Высокоточные оптические 3D профилометры
Мы рады сообщить, что о новом измерительном приборе, доступном к заказу на нашем сайте. 3D оптический профилометр SuperView-Pro позволяет осуществлять высокоточный бесконтактный мониторинг различных поверхностей.
Метрологические методы, в частности методы профилометрии, дают ответы на вопросы о том, как выглядит поверхность образца, какая область образца имеет дефекты, пустоты, какова плотность этих дефектов. Иными словами, оптические профилометры измеряют шероховатость поверхности и дают представление о профиле поверхности, в том числе для многослойных образцов. Особенность современных приборов состоит в том, что измерения производятся с нанометровой точностью.
Оптический 3D профилометр серии SuperView
Среди известных технологий бесконтактных (оптических) профилометров можно выделить следующие:
- Конфокальная микроскопия.
- Интерферометрия.
- DIC технология.
- Технология Ai Focus Variation.
Оптические 3D профилометры серии SuperView используют объединённую технологию конфокальной микроскопии и интерферометрии. Это позволяет достичь высокого разрешения измерений до 0,1 нм при широком диапазоне измерений. Отсутствие подвижных элементов в конструкции и простота калибровки обеспечивает легкую и надежную работу с приборами серии.
Примеры измерения поверхностей различного типа с помощью профилометра SuperView-100-Pro
Серия представлена двумя моделями, отличающимися размером предметного столика и диапазоном его перемещения: SuperView-100 и SuperView-100-Pro. Профилометры обоих моделей оснащены белым/зеленым светодиодом и строятся на базе микроскопа с тремя парфокальными объективами и моторизированным столиком. В таблице представлены основные параметры приборов.
Параметр | Значение | Ед. измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Модель
|
SuperView-100 | SuperView-100-Pro | |||
Количество точек сканирования
|
1024 x 1024 | ||||
Стандартное поле зрения
|
0,98 x 0,98 | мм | |||
Расширенное поле зрения
|
6,0 x 6,0 | мм | |||
Размер предметного столика
|
320 x 200 | 300 x 300 | мм | ||
Диапазон сканирования
|
140 x 100 | 200 x 200 | мм | ||
Полезная нагрузка
|
10 | кг | |||
Метод управления
|
моторизированный | ||||
Регулировка угла
|
±5 | ° | |||
Диапазон сканирования по оси Z
|
100 | мм | |||
Длина одного прохода сканирования
|
10 | мм | |||
Скорость сканирования по оси Z
|
45 | мкм/с | |||
Разрешение в боковом направлении
|
0,1 | нм | |||
Разрешение сканирования по оси Z
|
0,1 | мкм | |||
Диапазон коэффициента отражения
|
0,05 – 100 | % | |||
Тип тестируемого объекта
|
отполированные поверхности, шероховатые поверхности | ||||
Точность измерений
|
0,3 | % | |||
Воспроизводимость измерений
|
0,08 | % | |||
Увеличение объективов
|
2,5X, 5X, 10X, 50X, 100X | ||||
Диаметр вакуумного столика
|
4 / 6 / 8 | дюймов | |||
Размеры
|
900 x 700 x 1500 | мм |
Профилометры серии SuperView поставляются с удобным программным обеспечением для измерения и анализа формы и профиля поверхности различных компонентов и материалов. ПО позволяет измерять следующие характеристики: плоскостность, шероховатость, волнистость, поверхностные дефекты, истирание, коррозия, наличие зазоров и отверстий, кривизна, деформация и т. д.
Программное обеспечение SuperView
- Изучение полупроводников.
- Измерение микроэлектроники.
- 3D визуализация топографии поверхностей в химических задачах.
- Сверхточное материаловедение.
- Микро- и нано-анализ.
- Инспекция MEMS компонентов.
Вы можете получить любую дополнительную информацию о метрологических решениях, обратившись к специалистам нашей компании.