FTMDS - конфокальные датчики смещения

FTMDS - серия конфокальных датчиков смещения, предназначенных для измерения толщин.
  • Совместимость с металлами, резиной, пленкой, стеклом и многослойными прозрачными материалами.
  • Разрешение до 2 нм.
  • Возможность измерения наклона до ±48°.
  • Простое управление с помощью ПО.
  • Единый контроллер для управления.
  • Минимальный диаметр измерительного зонда 8 мм.

Принцип работы

Страничка 3-1.jpg

1. "Точечный источник белого света" излучает свет и освещает поверхность объекта с помощью "оптического волокна" и "группы линз". Объект освещается светом с различными длинами волн, и только свет, сфокусированный на поверхности измеряемого объекта, соответствует условиям конфокализации.


2. После отражения свет будет рассеиваться в виде монохроматического излучения с различными длинами волн через "группу дисперсионных линз" и отображаться на "терминале спектральной визуализации CMOS".


3. С помощью спектрального анализа и алгоритма рассчитывается высота объекта.

    Принцип.png

Ключевые особенности

  • Обеспечивает стабильное измерение независимо от типа материала. Подходит для измерения металла, резины, пленки, стекла и многослойных прозрачных материалов.
   
  • Измерение прозрачных объектов.


Стабильное определение поверхности многослойных прозрачных объектов, точное измерение смещения и толщины прозрачных изделий.    

  • Измерение узких отверстий без слепых зон.


Метод коаксиальной цветной конфокальной микроскопии может быть использован для измерения узких отверстий.


  • Высокая точность. Разрешение до 2 нм.

  Группа линз состоит из линз с низким уровнем дисторсии, не нагревается и не деформируется.

Традиционные лазерные датчики смещения склонны к деформации из-за внутреннего нагрева, что приводит к ошибкам измерений. Измерительный модуль серии FTMDS имеет внутри только конструкцию из линз и не генерирует тепло. В сочетании с группой линз с низкой дисторсией это обеспечивает идеальные высокоточные измерения.

     Фиксированный диаметр светового пятна, не зависящий от расстояния измерения.

Когда диапазон измерения традиционного лазерного датчика смещения отклоняется от опорного расстояния, диаметр светового пятна увеличивается, а точность снижается. В серии FTMDS, даже если диапазон измерений отклоняется от опорного расстояния, диаметр светового пятна практически не изменяется, что позволяет выполнять точные измерения по всему диапазону.

  • Простая отладка и настройка с помощью специализированного ПО.

  • Сверхбольшой угловой диапазон. 

  • Измерение толщины двумя датчиками.
  • Лёгкая регулировка оптической оси с помощью ПО.

  • Один контроллер с несколькими измерительными датчиками.

Параметр Значение Ед. измерения
Модель датчика
5008R
5008 5005
5030S 5080L 5015 5015L 5035 5035L 5080  
Контроллер*
CC5000EC1 / CC5000EC2  
Контрольное расстояние**
1,7 8 8 30 80 15 15 35 35 80 мм
Диапазон измерений
1,3 1,3 0,7 2 23,4 1,2 2,5 4 8 11,7 мм
Линейность
±0,32 ±0,32 ±0,18 ±0,6 ±5,8 ±0,32 ±0,64 ±1 ±2 ±2,9 мкм
Разрешение
4 4 2 5 50 3 6 20 40 25 нм
Диаметр пятна
17 17 8 40 14 10 10 25 25 14 мкм
Максимальный угол наклона
±18 ±18 ±48 ±26 ±18 ±36 ±36 ±18 ±18 ±18 °
Минимальная измеряемая толщина
43 43 24 66 780 42 85 133 267 390 мкм
Длина волокна
5 м
Частота дискретизации
4000
Интерфейс Ethernet
Благодаря взаимодействию с ПК без протокольных инструкций можно выводить данные измерений и управлять ими   
Интерфейс I/O
1 IN, 1 OUT  
Энкодер
4-осевой энкодер со скоростью отклика 4,5 МГц (опционально)  
Температура окружающей среды
4 – 50
Влажность окружающей среды
0 – 90 (без конденсации) %
Температурная характеристика
0,012%FS/℃  
Степень защиты
IP52  
Питание
24В DC 2A  
Масса датчика
130 130 530 170 850 500 500 360 360 850 г
Масса контроллера
3,9 кг  
*CC5000EC1 – это одноканальный контроллер, а CC5000EC2 – двухканальный.
**Контрольное расстояние определяется как расстояние от края нижней части датчика до нижней границы диапазона измерений.
 


Полупроводниковая электроника:

  • Измерение ровности поверхности пластин.
  • Измерение ровности монтажа микросхем.
  • Измерение ровности поверхности угловых пинов микросхем.


Устройства 3С:

  • Измерение глубины разъемов устройств.
  • Измерение изгиба экрана устройств.
  • Измерение ровности поверхности пинов.


Новая энергетика:

  • Измерение материалов положительных и отрицательных электродов и толщины покрытия.
  • Измерение износа роликов.
  • Измерение толщины покрытия аккумуляторов.

Изделия из стекла и пленки:

  • Измерение толщины стекла.
  • Определение типа поверхности сферического зеркала.
  • Измерение толщины пленки.

Медицина:

  • Измерение толщины медицинских пробирок.
  • Измерение высоты резьбы имплантов.
  • Измерение уровня жидкости.

Другие применения:

  • Механическое позиционирование.
  • Измерение прецизионного износа стержней.
  • Измерение внутреннего диаметра стальной трубы.



Модель Описание
5008R Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 1,7 мм. Диапазон измерений 1,3 мм. Линейность ±0,32 мкм. Разрешение 4 нм. Диаметр пятна 17 мкм. Максимальный угол наклона ±18°. Минимальная измеряемая толщина 43 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5008 Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 8 мм. Диапазон измерений 1,3 мм. Линейность ±0,32 мкм. Разрешение 4 нм. Диаметр пятна 17 мкм. Максимальный угол наклона ±18°. Минимальная измеряемая толщина 43 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5005 Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 8 мм. Диапазон измерений 0,7 мм. Линейность ±0,18 мкм. Разрешение 2 нм. Диаметр пятна 8 мкм. Максимальный угол наклона ±48°. Минимальная измеряемая толщина 24 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5030S Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 30 мм. Диапазон измерений 2 мм. Линейность ±0,6 мкм. Разрешение 5 нм. Диаметр пятна 40 мкм. Максимальный угол наклона ±26°. Минимальная измеряемая толщина 66 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5080L Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 80 мм. Диапазон измерений 23,4 мм. Линейность ±5,8 мкм. Разрешение 50 нм. Диаметр пятна 14 мкм. Максимальный угол наклона ±18°. Минимальная измеряемая толщина 780 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5015 Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 15 мм. Диапазон измерений 1,2 мм. Линейность ±0,32 мкм. Разрешение 3 нм. Диаметр пятна 10 мкм. Максимальный угол наклона ±36°. Минимальная измеряемая толщина 42 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5015L Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 15 мм. Диапазон измерений 2,5 мм. Линейность ±0,64 мкм. Разрешение 6 нм. Диаметр пятна 10 мкм. Максимальный угол наклона ±36°. Минимальная измеряемая толщина 85 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5035 Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 35 мм. Диапазон измерений 4 мм. Линейность ±1 мкм. Разрешение 20 нм. Диаметр пятна 25 мкм. Максимальный угол наклона ±18°. Минимальная измеряемая толщина 133 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5035L Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 35 мм. Диапазон измерений 8 мм. Линейность ±2 мкм. Разрешение 40 нм. Диаметр пятна 25 мкм. Максимальный угол наклона ±18°. Минимальная измеряемая толщина 267 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.
5080 Конфокальный датчик смещения. Контрольное расстояние 80 мм. Диапазон измерений 11,7 мм. Линейность ±2,9 мкм. Разрешение 25 нм. Диаметр пятна 14 мкм. Максимальный угол наклона ±18°. Минимальная измеряемая толщина 390 мкм. При заказе уточните модель контроллера CC5000EC1 / CC5000EC2.

Мой заказ