Пьезоплатформы Lxxx.indus поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё. Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 5 нм.
При установке позиционера рекомендовано учитывать пространство, необходимое для перемещения платформы по длине. Убедитесь, что на поверхности установки достаточно места для беспрепятственного перемещения. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.
Управление осуществляется контроллерами серии MC-Newton.S.
1) Стандартное исполнение, для работы в атмосферных условиях. 2) .HV - исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар. 3) .UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. 4) .NM - полностью немагнитное исполнение. 5) .HV.NM - исполнение для высокого вакуума с полной немагнитностью. 6) .UHV.NM - исполнение для сверхвысокого вакуума с полной немагнитностью. 7) .E - экономичное исполнение для атмосферных условий, с пониженными характеристиками точности.
Нанотехнологии и микросистемная техника.
Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
Линейный пьезопозиционер. Размеры 90 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 1 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
L050.Indus.HV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 90 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 1 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
L050.Indus.UHV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 90 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 1 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
L050.Indus.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 90 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 1 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
L050.Indus.HV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 90 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 1 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
L050.Indus.UHV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 90 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 1 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
L050.Indus.E
Линейный пьезопозиционер. Размеры 90 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 1 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 50 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 50 нм, минимальный шаг 100 нм. Экономичное исполнение для атмосферных условий.
L100.Indus
Линейный пьезопозиционер. Размеры 180 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
L100.Indus.HV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 180 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
L100.Indus.UHV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 180 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
L100.Indus.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 180 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
L100.Indus.HV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 180 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
L100.Indus.UHV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 180 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
L100.Indus.E
Линейный пьезопозиционер. Размеры 180 × 24 × 14 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 100 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 50 нм, минимальный шаг 100 нм. Экономичное исполнение для атмосферных условий.
L150.Indus
Линейный пьезопозиционер. Размеры 250 × 36 × 16,5 мм. Нагрузка до 3 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 150 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий.
L150.Indus.HV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 250 × 36 × 16,5 мм. Нагрузка до 3 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 150 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
L150.Indus.UHV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 250 × 36 × 16,5 мм. Нагрузка до 3 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 150 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
L150.Indus.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 250 × 36 × 16,5 мм. Нагрузка до 3 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 150 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
L150.Indus.HV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 250 × 36 × 16,5 мм. Нагрузка до 3 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 150 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
L150.Indus.UHV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 250 × 36 × 16,5 мм. Нагрузка до 3 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 150 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
L150.Indus.E
Линейный пьезопозиционер. Размеры 250 × 36 × 16,5 мм. Нагрузка до 3 кг, динамическая сила 2 Н, удерживающая сила 3 Н. Диапазон перемещения 150 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 50 нм, минимальный шаг 100 нм. Экономичное исполнение для атмосферных условий.
LS200.Indus
Линейный пьезопозиционер. Размеры 82 × 295 × 20 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 200 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Стандартное исполнение для атмосферных условий
LS200.Indus.HV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 82 × 295 × 20 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 200 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS200.Indus.UHV
Линейный пьезопозиционер. Размеры 82 × 295 × 20 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 200 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS200.Indus.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 82 × 295 × 20 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 200 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение.
LS200.Indus.HV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 82 × 295 × 20 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 200 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для высокого вакуума до 2E-7 мбар.
LS200.Indus.UHV.NM
Линейный пьезопозиционер. Размеры 82 × 295 × 20 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 200 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 2 нм, минимальный шаг 5 нм. Полностью немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.
LS200.Indus.E
Линейный пьезопозиционер. Размеры 82 × 295 × 20 мм. Нагрузка до 2 кг, динамическая сила 3 Н, удерживающая сила 5 Н. Диапазон перемещения 200 мм. Режим обратной связи, оптический энкодер с разрешением 50 нм, минимальный шаг 100 нм. Экономичное исполнение для атмосферных условий.
