ГлавнаяКаталогИзмерение параметров лазеров, оптики и оптоэлектроникиИзмерительное оборудование для оптики и полупроводниковых пластинЛазерные интерферометрыTFA-5X-PRO - рефлектометр для анализа тонких пленок
TFA-5X-PRO - рефлектометр для анализа тонких пленок
TFA-5X-PRO — рефлектометр для анализа тонких плёнок, предназначенный для быстрого измерения толщины и оптических констант n и k диэлектрических и полупроводниковых плёнок на малых участках поверхности. Прибор позволяет одновременно определять толщину и оптические характеристики за одно измерение длительностью менее 50 мс.
- измерительное пятно — 5, 10, 50, 100 или 250 мкм;
- диапазон измерения толщины — от 15 нм до 200 мкм;
- точность измерения толщины — 0,2 нм;
- одновременное определение оптических констант n и k;
- время измерения — менее 50 мс;
- передача данных через USB.
| Параметр | Значение | Ед. изм. | ||
|---|---|---|---|---|
| Размер измерительного пятна | 5; 10; 50; 100; 250 | мкм | ||
| Диапазон измерения толщины плёнки | 15 нм – 200 мкм | — | ||
| Точность измерения толщины | 0,2 | нм | ||
| Измеряемые оптические параметры | n и k | — | ||
| Время измерения | < 50 | мс | ||
| Интерфейс вывода данных | USB | — | ||
| Масса прибора | 2,5 | кг | ||
| Габаритные размеры | 29 × 23 × 22 | см | ||
- Измерение толщины диэлектрических тонких плёнок.
- Измерение толщины полупроводниковых тонких плёнок.
- Определение оптических констант n и k тонкоплёночных материалов.
- Контроль параметров плёнок на малых участках поверхности.
Мой заказ