X20.mini - линейные пьезопозиционеры

X20.mini - серия ультракомпактных платформ для комнатной температуры с высоким разрешением оптического энкодера, осуществляющих линейное движение по оси X.
  • Собственная частота: 20 кГц.
  • Размеры платформы: 20 × 20 × 12 мм.
  • Разрешение энкодера: 2 нм.
  • Минимальный размер шага: 10 нм.
  • Совместимы с поворотными и наклонными платформами.
  • Варианты исполнения: немагнитное (.NM), для высокого вакуума (.HV),
    для сверхвысокого вакуума (.UHV).
Производитель:  MULTIFIELDS TECHNOLOGIES

Пьезоплатформы X20.mini поддерживают работу в режиме обратной связи и без неё.

Для работы без обратной связи существует режим точной настройки, представляющий собой метод управления движением, при котором пьезоэлементы вместо непрерывной последовательности высокочастотного сигнала напряжения пилообразной формы управляются аналоговым сигналом. Благодаря высокому разрешению аналогового сигнала, платформа может достигать субнанометровой точности позиционирования. В случае управления высокочастным сигналом напряжения волнообразной формы платформа может перемещаться с минимальным шагом 10 нм. Подробнее о режимах управления пьезопозиционерами MultiFIelds в материале.

Параметр Значение Ед.измерения
Исполнение Стандартное .NM*   .HV** .UHV***  
Параметры
20 × 20 × 12 мм
Материал корпуса
Нержавеющая сталь Титан Нержавеющая сталь  
Масса
30 г
Диапазон перемещения
10 мм
Собственная частота
20 кГц
Кабели и разъемы
Стандартно: экранированный кабель, D-Sub15
.UHV: kapton, PEEK D-Sub 15
Максимальная скорость
20  мм/с
Минимальный шаг
(режим с обратной связью)
10 нм
Динамическая сила
1,5 Н
Удерживающая сила
3 Н
Тангаж/рыскание
0,3 мрад
Нагрузка (для горизонтальной установки)
300 г
Нагрузка (для вертикальной установки)
100 г
Параметры датчика
Тип датчика
Оптический
Разрешение датчика
2 нм
*.NM - немагнитное исполнение.
**.HV - исполнение для высокого вакуума до 1E-7 мбар.
***.UHV - исполнение для сверхвысокого вакуума до 2E-11 мбар.


  • Нанотехнологии и микросистемная техника.
  • Производство интегральных схем и полупроводниковых устройств.
  • Создание наноструктур.
  • Научные исследования.
  • Измерение высоких энергий.
  • Микроскопия сверхвысокого разрешения.
  • Электронная и сканирующая зондовая микроскопия.
  • Дифрактометрия.

Модель Описание
X20.mini Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Стандартное исполнение.
X20.mini.HV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Исполнение для высокого вакуума до 1Е-7 мбар.
X20.mini.UHV Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Исполнение для сверхвысокого вакуума до 2Е-11 мбар.
X20.mini.NM Линейный пьезопозиционер. Размеры платформы 20 × 20 × 12 мм. Перемещение до 10 мм. Режим обратной связи, разрешение оптического энкодера 2 нм. Немагнитное исполнение.
Назад к разделу

Мой заказ