FA - зондовые станции

Зондовая станция FA-серии представляет собой оборудование, разработанное для решения задач анализа отказов (Failure Analysis) в микроэлектронике. Конструкция станции оптимизирована для проведения электрических измерений, лазерной модификации структур и послойного анализа материалов. Станция поддерживает работу с пластинами диаметром до 8 дюймов с точностью позиционирования 1 мкм, что обеспечивает возможность исследования дефектов на кристальном уровне. Эргономичная конструкция с безлюфтовой системой перемещения позволяет оператору выполнять длительные циклы измерений без потери точности.

Ключевой особенностью станции является интегрированная лазерная система с возможностью выбора длины волны (1064/532/355/266 нм), обеспечивающая точность обработки материалов до 1×1 мкм при использовании объектива 100Х. Лазерная платформа позволяет выполнять абляцию различных материалов, включая металлические слои (Cr, Al, Ni), прозрачные проводники (ITO) и полупроводниковые структуры (poly-Si, SiN). Система поддерживает воздушное или водяное охлаждение, а модульная конструкция обеспечивает быструю смену оптических компонентов.

Термостабилизирующая опция позволяет проводить испытания в диапазоне от -80°C до +200°C, что критически важно для анализа температурной зависимости параметров компонентов и идентификации термочувствительных дефектов. Платформа микроманипуляторов поддерживает установку до 12 зондовых головок с механическим разрешением позиционирования до 0,1 мкм. Система оснащена триаксиальными интерфейсами для измерений с током утечки до 100 фА, что обеспечивает возможность характеристики высокоомных структур и элементов памяти.

Оптическая система станции совместима с металлографическими микроскопами, обеспечивающими увеличение до 4000Х, и дополнена цифровыми CCD-камерами с разрешением до 5 Мп. Пневматический механизм подъема платформы на 6 мм с автоматической блокировкой обеспечивает безопасное отделение зондов от образца после измерений. Совместимость с различными оснастками для тестирования корпусных микросхем, печатных плат и волоконно-оптических компонентов делает станцию универсальным решением для лабораторий анализа отказов, занимающихся как фундаментальными исследованиями, так и промышленным контролем качества полупроводниковой продукции.

• Механизм быстрого перемещения платформы.
• Комплект для измерений высокого напряжения/тока.
• Экранирующий бокс.
• Адаптер.
• Виброизолирующая платформа.
• Рабочая платформа с золотым покрытием.
• Механизм быстрого подъема/спуска и точной регулировки платформы по оси Z.
• Комплект для измерения интенсивности/длины волны света.
• ВЧ-измерительные аксессуары.
• Комплект для измерения малых токов/емкости.
• Оснастка для тестирования волоконно-оптических соединителей.
• Оснастка для тестирования корпусных микросхем.
• Оснастка для тестирования печатных плат.
• Специальное исполнение по индивидуальному заказу.