Lxxx.indus - линейные пьезопозиционеры
- Частота управляющего напряжения: 20 кГц.
- Режим обратной связи, разрешение энкодера 2 нм.
- Минимальный шаг: ~ 10 нм.
- Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV),
для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Пьезоплатформы Lxxx.indus поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.
Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм.
При установке позиционера рекомендовано учитывать пространство, необходимое для перемещения платформы по длине. В зависимости от модели это пространство может составлять 93, 165, 280, 480 мм (или уточняется для конкретной модели). Убедитесь, что на поверхности установки достаточно места для беспрепятственного перемещения. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
| Параметр | Значение | Ед.измерения | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Модель | L030.indus | L060.indus | L100.indus | L150.indus | L200.indus | ||
|
Исполнение
|
Стандартное, NM*, HV**, UHV*** | ||||||
|
Размеры
|
60 × 24 × 14 | 105 × 24 × 14 | 180 × 24 × 14 | 250 × 36 × 16,5 | 80 × 295 × 20 | мм | |
|
Пространство для движения по длине
|
93 | 165 | 280 | 480 | - | мм | |
|
Материал корпуса
|
Нержавеющая сталь/алюминиевый сплав | ||||||
|
Кабели
|
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15 .UHV: kapton, PEEK D-Sub 15 |
||||||
|
Масса
|
110 | 174 | 388 | 840 | 1050 | г | |
|
Параметры рекомендованные при
горизонтальной установке |
|||||||
|
Нагрузка
|
1 | 1 | 2 | 3 | 2 | кг | |
|
Диапазон перемещения
|
30 | 60 | 100 | 180 | 200 | мм | |
|
Максимальная скорость
|
~10 | мм/с | |||||
|
Минимальный шаг
(режим обратной связи) |
10 | нм | |||||
|
Собственная частота
|
20 | кГц | |||||
|
Динамическая сила
|
3 | Н | |||||
|
Удерживающая сила
|
5 | Н | |||||
|
Датчик положения
|
|||||||
|
Тип датчика
|
Оптический | ||||||
|
Разрешение датчика
|
2 | нм | |||||
|
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - стандартное исполнение для высокого вакуума до 1 E-7 мбар. ***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуум до 2 E-11 мбар. |
|||||||
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
