X20.mini - линейные пьезопозиционеры

X20.mini - серия ультракомпактных платформ для комнатной температуры с высоким разрешением оптического энкодера, осуществляющих линейное движение по оси X.
  • Собственная частота 20 кГц.
  • Размеры платформы 20 × 20 × 12 мм.
  • Разрешение оптического энкодера 2 нм.
  • Минимальный размер шага ~ 10 нм.
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV), для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES
 


Параметр Значение Ед.измерения
Вариант исполнения Стандартное .NM* .HV** .UHV***  
Параметры
20 × 20 × 12 мм
Материал корпуса
Нержавеющая сталь Титан Нержавеющая сталь  
Масса
30 г
Диапазон перемещения
10 мм
Собственная частота
20 кГц
Разрешение при движении без обратной связи
0,1 нм
Кабели и разъемы
Экранированный кабель,
D-Sub 15 (по умолчанию);
.UHV: kapton, PEEK D-Sub 15
Параметры движения для горизонтальной установки
Максимальная скорость
 ~ 10  мм/с
Минимальный шаг (режим с обратной связью)
~ 10 нм
Динамическая сила
1,5 Н
Удерживающая сила
3 Н
Тангаж/рыскание
0,3 мрад
Нагрузка
300 г
Параметры движения для вертикальной установки
Нагрузка
100 Г
Удерживающая сила
1,5 Н
Параметры датчика
Тип датчика
Оптический энкодер
Диапазон датчика
10 мм
Разрешение датчика
2 нм
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.


  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
X20.mini Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы: 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Стандартное исполнение.
X20.mini.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы: 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
X20.mini.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы: 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
X20.mini.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы: 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Немагнитное исполнение.
X20.mini.HV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы: 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Немагнитное исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
X20.mini.UHV.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы: 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Немагнитное исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
Назад к разделу

Мой заказ