M - зондовые станции

М – серия ручных зондовых станций, которые представляют собой оборудование, сконфигурированное для применения в учебном процессе и исследовательских лабораториях. Станции предназначены для проведения электрических измерений характеристик широкого спектра объектов: от полупроводниковых пластин и кристаллов (чипов) до оптоэлектронных компонентов (LD, LED, PD), печатных плат (PCB) и корпусных изделий. Оборудование эффективно решает задачи измерения Вольт-Амперных характеристик (I-V) и Емкостно-Вольтовых характеристик (C-V) на структурах с топологией от 50 микрон.

Конструктивной основой станции является запатентованная виброизолирующая основа POMater™, обеспечивающая демпфирование внешних низкочастотных вибраций и тем самым повышающая стабильность и повторяемость измерений. Ключевым элементом является держатель пластин с двумя способами вакуумной фиксации образца (кольцевой и перфорированный) и тремя независимо управляемыми вакуумными каналами. Держатель электрически изолирован от корпуса и имеет разъем типа «banana jack» для использования в качестве заднего электрода. Высокая точность позиционирования образца достигается за счет использования следующих компонентов: шарико-винтовых пар THK, линейных направляющих и безлюфтового механизма перемещения по осям X и Y с ходом до 200x200 мм (в зависимости от модели M4, M6, M8). Дополнительно держатель пластин обладает функцией грубого (±45°) и точного (±8° с точностью 0,01°) углового поворота для юстировки образца относительно зондов.

Система визуализации включает стереоскопический микроскоп с переменным увеличением от 16x до 100x и возможностью вращения вокруг стойки на 360° для быстрого доступа к любой зоне образца. Станция поддерживает интеграцию с цифровыми CCD-камерами высокого разрешения (до 8 Мп) с интерфейсом HDMI для захвата и записи изображений в формате BMP. Для проведения измерений станция оборудована модульной платформой, позволяющей устанавливать до шести-восьми микроманипуляторов с магнитным или вакуумным креплением. Микроманипуляторы обеспечивают точное трехкоординатное позиционирование (XYZ, по 12 мм на каждую ось) зондовых игл с различной метрологической точностью (10, 0,7 или 0,1 мкм) и поддерживают установку широкого спектра держателей, включая коаксиальные и триаксиальные модели для низкоуровневых измерений.