ГлавнаяКаталогПозиционеры. Трансляторы. Юстировка волокон и ФИСПьезоэлектрические позиционерыМоторизированные линейные пьезопозиционерыX20.mini - линейные пьезопозиционеры
X20.mini - линейные пьезопозиционеры
X20.mini - серия ультракомпактных платформ для комнатной температуры с высоким разрешением оптического энкодера, осуществляющих линейное движение по оси X.
- Собственная частота 20 кГц.
- Размеры платформы 20 × 20 × 12 мм.
- Разрешение оптического энкодера 2 нм.
- Минимальный размер шага ~ 10 нм.
- Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
- Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель: MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
Параметр | Значение | Ед.измерения | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вариант исполнения | Стандартное | .NM* | .HV** | .UHV*** | |||
Параметры
|
20 × 20 × 12 | мм | |||||
Материал корпуса
|
Нержавеющая сталь | Титан | Нержавеющая сталь | ||||
Масса
|
30 | г | |||||
Диапазон перемещения
|
10 | мм | |||||
Собственная частота
|
20 | кГц | |||||
Разрешение при движении без обратной связи
|
0,1 | нм | |||||
Кабели и разъемы
|
Экранированный кабель, D-Sub 15 (по умолчанию); .UHV: kapton, PEEK D-Sub 15 |
||||||
Параметры движения для горизонтальной установки
|
|||||||
Максимальная скорость
|
~ 10 | мм/с | |||||
Минимальный шаг (режим с обратной связью)
|
~ 10 | нм | |||||
Динамическая сила
|
1,5 | Н | |||||
Удерживающая сила
|
3 | Н | |||||
Тангаж/рыскание
|
0,3 | мрад | |||||
Нагрузка
|
300 | г | |||||
Параметры движения для вертикальной установки
|
|||||||
Нагрузка
|
100 | Г | |||||
Удерживающая сила
|
1,5 | Н | |||||
Параметры датчика
|
|||||||
Тип датчика
|
Оптический энкодер | ||||||
Диапазон датчика
|
10 | мм | |||||
Разрешение датчика
|
2 | нм | |||||
*.NM - немагнитное исполнение. **.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар. ***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар. |
- Нанотехнологии и микросистемная техника.
- Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
- Создание наноструктур.
- Научные исследования.
- Измерение высоких энергий.
- Микроскопия сверхвысокого разрешения.
- Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
- Дифрактометрия.
X20.mini - линейный пьезопозиционер 5199.63(Kб)