C - зондовые станции

Зондовая станция C-серии – это оборудование для проведения электрических измерений в экстремальных температурных условиях. Конструкция станции включает герметичную измерительную камеру с системой термостатирования, обеспечивающую рабочий диапазон температур от -100°C до +300°C. Терморегулирование реализовано на основе жидкостного азотного охлаждения или компрессорной системы, с точностью поддержания температуры ±0,1°C/час и разрешением 0,01°C. Уникальная система продувки камеры сухим азотом предотвращает конденсацию влаги и обледенение образца при криогенных температурах, что обеспечивает стабильность измерительных условий.

Оптическая система станции оснащена трехступенчатым микроскопом с коэффициентом увеличения 11:1, позволяющим одновременно наблюдать области с низким и средним увеличением. Встроенные цифровые камеры с разрешением до 5 Мп обеспечивают документирование результатов измерений. Пневматический механизм подъема микроскопа на 50 мм облегчает смену объективов, а платформа микроманипуляторов обеспечивает точное позиционирование зондов с механическим разрешением до 0,1 мкм.

Электрические измерения поддерживаются триаксиальными интерфейсами с чувствительностью до 100 фА при температуре 25°C, что позволяет характеризовать высокоомные структуры и элементы памяти. Экранированная конструкция измерительной камеры обеспечивает уровень шума, необходимый для низкоуровневых измерений. Станция совместима с различными типами разъемов, включая коаксиальные, триаксиальные и SMA-коннекторы.

Температурный модуль станции обеспечивает быстрое изменение температуры с сохранением высокой стабильности, что важно для исследований температурной зависимости параметров полупроводниковых приборов. Конструкция включает механизм быстрой смены образцов и систему вакуумной фиксации с независимым управлением каналами. Совместимость с дополнительными опциями, такими как интегрирующая сфера для оптических измерений и оснастка для тестирования корпусных компонентов, делает C-серию универсальным решением для научно-исследовательских и производственных лабораторий.

• Держатель зонда.
• ВЧ-измерительные аксессуары.
• Комплект для измерений высокого напряжения/тока.
• Экранирующий бокс.
• Адаптер.
• Виброизолирующая платформа.
• Рабочая платформа с золотым покрытием.
• Измеритель интенсивности/спектра/длины волны света.
• Комплект для измерения малых токов/емкости.
• Модуль с интегрирующей сферой.
• Оснастка для тестирования корпусных микросхем.
• Оснастка для тестирования печатных плат.
• Специальное исполнение по индивидуальному заказу.