Free6D.3-2.150 - гексаподы
Free6D.3-2.150 - серия гексаподов для комнатной температуры.
- Размеры Ø150 × 90 мм.
- Диапазон перемещения по осям XYZ 10 × 10 × 5 мм.
- Диапазон перемещения θXYZ 10 × 10 × 20°.
- Минимальный размер шага 10 нм.
- Разрешение 2 нм.
- Варианты исполнения: исполнение для высокого вакуума (.HV), исполнение для сверхвысокого вакуума (.UHV).
- В комплекте программное обеспечение.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед.измерения | ||
---|---|---|---|---|
Исполнение | *.HV | **.UHV | ||
Размеры (Д х В) | Ø150 × 90 | мм | ||
Материал корпуса | Алюминиевый сплав,нержавеющая сталь | |||
Кабели и коннекторы | Экранированный кабель с DSub15 коннектором | Кабель с каптоновым покрытием, PEEK | ||
Макс. нагрузка | 1 | кг | ||
Диапазон перемещения XYZ |
±10 × ±10 × ±5 |
мм | ||
Диапазон перемещения θXYZ |
±10 × ±10 × ±20 |
° |
||
Повторяемость перемещения XYZ |
±0,25 × ±0,25 × ±0,1 |
мкм | ||
Повторяемость перемещения θXYZ |
±5 × ±5 × ±5 |
мкрад | ||
Минимальный размер шага XYZ | 10 × 10 × 10 | нм | ||
Минимальный размер шага θXYZ | 1 × 1 × 1 | мкрад | ||
Тип энкодера | Оптический | |||
Разрешение | 2 | нм | ||
Контроллер | ||||
Функции контроллера
|
Управление позиционированием |
|
||
Метод управления
|
Управление блоками с помощью режима обратной связи с оптическим экодером, алгоритм параллельного движения, использование кинематической стратегии |
|||
Размеры контроллера
|
200 × 200 × 140 | мм | ||
Вес контроллера
|
2.7 | кг | ||
Источник питания
|
24 | В | ||
Максимальная выходная частота
|
20 | кГц | ||
Максимальная выходная мощность
|
100 | Вт | ||
Рабочая температура
|
0 - 50 |
℃ |
||
Относительная влажность воздуха
|
< 70 | % | ||
Количество каналов управления | 6 | |||
Интерфейс | USB Type-C, EtherNet, EtherCAT(по запросу) | |||
Программное обеспечение | PC GUI, SDK | |||
*.HV - исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар. **.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар. |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
Free6D.3-2.150 - гексаподы 660.83(Kб)