V - зондовые станции
- Полная автоматизация с роботизированной загрузкой образцов.
- Высокая скорость позиционирования до 70 мм/с по осям XY.
- Эффективное ЭМЭ-экранирование >30 дБ (3-20 ГГц).
- Интерфейсы связи RS232, TCP/IP, GPIB.
- Компактные габариты.
Зондовая станция V-серии представляет собой высокопроизводительное оборудование, которое обеспечивает полностью автоматическое тестирование полупроводниковых пластин и компонентов. Система поддерживает комплексную автоматизацию измерительного процесса, что значительно повышает производительность при серийных исследованиях. При этом станция характеризуется компактными габаритами и оптимизированной конструкцией, позволяющей эффективно использовать рабочее пространство лаборатории.
Конструкция станции обеспечивает исключительные динамические характеристики: скорость позиционирования по осям X/Y достигает 70 мм/с при точности повторного позиционирования ±1 мкм и разрешении 0,1 мкм. Система оснащена низкошумным DC-приводом и специализированной защитой Full-coverage guard™. Это позволяет достигать рекордно низких уровней токов утечки. Эффективное ЭМЭ-экранирование (>30 дБ в диапазоне 3-20 ГГц) и затухание света ≥130 дБ создают идеальные условия для высокоточных измерений.
Станция доступна в двух модификациях: V8 с рабочей зоной 210×210×45 мм и V12 с зоной 310×310×45 мм. Оборудование поддерживает различные температурные опции, включая термостаты для высоко- и низкотемпературных исследований. Функция быстрого подъема виртуального стола и ручной разблокировки образцов обеспечивает удобство операций при ручном управлении.
- Поддержка опции автоматической смены образцов.
- Верхний защитный корпус с высоким ЭМЭ-экранированием / стандартный корпус.
- Роботизированная система автоматической загрузки с одним/двумя манипуляторами.
- Термоплатформа: комнатной/высокой/низкой температуры.
- Функция быстрого подъема рабочей платформы, ручная быстрая разблокировка образцов.
- Возможность ручного управления перемещением стола по осям X/Y.
- Интерфейсы: RS232, TCP/IP, GPIB.
- Конструкция с системой Full-coverage guard™ для экстремально низких уровней токов утечки.
| Параметр | Значение | Ед. измерения | |
|---|---|---|---|
|
Модель
|
V8 | V12 |
|
|
Разрешение по XY
|
0,1 | мкм | |
|
Повторяемость по XY
|
± 1 | мкм | |
|
Точность по XY
|
± 2 | мкм | |
|
Макс. скорость по XY
|
70 | мм/с | |
|
Тип привода
|
Низкошумный DC двигатель |
|
|
|
Разрешение по Z
|
0,1 | мкм | |
|
Повторяемость по Z
|
± 1 | мкм | |
|
Точность по Z
|
± 2 | мкм | |
|
Макс. скорость по Z
|
20 | мм/с | |
|
Рабочий ход (XYZ)
|
210x210x45 |
310x310x45 | мм |
|
ЭМС-экранирование
|
> 30 (тип.) @3ГГц-20ГГц | дБ | |
|
Оптическое ослабление
|
≥ 130 | дБ | |
|
Спектральная плотность шума
|
≤ -180 (≤1 МГц) | дБВrms/√Гц | |
|
Уровень сетевого шума
|
≤ 5 (≤ 1 ГГц) | мВp-p | |
|
Габариты (ШхГхВ)
|
800x850x1900 |
1000x1250x1900 | мм |
|
Габариты (с загрузчиком)
|
1220x1050x1900 |
1500x1250x1900 | мм |
|
Вес
|
650 |
1000 | кг |
- Тестирование полупроводниковых пластин на производственных линиях.
- Серийные измерения параметров чипов и компонентов с автоматической сортировкой.
- Научные исследования.
- Тестирование силовых полупроводниковых приборов.
- Измерения высокочастотных характеристик компонентов.
