Free6D.3-2.070 - гексаподы
Free6D.3-2.070 - серия гексаподов для комнатной температуры.
- Размеры Ø70 × 65 мм.
- Диапазон перемещения по осям XYZ 5 × 5 × 2,5 мм.
- Диапазон перемещения θXYZ 16 × 13 × 26°.
- Минимальный размер шага 20 нм.
- Разрешение 2 нм.
- Варианты исполнения: исполнение для высокого вакуума (.HV), исполнение для сверхвысокого вакуума (.UHV).
| Параметр | Значение | Ед.измерения | ||
|---|---|---|---|---|
| Исполнение | *.HV | **.UHV | ||
| Размеры (Д х В) | Ø70 × 65 | мм | ||
| Материал корпуса | Алюминиевый сплав,нержавеющая сталь | |||
| Кабели и коннекторы | Экранированный кабель с DSub15 коннектором | Кабель с каптоновым покрытием, PEEK | ||
| Макс. нагрузка | 100 | г | ||
| Диапазон перемещения XYZ |
±5 × ±5 × ±2,5 |
мм | ||
| Диапазон перемещения θXYZ |
±16 × ±13 × ±26 |
° |
||
| Повторяемость перемещения XYZ |
±0,4 × ±0,4 × ±0,15 |
мкм | ||
| Повторяемость перемещения θXYZ |
±20 × ±20 × ±20 |
мкрад | ||
| Минимальный размер шага XYZ | 20 × 20 × 20 | нм | ||
| Минимальный размер шага θXYZ | 4 × 4 × 4 | мкрад | ||
| Тип энкодера | Оптический | |||
| Разрешение | 2 | нм | ||
| Контроллер | ||||
|
Функции контроллера
|
Управление позиционированием |
|
||
|
Метод управления
|
Управление блоками с помощью режима обратной связи с оптическим экодером | |||
|
Размеры контроллера
|
200 × 200 × 140 | мм | ||
|
Вес контроллера
|
2.7 | кг | ||
|
Источник питания
|
24 | В | ||
|
Максимальная выходная частота
|
20 | кГц | ||
|
Максимальная выходная мощность
|
100 | Вт | ||
|
Рабочая температура
|
0 - 50 |
℃ |
||
|
Относительная влажность воздуха
|
< 70 | % | ||
| Количество каналов управления | 6 | |||
| Интерфейс | USB Type-C, EtherNet, EtherCAT(по запросу) | |||
| Программное обеспечение | PC GUI, SDK | |||
|
*.HV - исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар. **.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар. |
||||
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
Free6D.3-2.070 - гексаподы 890.16(Kб)
Мой заказ