CG - зондовые станции
- Сверхвысокий вакуум: до 10⁻⁴ Па.
- Высокая температурная стабильность: ±0,1K при 473K.
- Система охлаждения: жидкий азот/гелий.
- Виброзащитная платформа.
- Оптическая система: увеличение 16X-1000X.
Зондовая станция CG-серии представляет собой уникальную разработку для проведения измерений в условиях глубокого вакуума и экстремальных температур. Конструкция станции включает двухуровневую вакуумную камеру с двойным экранированием, обеспечивающую достижение давления до 10⁻⁴ Па при использовании молекулярных насосов. Вакуумная среда не только предотвращает конденсацию паров влаги на образце при низких температурах, но и обеспечивает термическую изоляцию, значительно повышая эффективность охлаждения. Особое внимание уделено защите образцов от окисления при высокотемпературных измерениях.
Система термостатирования станции поддерживает температурный диапазон от 4,2K до 473K с использованием жидкого азота или гелия в качестве хладагента. Инновационная коаксиальная циркуляционная система хладагента обеспечивает максимальную эффективность теплообмена при минимальном расходе реагента. Точность поддержания температуры достигает ±0,1K в рабочем диапазоне, а система цифрового управления позволяет реализовать как разомкнутые, так и замкнутые алгоритмы терморегулирования с разрешением 0,001K.
Механическая платформа станции оснащена системой позиционирования на основе самоблокирующихся шарико-винтовых пар и крестовых роликовых направляющих. Точность позиционирования зондов составляет 2 мкм при дрейфе менее 60 нм за 30 минут, что особенно важно для длительных экспериментов. Активная виброзащитная система на воздушных опорах с собственной частотой 1,2-1,5 Гц эффективно подавляет внешние вибрации в низкочастотном диапазоне при нагрузке до 400 кг.
Оптическая система станции включает микроскоп с 7:1 зумом и разрешением 4 мкм при увеличении 216X, совместимый с металлографическими объективами до 1000X. Электрические измерения поддерживаются триаксиальными интерфейсами с точностью измерения тока до 100 фА при 25°C. Станция поддерживает до 6 измерительных каналов с различными типами соединителей.
Параметр |
Значение |
Ед. измерения | ||
---|---|---|---|---|
Модель
|
CG-O-2 | CG-O-4 | CG-C-2 | |
Рабочая платформа
|
||||
Размер
|
2 | 4 | 2 | " |
Способ крепления образца
|
Вакуумная термопаста / пневматический прижим |
|||
Уровень вакуума
|
10-10 |
торр | ||
Оптические характеристики
|
||||
Перемещение
|
R: 360°; Осциллирующая ось: 100 мм |
|||
Увеличение
|
Zoom 7:1, разрешение 4 мкм (ув. 216Х) или металлографический микроскоп (20Х-1000Х) |
|||
Размер окна наблюдения
|
2 | 4 | 2 | " |
Характеристики термостабилизации
|
||||
Разрешение ПЗС-камеры
|
50W (аналог.) / 200W (цифр.) / 500W (цифр.) |
|||
Способ охлаждения
|
Жидкий азот / жидкий гелий |
Холодильные компрессоры | ||
Метод управления
|
Разомкнутый цикл, ручной/автомат. контроль потока хладагента |
Замкнутый цикл, автоматическое управление | ||
Диапазон температур
|
77K ~ 473K / 4,2K ~ 473K |
7,3K ~ 473K | ||
Разрешение
|
0,001 K |
|||
Стабильность
|
4,2K ±0,2K; 77K ±0,1K; 373K ±0,08K; 473K ±0,1K |
|||
Спецификация зондов
|
||||
Количество зондов
|
До 6 различных типов (расширяемо) |
|||
Регулировка зондов
|
Внешняя регулировка вакуумными сильфонами, ручное управление |
|||
Точность позиционирования
|
2 мкм |
мкм | ||
Ток утечки
|
1 пА/В @ 25°C, 100 фА/В @ 25°C |
|||
Тип коннектора
|
Триаксиальный / SMA / K / Волоконный |
- Тестирование полупроводниковых чипов.
- Испытания оптоэлектронных компонентов.
- Анализ спектральных характеристик оптических волокон.
- Измерение ВАХ/СВХ характеристик.
- Эксперименты по эффекту Холла.
- Высокочастотные измерения.
- Фундаментальные исследования свойств материалов.