Free6D.3-2.150 - гексаподы

Free6D.3-2.150 - серия гексаподов для комнатной температуры.
  • Размеры Ø150 × 90 мм. 
  • Диапазон перемещения по осям XYZ 10 × 10 × 5 мм. 
  • Диапазон перемещения θXYZ 10 × 10 × 20°. 
  • Минимальный размер шага 10 нм.
  • Разрешение 2 нм.
  • Варианты исполнения: исполнение для высокого вакуума (.HV), исполнение для сверхвысокого вакуума (.UHV).
  • В комплекте программное обеспечение.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 

Параметр Значение Ед.измерения
Исполнение *.HV **.UHV
Размеры  (Д х В) Ø150 × 90 мм
Материал корпуса Алюминиевый сплав,нержавеющая сталь
Кабели и коннекторы Экранированный кабель с DSub15 коннектором Кабель с каптоновым покрытием, PEEK
Макс. нагрузка 1 кг
Диапазон перемещения XYZ ±10 × ±10 × ±5
мм
Диапазон перемещения θXYZ ±10 × ±10 × ±20
°
Повторяемость перемещения XYZ ±0,25 × ±0,25 × ±0,1
мкм
Повторяемость перемещения θXYZ ±5 × ±5 × ±5
мкрад
Минимальный размер шага XYZ 10 × 10 × 10 нм
Минимальный размер шага θXYZ 1 × 1 × 1 мкрад
Тип энкодера Оптический
Разрешение 2 нм
  Контроллер  
Функции контроллера
Управление позиционированием
Метод управления 
Управление блоками с помощью режима обратной связи с оптическим экодером,
алгоритм параллельного движения,
использование кинематической стратегии
 
Размеры контроллера
200 × 200 × 140 мм
Вес контроллера
2.7 кг
Источник питания
24 В
Максимальная выходная частота
20 кГц
Максимальная выходная мощность
100 Вт
Рабочая температура
0 - 50
Относительная влажность воздуха
< 70 %
Количество каналов управления 6
Интерфейс USB Type-C, EtherNet, EtherCAT(по запросу)
Программное обеспечение PC GUI, SDK
*.HV - исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар.
**.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
Free6D.3-2.150 Пьезоэлектрический гексапод. Оптический энкодер c разрешением 2 нм. Размеры Ø150 × 90 мм. Диапазон перемещения по осям XYZ 10 × 10 × 5 мм. Диапазон перемещения θXYZ 10 x 10 x 20 °. Стандартное исполнение.
Free6D.3-2.150.HV Пьезоэлектрический гексапод. Оптический энкодер c разрешением 2 нм. Размеры Ø150 × 90 мм. Диапазон перемещения по осям XYZ 10 × 10 × 5 мм. Диапазон перемещения θXYZ 10 × 10 × 20 °. Исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
Free6D.3-2.150.UHV Пьезоэлектрический гексапод. Оптический энкодер c разрешением 2 нм. Размеры Ø150 × 90 мм. Диапазон перемещения по осям XYZ 10 × 10 × 5 мм. Диапазон перемещения θXYZ 10 × 10 × 20°. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. 
Назад к разделу

Мой заказ