ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные линейные пьезопозиционерыLS105x.Lab - линейные пьезопозиционеры для высоких нагрузок
LS105x.Lab - линейные пьезопозиционеры для высоких нагрузок
LS105x.Lab - серия платформ, осуществляющих движение по оси X с высокой нагрузкой и высоким разрешением.
- Собственная частота: 20 кГц.
- Размеры платформы: 105 × 105 × 20 мм.
- Режим обратной связи, оптический энкодер.
- Разрешение энкодера: 2 нм.
- Минимальный размер шага: 10 нм.
- Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV),
для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Пьезоплатформы LS105x.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.
Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Параметр | Значение | Ед.измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Исполнение |
.NM*, .HV**, .UHV*** |
||||
Размеры | 105 × 105 × 20 | мм | |||
Материал корпуса | Алюминий, нержавеющая сталь, керамика | ||||
Масса | 650 | г | |||
Диапазон перемещения | 60 | мм | |||
Собственная частота |
20 |
кГц | |||
Кабели |
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: kapton, PEEK D-Sub 15 |
|
|||
Параметры рекомендованные при горизонтальной установке |
|||||
Максимальная скорость |
~ 20 |
мм/с |
|||
Минимальный шаг (режим обратной связи) | 10 |
нм |
|||
Динамическая сила |
3 |
Н |
|||
Удерживающая сила | 5 | Н | |||
Тангаж/рыскание |
0,2 |
мрад | |||
Макс. нагрузка |
4 | кг | |||
Датчик | |||||
Тип датчика |
Оптический |
|
|||
Разрешение датчика |
2 | нм | |||
**.NM - немагнитное исполнение. ***.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар. ****.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар. |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.