WTMS-500 - настольный прибор для измерения толщины подложек
WTMS-500 — это настольный прибор для измерения толщины подложек, представляющий собой высокоточное измерительное устройство с интеллектуальным управлением, автоматическим расчетом и функцией картирования (mapping).
- Толщина образца до 3 мм (n=1).
- Точность измерения 0,1 мкм.
- Поддержка ротационного картирования и пользовательских координат точек.
WTMS-500 — это настольный прибор для измерения толщины подложек, представляющий собой высокоточное измерительное устройство с интеллектуальным управлением, автоматическим расчетом и функцией картирования (mapping). Он позволяет измерять различные плоскостные параметры и обеспечивает требуемую точность для таких материалов, как стекло, кремний и карбид кремния, диаметром до 12 дюймов. Устройство подходит для задач прецизионных измерений в оптической и полупроводниковой промышленности.
Диапазон измерений толщины - до 3 мм при n=1, 35 - 2142 мкм для кварца (n=1.4), 155 - 910 мкм для Si (n=3.4). Заказчик может выбрать высокоточные бесконтактные датчики.
С помощью инфракрасного интерферометрического датчика толщиномер выполняет высокоскоростное картирование поверхности стекла и компенсирует погрешность плоскостности подвижной платформы за счет программных алгоритмов, обеспечивая высокоточное измерение таких параметров, как коробление и изгиб.
Особенности:
- Толщина образца до 3 мм (n=1).
- Точность измерения 0,1 мкм.
- Диаметр подложки 302 мм.
- Поддержка ротационного картирования и пользовательских координат точек.
| Параметр | Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
| Объекты измерений | Кремний, карбид кремния, стекло, сапфир, пластины для склеивания и различные полупроводниковые материалы | |
| Измеряемые параметры | Параметры, соответствующие стандартам SEMI, включая THK, TTV, TIR и LTV | |
| Диапазон измерений толщины | ≤ 3 мм при n=1, 35 - 2142 мкм для кварца (n=1.4), 155 - 910 мкм для кремния (n=3.4) | |
| Диаметр подложки | 302 | мм |
| Ориентация образца | Горизонтальная | |
| Макс. диапазон коробления | 1 | мм |
| Контроль качества поверхностей | Проволочная резка, шлифование, полировка, травление и сверхточные поверхности | |
| Производительность | 12 дюймов, 19 точек | |
| Режимы измерения | Ротационное картирование, пользовательские координаты точек | |
| Метод позиционирования | Ручное позиционирование корпуса |
Дополнительные параметры
| Параметр | Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
| Источник питания | 220±10% VAC, 50/60 Гц, 5A | |
| Вес установки (включая компьютер и монитор) | 20 | кг |
| Габаритные размеры | 470×352×270 | мм |
| Температура окружающей среды | 23±3 | °С |
| Изменение температуры | ≤1 | °С/ч |
| Влажность | 20 ~ 85 | % |
| Освещенность поверхности объекта | < 30 000 | люкс |
| Виброускорение | <0.02 (частота 0 – 20 Гц) | g |
| Запыленность | Помещение для измерительного прибора должно представлять собой отдельное рабочее пространство или среду с низким уровнем пыли | |
| Статистические функции | Включает вкладки со статистическими значениями, графиками трендов, гистограммами и обзором данных. Данные экспортируются в форматы Excel, PDF и CSV | |
| Другие функции | Поддержка индивидуальной настройки интеграции передачи данных в MES (производственную исполнительную систему) |
- Полупроводниковая промышленность.
- Прецизионные измерения.
- Контроль качества.
