ГлавнаяКаталогИзмерение параметров лазеров, оптики и оптоэлектроникиИзмерительное оборудование для оптики и полупроводниковых пластинЭллипсометрыUVPLUS SE - спектроскопический эллипсометр
UVPLUS SE - спектроскопический эллипсометр
UVPLUS SE – это высокопроизводительный специализированный спектральный эллипсометр, предназначенный для исследований, разработки и контроля качества перовскитных элементов, работающий в диапазоне длин волн от УФ до ближнего ИК.
- Спектральный диапазон: 280 – 1050 нм.
- Угол падения: 40 – 90°, ручная регулировка с точностью 5°.
- Источник света – ксеноновая лампа.
- Диаметр пятна: 1 – 4 мм.
- Время измерения: 0,8 – 2 с.
- Диапазон измерения толщины: 0,1 нм – 20 мкм.
- Диапазон измерения показателя преломления: 1 – 7.
UVPLUS SE – это высокопроизводительный специализированный спектральный эллипсометр, разработанный для исследований, разработки и контроля качества перовскитных элементов, охватывающий диапазон длин волн от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного.
Спектральный эллипсометр UVPLUS SE основан на высокочувствительных блоках детектирования и программном обеспечении. Он предназначен для измерения и анализа параметров структуры слоев (таких как толщина) и физических параметров (таких как показатель преломления n, коэффициент экстинкции k) многослойных нанопленок в области перовскитной фотовольтаики.
Измеряемые материалы:
- Одно- или многослойные нанопленки на подложках.
- Пассивирующие пленки для текстурированных солнечных элементов в технологиях PERC, TOPCON, гетероструктурах и IBC.
- Прозрачные проводящие подложки (TCO).
- Электронно-транспортные слои (ETL) и дырочно-транспортные слои (HTL).
- Однослойные антибликовые покрытия (например, Al2O3, SiNx, SiO2, TiO2 и др.) и двухслойные антибликовые покрытия (например, SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx/Al2O3 и др.).
Ключевые особенности:
- Быстрое и точное измерение и анализ.
- Регулировка нескольких углов падения.
- Измерения в режиме пошагового скан-компенсатора.
- Широкополосный компенсатор хроматической аберрации.
- Мощное программное обеспечение для измерения и анализа эллипсометрии.
- Упрощённая эксплуатация, подходит как для новичков, так и для специалистов.
- Собственная база данных материалов и готовые программные приложения для упрощения моделирования.
Технические преимущества:
- Усовершенствованная технология измерений с вращающимся компенсатором: диапазон измерения Δ (Delta) 0–360°; отсутствие мертвых зон при измерении; устранение влияния деполяризации, вызванной шероховатой поверхностью, на результаты.
- Высокочувствительное измерение шероховатых наноплёнок.
- Измерение как однослойных, так и многослойных плёнок перовскитных солнечных элементов.
- Высокая скорость измерения полного спектра: 5–10 секунд.
- Чувствительность на уровне атомных слоёв: точность измерений достигает 0,05 нм.
- Видеовыравнивание образца: точное позиционирование образца, удобное наблюдение и снижение человеческих ошибок.
- Управление прибором одним щелчком мыши.
| Параметр | Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
| Тип подложки |
На основе кремния, прозрачная или полупрозрачная. Совместимый размер кремниевой пластины от 230 мм. |
– |
| Источник света | Ксеноновая лампа | – |
| Срок службы источника света | > 20 000 | ч |
| Спектральный диапазон | 280 – 1050 | нм |
| Угол падения | 40 – 90, ручная регулировка каждые 5 | ° |
| Диаметр пятна | 1 – 4 | мм |
| Время измерения | 0,8 – 2 | с |
| Диапазон измерения толщины | 0,1 нм – 20 мкм | – |
| Диапазон измерения показателя преломления | 1,0–7,0 | – |
| Точность автоматической фокусировки сигнала | 0,001 | мм |
| Повторяемость толщины | <0,5 (1σ стандартное отклонение,10 измерений) | А |
| Повторяемость показателя преломления | <0,0005 (1σ стандартное отклонение,10 измерений) | – |
| Повторяемость измерений SiO₂ | <0,03 (1σ стандартное отклонение,10 измерений, туннелирование) | нм |
| Повторяемость измерений поликремния | <0,1 (1σ стандартное отклонение,10 измерений) | нм |
| Тестируемые слои плёнок | Однослойные и многослойные композитные плёнки | – |
| Источник света | Ксеноновая лампа, срок службы 20 000 ч, спектральный диапазон 200–2000 нм, флуктуации <0,5% | |
| Затвора находится на выходе источника света, т.е. свет от источника не попадает в оптоволокно и в прибор. Срок службы оптической системы — более 10 лет. | ||
| Пассивация, устойчивая к УФ-излучению, двухволоконная оптическая система, быстрая установка, отсутствие необходимости в калибровке. | ||
| Спектрометр | 2048-пиксельный ПЗС-спектрометр, спектральный диапазон 190–1100 нм, полупроводниковое TE-электронное охлаждение, динамическое отношение 50 000:1, свободная настройка параметров интеграции, разрешение 18 бит. Встроенная память с наносекундным откликом. | |
| Аттенюатор | В зависимости от тестируемого образца насыщение сигнала регулируется автоматически. Ультрафиолетовая линза из плавленого кварца обеспечивает диапазон изменения пропускания от 230 до 2500 нм. | |
| Поляризатор | Поляризатор Глана Томпсона α-BBO | |
| Автофокусировка | Точность фокусировки достигает 0,0001 мм. Программное обеспечение позволяет выбрать автоматическую или ручную фокусировку или отключить фокусировку. | |
| ПК |
Промышленный ПК: процессор не ниже I5, динамический жёсткий диск, >1 ТБ памяти, 16 ГБ ОЗУ. Официальная операционная система Windows, монитор 21". |
|
| UPS | Cтандартная конфигурация | |
| Объективный стол | Горизонтальная наклонная платформа с возможностью свободного переключения | |
| Вакуум | Встроенный | |
| MES | Может быть интегрирован с системой MES | |
| Программное обеспечение | Возможность тестирования в один клик, постоянные бесплатные обновления программного обеспечения, постоянное бесплатное моделирование | |
| Разделение уровней доступа | Есть (инженер, оператор, администратор оборудования). | |
| Файловый менеджмент | ПО работает на платформе Windows и поддерживает полный набор функций управления файлами | |
| Удобство эксплуатации | Неограниченное редактирование диапазонов длин волн, интервалов подгонки, программных/аппаратных параметров, обработки баз данных, импорта моделей, создания многослойных плёнок и др. | |
| Тестовые данные |
Поддержка моделей анализа (EMA и др.). Настраиваемые длины волн анализа, градиенты показателя преломления, шероховатости и пр. Моделирование спектральных графиков материалов. Автоматический вывод параметров: толщина, показатель преломления, коэффициент поглощения, энергетическая система, действительная/ мнимая части. Автоматическое сохранение результатов. |
|
UVPLUS SE - эллипсометр 395.46(Kб)
Мой заказ