ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные линейные пьезопозиционерыLS65x.Lab - линейные пьезопозиционеры для высоких нагрузок

LS65x.Lab - линейные пьезопозиционеры для высоких нагрузок

LS65x.Lab - серия платформ, осуществляющих движение по оси X с высокой нагрузкой и высоким разрешением.

Размеры платформы: 65 × 65 × 13 мм.
Режим обратной связи, оптический энкодер.
Разрешение энкодера 2 нм (по умолчанию), 50 нм (.E).
Минимальный размер шага ~ 5 нм, 100 нм (.E).
Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
Совместимость с контроллером MC-Newton.S.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезоплатформы LS65x.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 5 нм (100 нм для исполнения .Е). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.

Параметр	Значение	Ед. Измерения
Исполнение
Стандартное¹	✔
.HV²	✔
.UHV³	✔
.NM⁴	✔
.HV.NM⁵	✔
.UHV.NM⁶	✔
.E⁷	✔
Размеры (Ш х Д х В)	65 × 65 × 13	мм
Материал корпуса (стандартное, .E)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (.HV, .UHV)	Титан, Сталь
Материал корпуса (немагнитное исп.)	Титан, керамика
Масса (стандартное, .E)	160	г
Масса (.HV, .UHV)	260	г
Масса (немагнитное исп.)	110	г
Диапазон перемещения	30	мм
Скорость (стандартные исполнения)	0,0001 - 20	мм/с
Скорость (.HV, .UHV)	0,0001 - 2	мм/с
Минимальный шаг	5	нм
Минимальный шаг (.E исполнение)	100	нм
Повторяемость	± 100	нм
Повторяемость (.E исполнение)	± 300	нм
Динамическая сила (тип.)	2 (опция: 4)	Н
Удерживающая сила (тип.)	3 (опция: 5)	Н
Максимальная нагрузка (горизонтально)	2	кг
Максимальная нагрузка (вертикально)	100 (опция: 250)	г
Датчик положения
Тип датчика	Оптический энкодер
Разрешение датчика (стандартные исполнения)	2 (опция: 0,5)	нм
Разрешение датчика (.E исполнение)	50	нм
Кабель / Разъем	Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: Kapton, PEEK D-Sub 15

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.
5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью.
6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью.
7) .E - экономичное исполнение для атмосферных условий, с пониженными характеристиками точности.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

LS65x.Lab - линейные пьезопозиционеры для высоких нагрузок 246.53(Kб)

Модель	Описание
LS65x.Lab	Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
LS65x.Lab.HV	Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS65x.Lab.UHV	Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS65x.Lab.NM	Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
LS65x.Lab.HV.NM	Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS65x.Lab.UHV.NM	Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS65x.Lab.E	Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 13 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 50 нм, минимальный шаг 100 нм. Экономичное исполнение для атмосферных условий.