Высокоточные оптические 3D профилометры

28.10.2022

Мы рады сообщить, что о новом измерительном приборе, доступном к заказу на нашем сайте. 3D оптический профилометр SuperView-Pro позволяет осуществлять высокоточный бесконтактный мониторинг различных поверхностей.

Метрологические методы, в частности методы профилометрии, дают ответы на вопросы о том, как выглядит поверхность образца, какая область образца имеет дефекты, пустоты, какова плотность этих дефектов. Иными словами, оптические профилометры измеряют шероховатость поверхности и дают представление о профиле поверхности, в том числе для многослойных образцов. Особенность современных приборов состоит в том, что измерения производятся с нанометровой точностью.

Оптический 3D профилометр серии SuperView

Среди известных технологий бесконтактных (оптических) профилометров можно выделить следующие:

• Конфокальная микроскопия.
• Интерферометрия.
• DIC технология.
• Технология Ai Focus Variation.

Оптические 3D профилометры серии SuperView используют объединённую технологию конфокальной микроскопии и интерферометрии. Это позволяет достичь высокого разрешения измерений до 0,1 нм при широком диапазоне измерений. Отсутствие подвижных элементов в конструкции и простота калибровки обеспечивает легкую и надежную работу с приборами серии.

Примеры измерения поверхностей различного типа с помощью профилометра SuperView-100-Pro

Серия представлена двумя моделями, отличающимися размером предметного столика и диапазоном его перемещения: SuperView-100 и SuperView-100-Pro. Профилометры обоих моделей оснащены белым/зеленым светодиодом и строятся на базе микроскопа с тремя парфокальными объективами и моторизированным столиком. В таблице представлены основные параметры приборов.

Параметр	Значение				Ед. измерения
Модель	SuperView-100	SuperView-100-Pro
Количество точек сканирования	1024 x 1024
Стандартное поле зрения	0,98 x 0,98				мм
Расширенное поле зрения	6,0 x 6,0				мм
Размер предметного столика	320 x 200			300 x 300	мм
Диапазон сканирования	140 x 100		200 x 200		мм
Полезная нагрузка	10				кг
Метод управления	моторизированный
Регулировка угла	±5				°
Диапазон сканирования по оси Z	100				мм
Длина одного прохода сканирования	10				мм
Скорость сканирования по оси Z	45				мкм/с
Разрешение в боковом направлении	0,1				нм
Разрешение сканирования по оси Z	0,1				мкм
Диапазон коэффициента отражения	0,05 – 100				%
Тип тестируемого объекта	отполированные поверхности, шероховатые поверхности
Точность измерений	0,3				%
Воспроизводимость измерений	0,08				%
Увеличение объективов	2,5X, 5X, 10X, 50X, 100X
Диаметр вакуумного столика	4 / 6 / 8				дюймов
Размеры	900 x 700 x 1500				мм

Профилометры серии SuperView поставляются с удобным программным обеспечением для измерения и анализа формы и профиля поверхности различных компонентов и материалов. ПО позволяет измерять следующие характеристики: плоскостность, шероховатость, волнистость, поверхностные дефекты, истирание, коррозия, наличие зазоров и отверстий, кривизна, деформация и т. д.

Программное обеспечение SuperView

Вы можете получить любую дополнительную информацию о метрологических решениях, обратившись к специалистам нашей компании.

Возврат к списку