X - зондовые станции

Полуавтоматическая зондовая станция X-серии представляет собой платформу для комплексного тестирования полупроводниковых устройств. Оборудование обеспечивает измерения электрических, оптических и СВЧ-параметров в широком температурном диапазоне от -60°C до +300°C с точностью стабилизации ±0,1°C. Уникальная O-образная платформа позволяет одновременно размещать до 12 микроманипуляторов, что на 50% превышает стандартные отраслевые показатели и значительно повышает эффективность измерений.

Конструкция станции включает инновационную систему позиционирования рабочей платформы с скоростью перемещения ≥70 мм/с и повторяемостью ±1 мкм. Оптическая система с тройным увеличением (120x-2000x) и двойными камерами обеспечивает точное наведение зондов на субмикронные структуры. Уникальная система выдвижения платформы с ходом 370 мм значительно ускоряет процесс загрузки образцов.

Система виброзащиты на воздушных демпферах с двойной изоляцией гарантирует стабильность работы при увеличениях до 2000x. Экранированная измерительная камера с покрытием из оксида никеля обеспечивает эффективное подавление электромагнитных помех (>30 дБ) и защиту от внешнего освещения (≥130 дБ), создавая оптимальные условия для низкошумовых измерений с током утечки до 100 фА.

Программное обеспечение станции поддерживает полный цикл тестирования: от автоматической калибровки и картирования пластин до RF-измерений и статистического анализа данных. Гибкая архитектура позволяет независимо обновлять операционную систему, прикладные модули и измерительные компоненты. Станция совместима с различными типами соединителей (коаксиальные, триаксиальные, SMA, SHV) и поддерживает работу с материалами SiC/GaN.