ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные линейные пьезопозиционерыLS.Speed - высокоскоростные линейные пьезопозиционеры

LS.Speed - высокоскоростные линейные пьезопозиционеры

Name: LS.Speed - высокоскоростные линейные пьезопозиционеры
Brand: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

LS.Speed - серия платформ, осуществляющих движение по оси X с высокой нагрузкой и высоким разрешением.

Режим обратной связи, разрешение энкодера 2 нм.
Минимальный шаг: ~ 50 нм.
Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
Совместимость с контроллером MC-Newton.S.

Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Узнать цену

Задать вопрос

Пьезоплатформы серии LS.Speed поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высоковольтным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 50 нм в разомкнутом контуре. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFields в материале.

Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.

Параметр	Значение			Ед. Измерения
Модель	LS50x.Speed	LS65x.Speed	LS105x.Speed
Исполнение
Стандартное¹	✔	✔	✔
.HV²	✔	✔	✔
.UHV³	✔	✔	✔
.NM⁴	✔	✔	✔
Размеры (Ш х Д х В)	50 × 50 × 14	65 × 65 × 15	105 × 105 × 20	мм
Материал корпуса (стандартное)	Алюминиевый сплав, Сталь
Материал корпуса (.HV, .UHV)	Титан, Сталь
Материал корпуса (немагнитное исп.: .NM)	Титан, керамика
Масса (стандартное)	120	200	660	г
Масса (.HV, .UHV)	150	270	960	г
Масса (немагнитное исп.: .NM)	130	240	910	г
Диапазон перемещения	22	30	60	мм
Скорость (стандартные исполнения)	5 - 200			мм/с
Скорость (.HV, .UHV)	5 - 20			мм/с
Минимальный шаг (разомкнутый контур)	50			нм
Повторяемость	± 250			нм
Динамическая сила	1,5	3	4	Н
Удерживающая сила	3	4	5	Н
Максимальная нагрузка (горизонтально)	2	3	5	кг
Максимальная нагрузка (вертикально)	100	150	–	г
Датчик положения
Тип датчика	Оптический энкодер
Разрешение датчика	2			нм
Кабель / Разъем	Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: Kapton, PEEK D-Sub 15

1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях.
2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
4) .NM - полностью немагнитное исполнение.

Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Создание наноструктур.
Научные исследования.
Измерение высоких энергий.
Микроскопия сверхвысокого разрешения.
Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
Дифрактометрия.

LS.Speed - высокоскоростные линейные пьезопозиционеры 518.8(Kб)

Модель	Описание
LS50x.Speed	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 50 × 50 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 1,5 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 22 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
LS50x.Speed.HV	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 50 × 50 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 1,5 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 22 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS50x.Speed.UHV	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 50 × 50 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 1,5 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 22 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS50x.Speed.NM	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 50 × 50 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг (горизонтально) / 100 г (вертикально), динамическая сила 1,5 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 22 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Полностью немагнитное исполнение.
LS65x.Speed	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 15 мм. Нагрузка до 3 кг (горизонтально) / 150 г (вертикально), динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 4 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
LS65x.Speed.HV	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 15 мм. Нагрузка до 3 кг (горизонтально) / 150 г (вертикально), динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 4 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS65x.Speed.UHV	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 15 мм. Нагрузка до 3 кг (горизонтально) / 150 г (вертикально), динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 4 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS65x.Speed.NM	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 65 × 65 × 15 мм. Нагрузка до 3 кг (горизонтально) / 150 г (вертикально), динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 4 Н. Диапазон перемещения 30 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Полностью немагнитное исполнение.
LS105x.Speed	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 105 × 105 × 20 мм. Нагрузка до 5 кг (горизонтально), динамическая сила 4 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 60 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
LS105x.Speed.HV	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 105 × 105 × 20 мм. Нагрузка до 5 кг (горизонтально), динамическая сила 4 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 60 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS105x.Speed.UHV	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 105 × 105 × 20 мм. Нагрузка до 5 кг (горизонтально), динамическая сила 4 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 60 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS105x.Speed.NM	Высокоскоростной линейный пьезопозиционер. Размеры 105 × 105 × 20 мм. Нагрузка до 5 кг (горизонтально), динамическая сила 4 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 60 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 50 нм. Полностью немагнитное исполнение.