Free3D.ZTxTy.150 - трехосевые пьезоэлектрические столики

Free3D.ZTxTy.150 - серия трехосевых пьезоэлектрических столиков для комнатной температуры.

Размеры Ø150 × 110 мм.
Диапазон перемещения по оси Z 5 мм.
Диапазон перемещения θ_XY 3°.
Минимальный размер шага по оси Z 25 нм.
Минимальный размер шага θ_XY 7,5 мкрад.
Разрешение 2 нм.
Варианты исполнения: исполнение для высокого вакуума (.HV), исполнение для сверхвысокого вакуума (.UHV).
В комплекте программное обеспечение.

Параметр	Значение			Ед.измерения
Исполнение	Стандартное	*.HV	**.UHV
Размеры (Д х В)	Ø150 × 110			мм
Материал корпуса	Алюминиевый сплав
Кабели и коннекторы	Экранированный кабель с DSub15 коннектором	Кабель с каптоновым покрытием, PEEK-2mm
Нагрузка	3			кг
Вес	1,5			кг
Длина кабеля	1			м
Диапазон перемещения Z	± 5			мм
Диапазон перемещения θ_XY	± 3			°
Скорость	1 - 10			мм/с
Минимальный размер шага Z	25			нм
Минимальный размер шага θ_XY	7,5			мкрад
Точность перемещения по оси Z	0,15			мкм
Точность перемещения по θ_XY	2,5			мкрад
Тип энкодера	Оптический
Разрешение	2			нм
Рабочее напряжение	220			В
Количество каналов управления	3
Порт передачи данных	USB
Программное обеспечение	В комплекте, поддержка LabVIEW, набор последовательных команд
.HV - исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар. *.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.

Модель	Описание
Free3D.ZTxTy.150	Размеры Ø150 × 110 мм. Диапазон перемещения по оси Z 5 мм. Диапазон перемещения θXY 3 × 3 °. Минимальный размер шага по оси Z 25 нм. Минимальный размер шага θXY 7,5 мкрад. Стандартное исполнение.
Free3D.ZTxTy.150.HV	Размеры Ø150 × 110 мм. Диапазон перемещения по оси Z 5 мм. Диапазон перемещения θXY 3 × 3 °. Минимальный размер шага по оси Z 25 нм. Минимальный размер шага θXY 7,5 мкрад. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Free3D.ZTxTy.150.UHV	Размеры Ø150 × 110 мм. Диапазон перемещения по оси Z 5 мм. Диапазон перемещения θXY 3 × 3 °. Минимальный размер шага по оси Z 25 нм. Минимальный размер шага θXY 7,5 мкрад. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.