X11.mini - линейные пьезопозиционеры

X11.mini - серия ультракомпактных платформ, осуществляющих линейное движение по оси X.
  • Собственная частота: 20 кГц.
  • Размеры платформы: 11 × 11 × 6,5 мм.
  • Разрешение энкодера: 1 нм.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы X11.mini поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение Ед.измерения
Исполнение Стандартное .NM*   .HV** .UHV***  
Параметры
11 × 11 × 6,5 мм
Материал корпуса
Нержавеющая сталь, титан   
Масса
10 г
Диапазон перемещения
6 мм
Собственная частота
20 кГц
Динамическая сила
0,3 Н
Удерживающая сила
0,5 Н
Нагрузка
50 г
Разрешение
< 1 нм
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.


  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
X11.mini Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 11 × 11 × 6,5 мм. Перемещение до 6 мм. Режим обратной связи, разрешение энкодера 1 нм. Стандартное исполнение.
X11.mini.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 11 × 11 × 6,5 мм. Перемещение до 6 мм. Режим обратной связи, разрешение энкодера 1 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
X11.mini.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 11 × 11 × 6,5 мм. Перемещение до 6 мм. Режим обратной связи, разрешение энкодера 1 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
X11.mini.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 11 × 11 × 6,5 мм. Перемещение до 6 мм. Режим обратной связи, разрешение энкодера 1 нм. Немагнитное исполнение.
Назад к разделу

Мой заказ