Free3D.ZTxTy.150 - гексаподы

Free3D.ZTxTy.150 - серия гексаподов для комнатной температуры.
  • Размеры Ø150 × 110 мм. 
  • Диапазон перемещения по оси Z 5 мм. 
  • Диапазон перемещения θXY 3°. 
  • Минимальный размер шага по оси Z 25 нм. 
  • Минимальный размер шага θXY 7,5 мкрад.
  • Разрешение 2 нм.
  • Варианты исполнения: исполнение для высокого вакуума (.HV), исполнение для сверхвысокого вакуума (.UHV).
  • В комплекте программное обеспечение.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 

Параметр Значение Ед.измерения
Исполнение Стандартное *.HV **.UHV
Размеры  (Д х В) Ø150 × 110 мм
Материал корпуса Алюминиевый сплав
Кабели и коннекторы Экранированный кабель с DSub15 коннектором Кабель с каптоновым покрытием, PEEK-2mm
Нагрузка 3 кг
Вес
1,5 кг
Длина кабеля
1 м
Диапазон перемещения Z
± 5
мм
Диапазон перемещения θXY
± 3
°
Скорость
1 - 10 мм/с
Минимальный размер шага Z
25 нм
Минимальный размер шага θXY
7,5 мкрад
Односторонняя повторяемость по оси Z
0,15 мкм
Односторонняя повторяемость по θXY
2,5 мкрад   
Тип энкодера
Оптический
Разрешение
2 нм
Рабочее напряжение
220 В
Количество каналов управления
3
Порт передачи данных
USB
Программное обеспечение
В комплекте, поддержка LabVIEW, набор последовательных команд
*.HV - исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Free3D.ZTxTy.150 Размер: Ø150 × 110 мм. Диапазон перемещения по оси Z: 5 мм. Диапазон перемещения θXY: 3 × 3 °. Минимальный размер шага по оси Z: 25 нм. Минимальный размер шага θXY: 7,5 мкрад. Стандартное исполнение.
Free3D.ZTxTy.150.HV Размер: Ø150 × 110 мм. Диапазон перемещения по оси Z: 5 мм. Диапазон перемещения θXY: 3 × 3 °. Минимальный размер шага по оси Z: 25 нм. Минимальный размер шага θXY: 7,5 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Free3D.ZTxTy.150.UHV Размер: Ø150 × 110 мм. Диапазон перемещения по оси Z: 5 мм. Диапазон перемещения θXY: 3 × 3 °. Минимальный размер шага по оси Z: 25 нм. Минимальный размер шага θXY: 7,5 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ