ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные линейные пьезопозиционерыLS-LinearXXX - линейные пьезопозиционеры
LS-LinearXXX - линейные пьезопозиционеры
LS-LinearXXX - серия линейных пьезопозиционеров, осуществляющих движение по оси X.
- Совместимы со сверхвысоким вакуумом до 2 E-11 мбар.
- Выдерживают очень низкие температуры до 30 мК.
- Сделаны из немагнитного композита Ti & BeCu.
- Совместимы с магнитным полем 35 Тл.
- Нагрузка & тяга до 1500 г & 3 Н.
- Перемещение до 200 мм.
- Управление с обратной связью с разрешением 150 нм.
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Пьезоплатформы LS-LinearXXX поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.
Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Параметр | Значение | Ед.измерения | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Модель | LS-Linear30 | LS-Linear50 | LS-Linear75 | LS-Linear100 | LS-Linear200 | |||||||
Исполнение
|
.HV* (стандартное), .ULT**, .UHV***, .ULT.UHV**** | |||||||||||
Размеры
|
60 × 32 × 19,5 | 90 × 32 × 19,5 |
135 × 32 × 19,5 |
180 × 32 × 19,5 | 320 × 32 × 19,5 | мм | ||||||
Масса
|
120 | 150 | 200 | 300 | 600 | г | ||||||
Температурный диапазон
|
1,4 - 400 | К | ||||||||||
Совместимость с вакуумом
|
1,00E-07 | мбар | ||||||||||
Максимальная магнитная индукция
|
35 | Тл | ||||||||||
Опция 1 - 30 мК
|
.ULT | |||||||||||
Опция 2 - 2 Е-11 мбар
|
.UHV | |||||||||||
Материалы
|
||||||||||||
Материал корпуса
|
Титан (.HV, .UHV) BeCu (.ULT, .ULT.UHV) |
|||||||||||
Кабели
|
Витые спаренные провода из люминофорной бронзы, 20 см | |||||||||||
Материал пинов
|
Стеклонаполненный полимер, BeCu (.HV, .ULT) Peek, BeCu (.UHV, .ULT.UHV) |
|||||||||||
Количество пинов
|
Привод - 2, датчик - 3 | шт. | ||||||||||
Движение в режиме с обратной связью
|
||||||||||||
Диапазон перемещения
|
30 | 50 | 75 | 100 | 200 | мм | ||||||
Максимальная скорость при Т = 300 К
|
~ 3 | мм/с | ||||||||||
Максимальное упправляющее напряжение
|
200 | В | ||||||||||
Максимальная нагрузка
|
0,75 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 2 | кг | ||||||
Динамическая сила
|
3 | Н | ||||||||||
Датчик положения
|
||||||||||||
Тип датчика
|
Резистивный энкодер | |||||||||||
Диапазон датчика
|
30 | 50 | 75 | 100 | 200 | мм | ||||||
Разрешение датчика
|
150 | нм | ||||||||||
Повторяемость
|
1 - 2 | мкм | ||||||||||
*.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 1 E-7 мбар. **.ULT- низкотемпературное исполнение: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 1 E-7 мбар. ***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды 1,4 - 400 К, вакуум до 2 E-11 мбар. ****.ULT.UHV - низкотемпературное исполнение для сверхвысокого вакуума: температура окружающей среды до 30 мК, вакуум до 2 E-11 мбар. |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
- Измерение диэлектрических/сегнетоэлектрических свойств, коэффициента магнитоэлектрической связи, теплопередачи, коэффициента термоЭДС, FMR (ферромагнитный резонанс).