C-SCR – резьбовые емкостные энкодеры

C-SCR – серия емкостных энкодеров с резьбовым корпусом для встраиваемого монтажа и измерения линейного положения.
  • Тип датчика: емкостной.
  • Тип монтажа: резьбовой корпус (M10×1).
  • Специальные исполнения: совместимость со сверхвысоким вакуумом (UHV) и полностью немагнитные версии (NM).
  • Диапазоны измерений: 0,2 мм, 0,5 мм, 1 мм, 2 мм, 3 мм.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Узнать цену

Серия резьбовых емкостных энкодеров C-SCR разработана для применений, требующих скрытого или защищенного монтажа датчика. Благодаря корпусу с метрической резьбой M10×1 датчик может быть напрямую вкручен в соответствующее отверстие узла или камеры, обеспечивая точную фиксацию и идеальную ориентацию измерительной поверхности. Такая конструкция минимизирует габаритные выступы и защищает активный элемент от механических повреждений. C-SCR оснащены съемным кабелем для удобства установки и обслуживания. 

Параметр Значение Ед. Измерения
Модель C0.2-SCR C0.5-SCR C1-SCR C2-SCR C3-CSCR
Тип датчика емкостной
Тип монтажа резьбовой корпус (M10×1) мм
Материал корпуса титан
Специальные исполнения .UHV (сверхвысокий вакуум),
.NM (полностью немагнитный)
Способ подключения кабеля
съемное  
Измеряемый диапазон 0,2 0,5 1 2 3 мм
Линейность сенсора ± 0,02 ± 0,05 ± 0,10 ± 0,20 ± 0,30 мкм
Чувствительность 50 20 10 5 3,33 В/мм
Разрешение (динамическое, 10 кГц) 4 10 20 40 60 нм
Разрешение (статическое, 20 Гц) 0,2 0,5 1 2 3 нм
Полоса пропускания 10 кГц / 1 кГц / 20 Гц
Повторяемость 0,0003 %
Линейность системы ≤ ± 0,01 %
Температурная стабильность 10 ppm/°C
Интерфейс связи Ethernet, EtherCAT (стандартно)
SPI, USB (опционально)
Аналоговый выход (монитор) 0-10 В (стандартно),
±5 В, ±10 В (опционально) 		В
Скорость передачи данных (монитор) До 50 kSa/s

  • Сканирующая зондовая микроскопия.
  • Системы активной виброизоляции и стабилизации платформ.
  • Нанопозиционирование в научных установках.
  • Контроль вибраций и перемещений в вакуумных системах.
  • Эксперименты с квантовыми материалами при низких температурах.
  • Калибровка высокоточных датчиков.
  • Научные исследования.

Модель Описание
C0.2-SCR Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 0,2 мм. Чувствительность 50 В/мм. Разрешение 0,2 нм (ст.) / 4 нм (дин.). Линейность ± 0,02 мкм. Стандартное исполнение.
C0.5-SCR Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 0,5 мм. Чувствительность 20 В/мм. Разрешение 0,5 нм (ст.) / 10 нм (дин.). Линейность ± 0,05 мкм. Стандартное исполнение.
C1-SCR Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 1 мм. Чувствительность 10 В/мм. Разрешение 1 нм (ст.) / 20 нм (дин.). Линейность ± 0,10 мкм. Стандартное исполнение.
C2-SCR Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 2 мм. Чувствительность 5 В/мм. Разрешение 2 нм (ст.) / 40 нм (дин.). Линейность ± 0,20 мкм. Стандартное исполнение.
C3-SCR Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 3 мм. Чувствительность 3,33 В/мм. Разрешение 3 нм (ст.) / 60 нм (дин.). Линейность ± 0,30 мкм. Стандартное исполнение.
C0.2-SCR.NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 0,2 мм. Чувствительность 50 В/мм. Разрешение 0,2 нм (ст.) / 4 нм (дин.). Линейность ± 0,02 мкм. Немагнитное исполнение.
C0.5-SCR-NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 0,5 мм. Чувствительность 20 В/мм. Разрешение 0,5 нм (ст.) / 10 нм (дин.). Линейность ± 0,05 мкм. Немагнитное исполнение.
C1-SCR-NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 1 мм. Чувствительность 10 В/мм. Разрешение 1 нм (ст.) / 20 нм (дин.). Линейность ± 0,10 мкм. Немагнитное исполнение.
C2-SCR-NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 2 мм. Чувствительность 5 В/мм. Разрешение 2 нм (ст.) / 40 нм (дин.). Линейность ± 0,20 мкм. Немагнитное исполнение.
C3-SCR-NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 3 мм. Чувствительность 3,33 В/мм. Разрешение 3 нм (ст.) / 60 нм (дин.). Линейность ± 0,30 мкм. Немагнитное исполнение.
C0.2-SCR.NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 0,2 мм. Чувствительность 50 В/мм. Разрешение 0,2 нм (ст.) / 4 нм (дин.). Линейность ± 0,02 мкм. Исполнение для сверхвысокого вакуума.
C0.5-SCR.NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 0,5 мм. Чувствительность 20 В/мм. Разрешение 0,5 нм (ст.) / 10 нм (дин.). Линейность ± 0,05 мкм. Исполнение для сверхвысокого вакуума.
C1-SCR.NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 1 мм. Чувствительность 10 В/мм. Разрешение 1 нм (ст.) / 20 нм (дин.). Линейность ± 0,10 мкм. Исполнение для сверхвысокого вакуума.
C2-SCR.NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 2 мм. Чувствительность 5 В/мм. Разрешение 2 нм (ст.) / 40 нм (дин.). Линейность ± 0,20 мкм. Исполнение для сверхвысокого вакуума.
C3-SCR.NM Резьбовой емкостной энкодер. Рабочий диапазон 3 мм. Чувствительность 3,33 В/мм. Разрешение 3 нм (ст.) / 60 нм (дин.). Линейность ± 0,30 мкм. Исполнение для сверхвысокого вакуума.
Назад к разделу

info@sphotonics.ru
RUSENG
Мой заказ
Мой заказ
8 800 Санкт-Петербург Москва
8 (800) 550-72-97
+7 (812) 385-72-97
+7 (495) 374-91-72