LS65x.Lab - линейные пьезопозиционеры для высоких нагрузок

LS65x.Lab - серия платформ для комнатной температуры, осуществляющих движение по оси X с высокой нагрузкой и высоким разрешением.
  • Собственная частота 20 кГц.
  • Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм.
  • Режим обратной связи, оптический энкодер.
  • Разрешение энкодера 2 нм (по умолчанию), 0,5 нм (.adv), 50 нм (.E).
  • Минимальный размер шага ~ 10 нм.
  • Доступны адаптеры для создания многоосевых сборок.
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV),
    для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы LS65x.Lab поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм (100 нм для исполнения .Е). Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение Ед.измерения
Модель LS65x.Lab LS65x.Lab.E
Исполнение Стандартное
.NM*
.HV**
.UHV***
-
Размеры 65 × 65 × 13 мм
Материал корпуса Алюминий (стандартное, .NM)
Титан (.HV, .UHV)
Алюминий  
Масса 160
г
Диапазон перемещения 30
мм
Собственная частота 20
кГц
Разрешение при движении без обратной связи 0,1 нм
Кабели
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: kapton, PEEK D-Sub 15

Параметры рекомендованные при
горизонтальной установке
     
Максимальная скорость ~ 20
мм/с
Минимальный шаг (режим обратной связи) 10 100 нм
Удерживающая сила
2 Н
Динамическая сила 5 Н
Тангаж/рыскание
0,3
мрад
Нагрузка
2 кг
Параметры рекомендованные 
при вертикальной установке
     
Нагрузка
150
г
Удерживающая сила
5 Н
Датчик
Тип датчика Оптический энкодер

Диапазон датчика
30
мм
Разрешение датчика
2 (стандартное)
0,5 (.adv)
50 (.E) нм
**.NM - немагнитное исполнение.
***.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар.
****.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2 E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
LS65x.Lab Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Стандартное исполнение.
LS65x.Lab.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Немагнитное исполнение.
LS65x.Lab.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
LS65x.Lab.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
LS65x.Lab.HV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Немагнитное исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
LS65x.Lab.UHV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
LS65x.Lab.Е Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 50 нм. Стандартное исполнение.
LS65x.Lab.adv Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 0,5 нм. Стандартное исполнение.
LS65x.Lab.adv.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 0,5 нм. Немагнитное исполнение.
LS65x.Lab.adv.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 0,5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
LS65x.Lab.adv.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 0,5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
LS65x.Lab.adv.HV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 0,5 нм. Немагнитное исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
LS65x.Lab.adv.UHV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 65 × 65 × 13 мм. Перемещение до 30 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 0,5 нм. Немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ