, а система цифрового управления позволяет реализовать как разомкнутые, так и замкнутые алгоритмы терморегулирования с разрешением 0,001K.

Механическая платформа станции оснащена системой позиционирования на основе самоблокирующихся шарико-винтовых пар и крестовых роликовых направляющих. Точность позиционирования зондов составляет 2 мкм при дрейфе менее 60 нм за 30 минут, что особенно важно для длительных экспериментов. Активная виброзащитная система на воздушных опорах с собственной частотой 1,2-1,5 Гц эффективно подавляет внешние вибрации в низкочастотном диапазоне при нагрузке до 400 кг.

Оптическая система станции включает микроскоп с 7:1 зумом и разрешением 4 мкм при увеличении 216X, совместимый с металлографическими объективами до 1000X. Электрические измерения поддерживаются триаксиальными интерфейсами с точностью измерения тока до 100 фА при 25°C. Станция поддерживает до 6 измерительных каналов с различными типами соединителей.

Параметр Значение
Ед. измерения
Модель
CG-O-2 CG-O-4 CG-C-2  
Рабочая платформа
   
Размер
2 4 2 "
Способ крепления образца
Вакуумная термопаста / пневматический прижим
 
Уровень вакуума
10-10
торр
Оптические характеристики
 
Перемещение
 R: 360°; Осциллирующая ось: 100 мм
 
Увеличение
Zoom 7:1, разрешение 4 мкм (ув. 216Х) или металлографический микроскоп (20Х-1000Х)
 
Размер окна наблюдения
2 4 2 "
Характеристики термостабилизации
 
Разрешение ПЗС-камеры
50W (аналог.) / 200W (цифр.) / 500W (цифр.)
 
Способ охлаждения
Жидкий азот / жидкий гелий
Холодильные компрессоры  
Метод управления
Разомкнутый цикл, ручной/автомат. контроль потока хладагента
Замкнутый цикл, автоматическое управление  
Диапазон температур
77K ~ 473K / 4,2K ~ 473K
7,3K ~ 473K  
Разрешение
0,001 K
 
Стабильность
4,2K ±0,2K; 77K ±0,1K; 373K ±0,08K; 473K ±0,1K
 
Спецификация зондов
 
Количество зондов
До 6 различных типов (расширяемо)
 
Регулировка зондов
Внешняя регулировка вакуумными сильфонами, ручное управление
 
Точность позиционирования
2 мкм
мкм
Ток утечки
1 пА/В @ 25°C, 100 фА/В @ 25°C
 
Тип коннектора
Триаксиальный / SMA / K / Волоконный
 

  • Тестирование полупроводниковых чипов.
  • Испытания оптоэлектронных компонентов.
  • Анализ спектральных характеристик оптических волокон.
  • Измерение ВАХ/СВХ характеристик.
  • Эксперименты по эффекту Холла.
  • Высокочастотные измерения.
  • Фундаментальные исследования свойств материалов.

Модель Описание
CG-O-2 Зондовая станция. Габариты 1100х1100х530 мм. Размер рабочей поверхности 2". Рабочий диапазон температур 77К-473К (4,2К-473К).
CG-O-4 Зондовая станция. Габариты 1100х1100х530 мм. Размер рабочей поверхности 4". Рабочий диапазон температур 77К-473К (4,2К-473К).
CG-C-2 Зондовая станция с замкнутым циклом охлаждения. Габариты 1100х1100х530 мм. Размер рабочей поверхности 2". Рабочий диапазон температур 7,3К-473К.
Назад к разделу

Мой заказ