ГлавнаяНовостиВысокоточные оптические 3D профилометры

Высокоточные оптические 3D профилометры

28.10.2022


Мы рады сообщить, что о новом измерительном приборе, доступном к заказу на нашем сайте. 3D оптический профилометр SuperView-Pro позволяет осуществлять высокоточный бесконтактный мониторинг различных поверхностей.

Метрологические методы, в частности методы профилометрии, дают ответы на вопросы о том, как выглядит поверхность образца, какая область образца имеет дефекты, пустоты, какова плотность этих дефектов. Иными словами, оптические профилометры измеряют шероховатость поверхности и дают представление о профиле поверхности, в том числе для многослойных образцов. Особенность современных приборов состоит в том, что измерения производятся с нанометровой точностью.


Оптический 3D профилометр серии SuperView


Среди известных технологий бесконтактных (оптических) профилометров можно выделить следующие:

  • Конфокальная микроскопия.
  • Интерферометрия.
  • DIC технология.
  • Технология Ai Focus Variation.

Оптические 3D профилометры серии SuperView используют объединённую технологию конфокальной микроскопии и интерферометрии. Это позволяет достичь высокого разрешения измерений до 0,1 нм при широком диапазоне измерений. Отсутствие подвижных элементов в конструкции и простота калибровки обеспечивает легкую и надежную работу с приборами серии.


Примеры измерения поверхностей различного типа с помощью профилометра SuperView-100-Pro


Серия представлена двумя моделями, отличающимися размером предметного столика и диапазоном его перемещения: SuperView-100 и SuperView-100-Pro. Профилометры обоих моделей оснащены белым/зеленым светодиодом и строятся на базе микроскопа с тремя парфокальными объективами и моторизированным столиком. В таблице представлены основные параметры приборов.

Параметр Значение Ед. измерения
Модель
SuperView-100 SuperView-100-Pro  
Количество точек сканирования
1024 x 1024
Стандартное поле зрения
0,98 x 0,98 мм
Расширенное поле зрения
6,0 x 6,0 мм
Размер предметного столика
320 x 200 300 x 300 мм
Диапазон сканирования
140 x 100 200 x 200 мм
Полезная нагрузка
10 кг
Метод управления
моторизированный
Регулировка угла
±5 °
Диапазон сканирования по оси Z
100 мм
Длина одного прохода сканирования
10 мм
Скорость сканирования по оси Z
45 мкм/с
Разрешение в боковом направлении
0,1 нм
Разрешение сканирования по оси Z
0,1 мкм
Диапазон коэффициента отражения
0,05 – 100 %
Тип тестируемого объекта
отполированные поверхности, шероховатые поверхности
Точность измерений 
0,3 %
Воспроизводимость измерений 
0,08 %
Увеличение объективов
2,5X, 5X, 10X, 50X, 100X
Диаметр вакуумного столика
4 / 6 / 8 дюймов
Размеры
900 x 700 x 1500 мм

Профилометры серии SuperView поставляются с удобным программным обеспечением для измерения и анализа формы и профиля поверхности различных компонентов и материалов. ПО позволяет измерять следующие характеристики: плоскостность, шероховатость, волнистость, поверхностные дефекты, истирание, коррозия, наличие зазоров и отверстий, кривизна, деформация и т. д.


Программное обеспечение SuperView

Области применения:
  • Изучение полупроводников.
  • Измерение микроэлектроники.
  • 3D визуализация топографии поверхностей в химических задачах.
  • Сверхточное материаловедение.
  • Микро- и нано-анализ.
  • Инспекция MEMS компонентов.

Вы можете получить любую дополнительную информацию о метрологических решениях, обратившись к специалистам нашей компании.

Возврат к списку


Мой заказ