C-FLT – плоские емкостные энкодеры
- Тип датчика: емкостный, линейный.
- Тип монтажа: плоский фланец (FLT).
- Субнанометровое статическое разрешение (от 0,2 нм).
- Специальные исполнения: совместимость со сверхвысоким вакуумом (UHV) и полностью немагнитные версии (NM).
- Диапазоны измерений: 0,2 мм, 0,5 мм, 1 мм, 2 мм, 3 мм.
Серия плоских емкостных энкодеров C-FLT предназначена для бесконтактного измерения линейного перемещения, вибраций и положения в наноразмерном диапазоне. Датчики этого типа напрямую измеряют зазор между своей активной плоской поверхностью и целевым объектом, что делает их идеальными для интеграции в компактные узлы сканирующей зондовой микроскопии, системы нанопозиционирования и стабилизации платформ.
Конструкция на основе чистого титана и специализированная электроника обеспечивают исключительную температурную стабильность и минимальный дрейф. Благодаря полностью емкостному принципу действия датчики C-FLT не создают магнитных полей и совместимы со сверхвысоким вакуумом (UHV), что позволяет использовать их в самых требовательных исследовательских установках: при изучении квантовых материалов, в низкотемпературных экспериментах и в системах со строгими требованиями по чистоте магнитной среды.
| Параметр | Значение | Ед. Измерения | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Модель | C0.2-FLT | C0.5-FLT | C1-FLT | C2-FLT | C3-FLT | |
| Тип датчика | Емкостной |
|
||||
| Тип монтажа | M1.6 / M2 / M2.5 |
|
||||
| Материал корпуса | Чистый титан |
|
||||
| Специальные исполнения |
.UHV (сверхвысокий вакуум), .NM (полностью немагнитный) |
|
||||
| Измеряемый диапазон | 0,2 | 0,5 | 1 | 2 | 3 | мм |
| Линейность сенсора | ± 0,02 | ± 0,05 | ± 0,10 | ± 0,20 | ± 0,30 | мкм |
| Чувствительность | 50 | 20 | 10 | 5 | 3,33 | В/мм |
| Разрешение (динамическое, 10 кГц) | 4 | 10 | 20 | 40 | 60 | нм |
| Разрешение (статическое, 20 Гц) | 0,2 | 0,5 | 1 | 2 | 3 | нм |
| Полоса пропускания | 10 кГц / 1 кГц / 20 Гц |
|
||||
| Повторяемость | 0,0003 | % | ||||
| Линейность системы | ≤ ± 0,01 | % | ||||
| Температурная стабильность | 10 | ppm/°C | ||||
| Интерфейс связи |
Ethernet, EtherCAT (стандартно) SPI, USB (опционально) |
|
||||
| Аналоговый выход (монитор) |
0-10 В (стандартно), ±5 В, ±10 В (опционально) |
В | ||||
| Скорость передачи данных (монитор) | До 50 | kSa/s | ||||
- Сканирующая зондовая микроскопия.
- Системы активной виброизоляции и стабилизации платформ.
- Нанопозиционирование в научных установках.
- Контроль вибраций и перемещений в вакуумных системах.
- Эксперименты с квантовыми материалами при низких температурах.
- Калибровка высокоточных датчиков.
- Научные исследования.
