LS-LinearXXX - линейные пьезопозиционеры

LS-LinearXXX - серия линейных пьезопозиционеров, осуществляющих движение по оси X.
  • Совместимы со сверхвысоким вакуумом до 2 E-11 мбар.
  • Выдерживают очень низкие температуры до 10 мК.
  • Сделаны из немагнитного композита Ti & BeCu.
  • Перемещение до 100 мм.
  • Управление с обратной связью с разрешением 150 нм.
  • Совместимость с контроллером MC-NewtonLT.06.
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы LS-LinearXXX поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии MC-NewtonLT.06.

Параметр Значение  Ед. Измерения  
Модель LS-Linear30 LS-Linear50 LS-Linear75 LS-Linear100  
Исполнение

Стандартное1  
.UHV2  
.ULT3  
.UHV.ULT4  
Размеры (Ш х Д х В) 65 × 32 × 19,5 95 × 32 × 19,5 135 × 32 × 19,5 185 × 32 × 19,5 мм
Масса
(стандартное, .UHV)
100 150 220 300 г
Масса
(.ULT, .UHV.ULT)
175 175 400 540 г
Диапазон перемещения 30 50 75 100 мм
Максимальная скорость при Т=300 К ~ 3 мм/с
Минимальный шаг при Т=300 К ~ 10 нм
Разрешение точной настройки при Т=2 К суб-нм  
Повторяемость 1 - 2 мкм
Максимальная нагрузка                 750 1000     г
Динамическая сила 3 Н
Датчик положения (режим обратной связи)    
Тип датчика резистивный  
Диапазон датчика 30 50 75 100 мм
Разрешение датчика ~ 150 нм
Потребляемая мощность 3 мВт
(опция: 5 мкВт)
2 мВт
(опция: 3 мкВт)
1,5 мВт
(опция: 2 мкВт)
1 мВт
(опция: 1,5 мкВт)
 
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
2) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
3) .ULT - низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
4) .UHV.ULT - низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.

  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.
  • Измерение диэлектрических/сегнетоэлектрических свойств, коэффициента магнитоэлектрической связи, теплопередачи, коэффициента термоЭДС, FMR (ферромагнитный резонанс).

Модель Описание
LS-Linear30 Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
LS-Linear30.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
LS-Linear30.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
LS-Linear30.UHV.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
LS-Linear50 Линейный пьезопозиционер. Размеры 95 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
LS-Linear50.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры 95 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
LS-Linear50.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 95 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
LS-Linear50.UHV.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 95 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 750 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
LS-Linear75 Линейный пьезопозиционер. Размеры 135 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 75 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
LS-Linear75.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры 135 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 75 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
LS-Linear75.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 135 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 75 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
LS-Linear75.UHV.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 135 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 75 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
LS-Linear100 Линейный пьезопозиционер. Размеры 185 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар
LS-Linear100.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры 185 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
LS-Linear100.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 185 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-7 мбар.
LS-Linear100.UHV.ULT Линейный пьезопозиционер. Размеры 185 × 32 × 19,5 мм. Нагрузка до 1000 г, динамическая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, резистивный датчик с разрешением ~150 нм, минимальный шаг ~10 нм. Низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 10 мК - 350 К, вакуум до 2E-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ