Оборудование для лазерного напыления тонких плёнок PLD от Neocera (США)

06.12.2021

Мы рады сообщить, что в разделе онлайн-каталога "Оборудование для лабораторий фотоники и электроники" появился новый раздел "Оборудование для лазерного напыления тонких плёнок PLD" и стали доступны к заказу системы PLD для напыления многослойных тонких плёнок в вакууме, основанные на методе лазерной абляции.

Neocera (США) являются первопроходцами в разработке технологии PLD. Neocera являются крупнейшим поставщиком инструментов PLD и PED для исследований и разработок с опытом взаимодействия инструментов Neocera с множеством других инструментов для осаждения и аналитических систем для создания индивидуальных решений. Разработанная Neocera диагностика в реальном времени предоставляет исследователям инструменты, необходимые для разработки и применения передовых современных материалов.

Импульсное лазерное напыление (PLD) - это универсальный метод нанесения тонких пленок. Импульсный лазер (длительность импульса ~ 20 нс) быстро испаряет материал мишени, образуя тонкую пленку, которая сохраняет состав мишени. Эта уникальная способность стехиометрического переноса целевого состава в пленку была впервые реализована группой исследователей под руководством доктора Венкатесана из Bell Communications Research, штат Нью-Джерси, США, почти 30 лет назад при нанесении тонких пленок из высокотемпературных сверхпроводников (YBa₂Cu₃O₇). С тех пор PLD стал предпочтительным методом осаждения, когда рассматриваются тонкие пленки со сложным составом материалов. Еще одна уникальная особенность PLD - это возможность быстрого прототипирования материалов. Источник энергии (импульсный лазер), находящийся вне камеры осаждения, обеспечивает широкий динамический диапазон рабочих давлений (от 10^-10 Торр до 500 Торр) во время синтеза материала. Контролируя давление осаждения и температуру подложки и используя относительно небольшие размеры мишеней, можно получить множество атомно-контролируемых наноструктур и интерфейсов с уникальными функциями.

Напыление тонких пленок с помощью лазерной cистемы ионного напыления Ion-Assisted PLD.

Системы осаждения тонких пленок от Neocera:

• Pioneer 120 - cистема напыления тонких плёнок PLD.
• Pioneer 120 Advanced - cистема напыления тонких плёнок PLD.
• Pioneer 180 - cистема напыления тонких плёнок PLD.
• Pioneer 180 MBE/PLD - лазерная cистема напыления тонких плёнок MBE/PLD.
• CCS-PLD - комбинаторная лазерная cистема напыления тонких плёнок PLD.
• Large-Area PLD - лазерная cистема напыления тонких плёнок PLD большого диаметра.
• Ion-Assisted PLD - лазерная cистема ионного напыления тонких плёнок PLD.
• Pioneer 180 MAPLE PLD - cистема напыления тонких плёнок PLD методом матричного импульсного лазерного испарения.

• Нагреватели подложки (проводящие и радиационные).
• Лазерные нагреватели подложек.
• Многоцелевые карусели для мишеней.
• Камеры осаждения по индивидуальному заказу.
• Лазерные компоненты для смены окон камеры.
• Наборы оптики для определенной длины волны.
• Источники импульсного электронного осаждения (PED).

• Дифракция электронов высоких энергий (RHEED) при отражении при высоком давлении.
• Низкоугловая рентгеновская спектроскопия (LAXS).
• Ионно-энергетическая спектроскопия (IES).

Инструменты для диагностики в режиме реального времени: низкоугловая рентгеновская спектроскопия (LAXS), ионно-энергетическая спектроскопия (IES), эллипсометрия толщины плёнок и RHEED диагностика при помощи электронного пучка.

Применения систем PLD от Neocera:

• Прототипирование новых материалов.
• Изучение гетероструктур.
• Производство светодиодов.
• Производство солнечных батарей.
• Производство топливных элементов.
• Микроволновые фильтры.
• СВЧ электроника.
• Сверхпроводники и магнитные сенсоры.
• Сегнетоэлектрики и память FERAMS.

Компания «Специальные Системы. Фотоника» является официальным дистрибьютором компании Neocera и оказывает техническую поддержку по всей линейке продукции Neocera на территории России и ЕАЭС.

Вы можете получить любую дополнительную информацию о продукции и технологиях Neocera, обратившись к специалистам нашей компании.

Возврат к списку