Измерители толщин тонких плёнок серии FTMD
Готовы представить вам пополнение линейки оборудования для анализа поверхностей - измерители толщин тонких плёнок серии FTMD! Высокое разрешение и широкий диапазон толщины изучаемых плёнок – читайте далее, чтобы узнать больше об их преимуществах и применениях!
Измерители толщины тонких плёнок FTMD основаны на принципе бесконтактной интерферометрии. Подложка с нанесённой на неё плёнкой подвергается воздействию белого света, который отражается от верхней и нижней поверхностей. Затем путем анализа интерференционной картины рассчитывается толщина измеряемого слоя пленки. Доступны способы измерения онлайн и офлайн, а также в режиме картирования, при котором системы сами могут выбирать точки измерений и создавать топографию поверхностей плёнки.
Для получения стабильного спектра и равномерной интенсивности света в качестве источника используются дейтериевые и вольфрамово-галогенные лампы. С помощью измерителей FTMD возможно исследовать однослойные и многослойные пленки, шероховатые и гладкие, а также слои с воздушной прослойкой.
|
|
|
| Оксид индия-олова | Склеивание стекла |
 |
 |
| Диоксид кремния | Микрофлюидика |
Благодаря уникальному алгоритму, эффективно аппроксимирующему кривую поглощения во всем спектральном диапазоне, удается достичь сверхвысокого разрешения 1 Å.
Ознакомьтесь с ключевыми характеристиками представленных моделей:
|
FTMD-T001 |
FTMD-T010 |
FTMD-T050 |
FTMD-T100 |
FTMD-X010 |
|
|---|---|---|---|---|---|
|
Диапазон длин волн
|
190 – 1100 нм | 250 – 1050 нм | 400 – 850 нм | 900 – 1700 нм | 250 – 1700 нм |
|
Толщина измерения
|
1 нм – 100 мкм | 10 нм – 100 мкм | 50 нм – 100 мкм | 100 нм – 250 мкм | 10 нм – 250 мкм |
|
Точность
|
0,2% & 1нм | 0,2% & 1нм | 0,2% & 1нм | 0,5% & 2 нм | 0,5% & 1нм |
|
Повторяемость
|
0,1 нм | 0,1 нм | 0,1 нм | 0,3 нм | 0,2 нм |
|
Разрешение
|
0,01 нм | ||||
|
Количество слоев
|
до 10 | ||||
Области применения измерителей толщины плёнок FTMD:
- Полупроводниковая электроника;
- Квантовая электроника;
- Прецизионная оптика;
- Фотоэлектричество;
- Медицина;
- Полимеры;
- ЖК-дисплеи и т.д.
Узнать подробнее об измерителях толщин тонких плёнок серии FTMD и оформить заказ >>
Специалисты компании «Специальные Системы. Фотоника» будут рады ответить на все интересующие вопросы и помочь с выбором необходимой модели!
Свяжитесь с нами любым удобным для вас способом.
