E - зондовые станции
- Поддержка пластин диаметром 4", 6", 8" и 12".
- Перемещение образца до 12"x12".
- Вертикальный подъем платформы на 5 мм с точностью 10 мкм.
- Быстрая смена объективов и держателей зондов.
- Конфигурация для тестирования до 300 ГГц.
- Возможность 360° вращения образца.
Зондовая станция E-серии представляет собой технически оснащенное решение для электрических, высокочастотных и оптических измерений полупроводниковых и оптоэлектронных компонентов. Оборудование предназначено для применения в производственных и исследовательских лабораториях, специализирующихся на тестировании интегральных схем, светодиодов (LED), лазерных диодов (LD), фотодетекторов (PD), солнечных элементов, а также устройств кремниевой фотоники. Конструкция станции обеспечивает совместимость с пластинами диаметром от 4 до 12 дюймов.
Конструктивные особенности станции включают систему точного позиционирования с перемещением платформы по осям X-Y в пределах, соответствующих размеру пластины (до 304×304 мм), и механизм вертикального подъёма рабочей платформы с ходом 5 мм и точностью 10 мкм, обеспечивающий безопасное отделение зондов от образца. Важным преимуществом является пневматический подъём микроскопа, который значительно ускоряет процедуру смены объективов или держателей зондовой карты. Станция поддерживает установку до 12 микроманипуляторов, что позволяет параллельно проводить многоканальные измерения.
Станция обладает значительным потенциалом для модернизации и адаптации под специализированные задачи. Она поддерживает высокочастотные измерения до 300 ГГц, а также оснащается опциональными модулями для анализа световых параметров (интенсивность и длина волны), проведения измерений в тёмном поле, с использованием дифференциально-интерференционного контраста (DIC) или метода Номарского. Дополнительные опции включают термочиллеры для высокотемпературных и низкотемпературных испытаний, лазерные системы для ремонта и анализа отказов, а также экранирующие боксы для низкошумных измерений.
Ключевые технические характеристики включают:- Механическое разрешение позиционирования: 10 мкм.
- Точность измерения тока: коаксиальный интерфейс 1 пА/В, триаксиальный 100 фА/В.
- Совместимость с металлографическими микроскопами высокого увеличения.
- Вибрационная изоляция на базе системы POMater™ с демпфирующими материалами.
| Параметр | Значение | Ед. измерения | |||
|---|---|---|---|---|---|
|
Модель
|
E4 | E6 | E8 | E12 | |
|
Габариты (Д×Ш×В)
|
580×620×730 | 640×700×730 | 660×660×700 | 1030×820×730 | мм |
|
Вес (прибл.)
|
70 | 80 | 85 | 180 | кг |
|
Электропитание
|
220В, 50-60 Гц |
|
|||
|
Рабочая платформа
|
|||||
|
Размер и угол поворота
|
4 | 6 | 8 | 12 | " |
|
Угол поворота
|
360 | ° | |||
|
Ход по осям X-Y
|
4×4 | 6×6 | 8×8 | 12×12 | " |
|
Ход по оси Z
|
6 | мм | |||
|
Разрешение перемещения
|
10 | мкм | |||
|
Способ фиксации образца
|
Вакуумная адсорбция |
|
|||
|
Конструкция
|
Электрически изолирован, с разъемом "Banana" |
|
|||
|
Платформа и микроскоп
|
|||||
|
Форма платформы
|
U-образная |
||||
|
Количество микроманипуляторов
|
6 | 8 | 10 | 12 | шт |
|
Ход микроскопа (X-Y)
|
2×2, | " | |||
|
Ход микроскопа (Z)
|
50,8 | мм | |||
|
Разрешение позиц. микроскопа
|
1 |
мкм | |||
|
Увеличение
|
16-100 / 20-4000 |
X | |||
|
Спецификация объективов
|
Окуляр: 10X; Объективы: 5X, 10X, 20X, 50X, 100X (опц.) |
||||
|
Пиксели CCD камеры
|
0,5 / 2 / 5 |
Мп | |||
|
Микроманипуляторы
|
|||||
|
Ход (X-Y-Z)
|
12×12×12 / 8×8×8 |
мм | |||
|
Механическое разрешение
|
10 / 2 / 0,7 / 0,1 (опционально) |
мкм | |||
|
Точность изм. тока утечки
|
Коакс.: 1 пА/В @25°C; Триакс.: 100 фА/В @25°C; Триакс.: 10 пА/3 кВ @25°C Условия: экранир. среда, точка росы < -40°C |
||||
|
Тип коннектора
|
Banana / "Крокодил" / Коаксиальный / Триаксиальный |
||||
Аксессуары и Опции
| E4, E6 | E8, E12 |
|---|---|
| Механизм наклона микроскопа (30°) | Золотое покрытие |
| Пневмомеханизм подъема микроскопа | Коаксиальный / Триаксиальный держатель |
| Лазерная резка и ремонт | Механизм быстрого съема держателя образца |
| Держатель зонда | Точная регулировка вращения держателя |
| Аксессуары для измерения интенсивности/длины волны света | Выбор интенсивности/длины волны света |
| Анализ утечек жидких кристаллов | ВЧ-аксессуары |
| Измерения высокого напряжения и тока | Активный пробник |
| Горячий chuck | Измерение малых токов / емкости |
| Экранирующий бокс | Оснастка для теста волоконно-оптических соединителей |
| Специальный адаптер | Оснастка для теста PCB/корпусов |
| Виброизолирующая платформа | Специальное индивидуальное исполнение |
- Измерение интенсивности света и длины волны.
- Тестирование электродов и контактных площадок.
- Испытания печатных плат (PCB) и корпусных устройств.
- Снятие ВАХ и СВХ характеристик.
- Измерение высокочастотных характеристик.
- РЧ-тестирование.
