ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные линейные пьезопозиционерыLxxx.indus - линейные пьезопозиционеры
Lxxx.indus - линейные пьезопозиционеры
Lxxx.indus - серия линейных пьезопозиционеров для комнатной температуры, осуществляющих движение по оси X.
- Частота управляющего напряжения: 20 кГц.
- Режим обратной связи, разрешение энкодера 2 нм.
- Минимальный шаг ~ 10 нм.
- Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV),
для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Пьезоплатформы Lxxx.indus поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.
Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Параметр | Значение | Ед.измерения | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Модель | L030.indus | L060.indus | L100.indus | L180.indus | ||
Исполнение
|
Стандартное, NM*, HV**, UHV*** | |||||
Размеры
|
63 × 24 × 14 | 105 × 24 × 16 | 180 × 24 × 17 | 300 × 36 × 18 | мм | |
Пространство для движения по длине
|
93 | 165 | 280 | 480 | мм | |
Материал корпуса
|
Нержавеющая сталь/алюминиевый сплав | |||||
Кабели
|
Экранированный кабель, D-Sub15 (стандартно) |
|||||
Масса
|
110 | 174 | 388 | 840 | г | |
Параметры рекомендованные при
горизонтальной установке |
||||||
Нагрузка
|
1 | 1 | 2 | 3 | кг | |
Диапазон перемещения
|
30 | 60 | 100 | 180 | мм | |
Максимальная скорость
|
~20 | мм/с | ||||
Минимальный шаг
(режим обратной связи) |
~10 | нм | ||||
Собственная частота
|
20 | кГц | ||||
Максимальная грузоподъемность
|
2 | кг | ||||
Удерживающая сила
|
3 | Н | ||||
Динамическая сила
|
5 | Н | ||||
Тангаж/рыскание
|
0,3 | мрад | ||||
Датчик положения
|
||||||
Тип датчика
|
Оптический энкодер | |||||
Диапазон датчика
|
30 | 60 | 100 | 180 | мм | |
Разрешение датчика
|
2 | нм | ||||
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар. ***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуум до 2 E-11 мбар. |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
Lxxx.indus - линейные пьезопозиционеры 5199.65(Kб)